JJ17101200001730岭南师范学院物理学院2017年重点学科教学设备采购项目无成交供应商（竞价失败）2017-10-14竞价失败招标-分析测试百科网

中标内容

岭南师范学院 -竞价单详情 (JJ17101200001730) 重新竞价原因：单位信息竞价单位：岭南师范学院电话： 0759-3183806 E-mail：3176497046@qq.com 联系人：李老师传真：0759-3182700 邮编：524048 送货地址：广东省湛江市赤坎区,湛江市赤坎区寸金路29号竞价信息竞价主题：物理学院2017年重点学科教学设备采... 发布日期：2017/10/12 10:14:00 最高限价(元)： 320000.00 送货要求：签订合同后 20 天送货。竞价编号：JJ17101200001730 截止日期：2017/10/14 10:14:00 开票单位：岭南师范学院备注 1、按IS09001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输； 2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书； 3、在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费；附件产品信息详情序号产品名称品牌型号标配产品类别单位数量 1 电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统 DZS-500型电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统 DZS-500型否教学实验仪器及装置套 1.00 产品规格：一、系统的主要组成及技术指标极限真空度:≤6.67×10-5Pa（经烘烤除气后）；系统真空检漏漏率：≤5.0×107Pa.1/S；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.67×10-5Pa； ?系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成； 1、真空室组件 ?真空室为U型箱体活开门结构，尺寸为500×500×600mm，四壁水道冷却，壁挂防污板，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电解抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封； ?真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： ?1.1、 RF200法兰接口：1个（接旋转基片台组件）； ?1.2、 RF100法兰接口：1个（观察窗口）； ?1.3、 RF10法兰接口：1个（微调阀接口）； ?1.4、 CF200法兰接口：1个（接分子泵）； ?1.5、 CF150法兰接口：1个（备用离子枪接口）； ?1.6、 CF35法兰接口：5个（接高真空电离规管、膜厚仪、旁抽、2个备用）； ?1.7、 CF16法兰接口：8个（进气管路、烘烤照明、高压放电电极、充气阀、蒸汽电极挡板直接转轴、2个备用两芯引线、备用）； ?1.8、 ZC16法兰接口：1个（接低真空电阻规管）； ?2、拱形工件架组件： 1套 ? 2.1、拱型盘架，Φ350mm； ? 2.2、可安装8片3英寸（Φ75mm）硅片盘架； ? 2.3、样品加热温度；～300℃，可调。 ?2.4、可调节样品架与蒸发源之间距离250～350mm可调。 ? 2.5、基片可连续公转，转速5～12转/分，步进电机驱动磁耦合机构控制； ? 2.6、要备有修正板机构； ? 2.7、拆下拱型盘架，安上即不水冷也不加热单样品架Φ100mm； ?3、离子轰击系统 1套 ? 轰击电源电源电压2500V，电流160mA，可清洗样品表面。 ?4、电阻蒸发源 1套 ? 4.1、蒸发水冷电极3根，组成2个蒸发舟，蒸发控制电源1套，可相互切换，蒸发电源电压5、10V，电流300A，最大输出功率3Kw； ? 4.2、蒸发源手动控制挡板：1套； ?5、电子枪及电源 ?5.1、270°E型电子枪及高压电源，电子枪功率0-6KW可调（成都兴南）； ? 5.2、电子枪阳极电压：6kv、8kv； ? 5.3、电子束可二维扫描调节，最大扫描正负15mm ?（X,Y），备有遥控盒，可手持遥控操作扫描； ? 5.4、水冷式坩埚；四穴坩埚，每个容量约为11ml，手动按开关切换：单穴尺寸：Φ30mm×Φ22mm×Φ22mm（圆台型）； ? 5.5、可控制坩埚位置变化； ? 5.6、由气动驱动坩埚挡板； ? 5.7、具有高压灭弧自动复位功能； ?6、FTM型石英晶体振荡膜厚监控仪 1套 ? 6.1、监测膜厚显示范围：0～99μ9999?； ?6.2、厚度分辨率：1 ?； ?6.3、速率显示分辨率：0～9999.9?； ?6.4、控制精度：1 ?； ?6.5、监测时间显示范围：1分～99小时； ?7、工作气路 3套 ? 7.1、200SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：1路（北京） ? 7.2、微调阀（上海）、管路、接头等：1路； ? 7.3、充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）； ? 7.4、室内进气法兰RF接管D6:1套 ?（其上有R10[配微调阀]双面法兰、铜管等） ?8、抽气机组及阀门、管道 1套 ? 8.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒，北京）； ? 8.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，上海）； ? 8.3、KF40电磁压差阀：1台（上海）； ? 8.4、分�... 查看详情

全部分类

JJ17101200001730岭南师范学院物理学院2017年重点学科教学设备采购项目无成交供应商（竞价失败）2017-10-14竞价失败

中标内容

最新招标

最新中标