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[公告]XeF2干法释放刻蚀设备(清设招第2019290号)成交结果公告

中标北京
发布时间:2019-11-23

中标内容

清华大学 XeF2 干法释放刻蚀设备中标公告 项目名称:清华大学 XeF2 干法释放刻蚀设备采购项目 招标编号:清设招第 2019290 号 采购人名称:清华大学 采购人地址:北京市海淀区清华大学,邮编: 100084 招标公告开始发布日期: 2019 年 10 月 25 日 定标日期 :2019 年 11 月 22 日 采购数量、用途和简要内容 : XeF2 干法释放刻蚀设备 1 套,该刻蚀系统主要用 干法技术进行各向同性的硅、锗或钼的蚀刻,主要用于 MEMS 领域的牺牲层释 放,... 查看详情

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