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精信立
EVG
骏楠光子
螣芯
Raith/矽万
德国海德堡
纳米磁
国产全自动光刻机4-12寸可选
品牌：螣芯 产地：中国
上海螣芯电子科技有限公司
接触式双面光刻机 EVG®610
品牌：EVG 产地：奥地利
全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选
骏楠光子DaLI系列无掩膜纳米光刻机
品牌：骏楠光子 产地：广东
广东骏楠光子科技有限公司
矽万 PicoMaster XF ATE-500 多功能紫外激光直写光刻机
品牌：Raith/矽万 产地：荷兰
矽万（上海）半导体科技有限公司
矽万 PicoMaster ATE-350 多功能紫外激光写入器
矽万 PicoMaster ATE-200 多功能紫外激光写入器
直写光刻机
品牌：纳米磁 产地：上海
上海麦科威半导体技术有限公司
无掩模板紫外光刻机 TTT-07-UV Litho-ACA
品牌：精信立 产地：广东
深圳精信立科技有限公司
飞秒微加工系统
德国海德堡 MPO100双光子激光直写/三维光刻3D打印/无掩膜灰度直写光刻
品牌： 德国海德堡 产地：德国
德国海德堡 NanoFrazor Explore热探针三维光刻3D纳米结构激光直写光刻机
德国海德堡 µMLA台式光刻机/无掩膜激光直写光刻/激光光刻机
德国海德堡 MLA150无掩膜激光直写光刻机
德国海德堡 MLA300自动化无掩膜光刻系统/激光直写光刻机
德国海德堡 DWL66+无掩膜激光直写光刻机/灰度直写光刻
德国海德堡 DWL2000GS/DWL4000GS大幅面无掩膜三维激光直写光刻机/灰度直写光刻
德国海德堡 VPG+800/VPG+1400大幅面掩膜版制作激光光刻机
德国海德堡 ULTRA高速掩膜版制作高端光刻机
矽万 PicoMaster ATE-150 多功能紫外激光写入器
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