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牛津仪器PlasmaPro 100 Estrelas深硅刻蚀设备
品牌：牛津仪器 产地：英国
华兆科技（广州）有限公司
牛津仪器PlasmaPro 100 ALE原子层刻蚀设备
牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra感应耦合等离子刻蚀
牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris ICP等离子刻蚀设备
牛津仪器PlasmaPro 80 ICP等离子刻蚀设备
北方华创NMC 508系列 ICP刻蚀机
品牌：北方华创 产地：中国
北方华创HSE P300 深硅刻蚀机
北方华创GDE C200系列高密度化合物刻蚀机
离子辐照磁性精细调控系统Helium-S®
品牌：Spin-ION 产地：加拿大
清砥量子科学仪器（北京）有限公司
牛津仪器 PlasmaPro 100 ALE原子层刻蚀设备
等离子清洗机 Triton160/ 40
品牌：螣芯 产地：中国
螣芯科技
桌面式快速退火炉RTP-离子注入退火与电极合金化
品牌：FSM 产地：中国
Triton160 等离子清洗机13.56MHZ可适用于光刻胶的去除
品牌：诺信达格 产地：上海
日立9000系列半导体蚀刻系统
品牌：日立 产地：日本
用户：9个
日立高新技术公司
RIE等离子刻蚀机SI 591
品牌：SENTECH 产地：德国
用户：4个
SENTECH仪器（德国）有限公司代表处/安科瑞泰
ICP-RIE等离子刻蚀机SI 500
用户：11个
等离子刻蚀与沉积设备
品牌：深光达 产地：深圳
深圳深光达科技有限公司
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