分子束外延系统（可接脉冲激光沉积模块）
PIPES指数：1.0
科睿技术发展有限公司
四袋电子束蒸发器
磁控溅射源/靶枪（1英寸/2英寸/3英寸）
真空腔体水气解吸附组件
溅射离子枪，等离子体发生源
溅射离子源(用于样品表面清洗)
射频离子/原子源（可转换）
MBE分子束外延系统-SVT Associates
美国SVTA公司中国办事处
RF等离子源
SVT反射高能电子衍射图像的获取系统
SVT原子吸收原位流量监测控制系统
