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清华大学XeF2干法释放刻蚀设备中标公告

中标北京
发布时间:2019-11-23

中标内容

清华大学XeF2干法释放刻蚀设备中标公告 “清华大学XeF2干法释放刻蚀设备”项目(项目编号:清设招第2019290号) 组织评标工作已经结束,现将评标结果公示如下: 一、项目信息项目编号:清设招第2019290号项目名称:清华大学XeF2干法释放刻蚀设备项目联系人:李美珍,杨 晶联系方式:62785713 二、采购单位信息采购单位名称:清华大学采购单位地址:清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室采购单位联系方式:联 系 人:李美珍 ,杨 晶;联系电话:62785713 三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:该刻蚀系统主要用干法技术进行各向同性的硅、锗或钼的蚀刻,主要用于MEMS领域的牺牲... 查看详情

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