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清华大学多腔室物理气相沉积系统中标公告

中标北京
发布时间:2017-11-30

中标内容

清华大学多腔室物理气相沉积系统中标公告 项目名称:清华大学多腔室物理气相沉积系统招标编号:清设招第2017204号 采购人名称:清华大学采购人地址:北京市海淀区清华大学,邮编:100084 招标公告开始发布日期:2017年11月8日定标日期:2017年11月30日 采购数量、用途和简要内容:1套,主要用于微纳加工工艺中在8英寸及以下晶圆上一次性顺序沉积金属、氧化物、氮化物等多层薄膜材料。中 标 人:北京北方华创微电子... 查看详情

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