XBS 分子束外延沉积速率监测/控制系统

描述：Hiden的XBS系统通过实时信号输出对多个来源进行现场监测，以精确控制沉积。

XBS三级滤过四极质谱(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System)，适于精确的MBE分析，其他气体分析和科学实验使用。Windows™ 界面的MASsoft软件通过RS232、RS485 或以太网控制。

特点 

·离子源控制，用于软离子化和表观电势质谱
·灵敏度增强用于大质量数的传输，自动质量数范围列表

·一级过滤处增加射频，抗污染物能力增强
·内置UHV 兼容的水冷却罩

参数 

·灵敏度高，检测范围：  100% 至5ppb

·质量数范围：0~ 510amu
·长期稳定性：24h以上，峰高变化小于±0.5%)
·交叉离子源，束接收角同轴的横断面呈 ±35°
·2mm 束接受孔，也可为特殊使用者配置
·分子束研究中，检测极限低至30 ions/s
·监测生长速率：1Å / min，或更低

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