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佳能
ELIONIX
海德堡仪器
德国海德堡仪器/Stella International/光映国际
深圳市矢量科学仪器有限公司
雷博科仪
托托
精信立
尼康
EVG
骏楠光子
螣芯
Raith/矽万
纳米磁
国产全自动光刻机4-12寸可选
品牌：螣芯 产地：中国
上海螣芯电子科技有限公司
接触式双面光刻机 EVG®610
品牌：EVG 产地：奥地利
全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选
骏楠光子DaLI系列无掩膜纳米光刻机
品牌：骏楠光子 产地：广东
广东骏楠光子科技有限公司
Nikon S207D扫描式光刻机
品牌：尼康 产地：日本
Nikon S206D扫描式光刻机
Nikon S205C扫描式光刻机
MS6-CA手动光刻机
品牌：雷博科仪 产地：江苏
SS6-CA全自动光刻机
ELS-BODEN Σ电子束光刻机
品牌：ELIONIX 产地：日本
ELS-BODEN电子束光刻机
ELS-HAYATE电子束光刻机
UV Litho-ACA无掩膜光刻机
品牌：托托 产地：江苏
UV Litho-S 无掩膜光刻机
BIO L+ 无掩膜光刻机
矽万 PicoMaster XF ATE-500 多功能紫外激光直写光刻机
品牌：Raith/矽万 产地：荷兰
矽万（上海）半导体科技有限公司
矽万 PicoMaster ATE-350 多功能紫外激光写入器
矽万 PicoMaster ATE-200 多功能紫外激光写入器
直写光刻机
品牌：纳米磁 产地：上海
上海麦科威半导体技术有限公司
MPO100双光子聚合直写光刻机
品牌：海德堡仪器 产地：德国
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