RF等离子源

美国SVT公司的RF等离子源适用于多个公司多种型号。
技术参数：
2.75"(70mm)法兰 水冷 2"wafer
氧源 氮源 氢源
4.5”法兰
6.02"法兰

主要特点：
生长速率4um/h ，6um/h
自动和手动双重控制
水冷

RF等离子源,2.4"/4.5"

RF等离子源信息由美国SVTA公司中国办事处为您提供，如您想了解更多关于RF等离子源报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。