Veeco GEN10 MBE分子束外延系统

GEN10 MBE分子束外延系统是经过验证的平台中最灵活的集群工具系统，支持最多三个可配置的材料特定增长模块。这使得系统利用率高，使多位研究人员能够同时使用系统，进行无人值守的生长和校准。结合Veeco零部件技术，是MBE社区无论应用何种，都选择GEN10™ MBE系统的关键因素。

GEN10 MBE分子束外延系统特点：

自动晶圆转移实现了高系统利用率，使多位研究人员能够同时使用该系统，进行无人监管的生长和校准                                                      

经济升级路径，最多可获得三个额外成长模块                                                                           

集群架构中的可配置、材料特定生长模块使不兼容材料在一个真空系统中得以生长                                                  

直接流程路径与更大规模生产的MBE系统    

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