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Spin-ION
日立
诺信达格
FSM
螣芯
中核立信
中微公司
北方华创
深光达
SENTECH
SAMCO
埃德万斯
离子辐照磁性精细调控系统Helium-S®
品牌：Spin-ION 产地：加拿大
清砥量子科学仪器（北京）有限公司
日立9000系列半导体蚀刻系统
品牌：日立 产地：日本
用户：9个
日立高新技术公司
等离子刻蚀与沉积设备
品牌：深光达 产地：深圳
深圳深光达科技有限公司
等离子清洗机 Triton160/ 40
品牌：螣芯 产地：中国
螣芯科技
桌面式快速退火炉RTP-离子注入退火与电极合金化
品牌：FSM 产地：中国
Triton160 等离子清洗机13.56MHZ可适用于光刻胶的去除
品牌：诺信达格 产地：上海
RIE等离子刻蚀机SI 591
品牌：SENTECH 产地：德国
用户：2个
SENTECH仪器（德国）有限公司代表处/安科瑞泰
ICP-RIE等离子刻蚀机SI 500
中微 Primo Twin-Star® 电介质刻蚀
品牌：中微公司 产地：中国
中微半导体设备（上海）股份有限公司
NMC 612G 12英寸金属刻蚀机
品牌：北方华创 产地：中国
北方华创科技集团股份有限公司
PSE V300 深硅刻蚀机
GSE S200 高精度刻蚀机
埃德万斯刻镀一体机
品牌：埃德万斯 产地：北京
北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
NMC 508Gt 深槽刻蚀机
NMC 612C 12英寸硅刻蚀机
PSE V300Di 封装钝化层刻蚀机
HSE D300 等离子体切割刻蚀机
HSE P300 深硅刻蚀机
NMC 508C/G 多晶硅刻蚀机
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