化学系原位扫描X射线光电子能谱微探针系统项目采购需求公示招标-分析测试百科网

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化学系原位扫描X射线光电子能谱微探针系统项目采购需求公示化学系原位扫描X射线光电子能谱微探针系统项目采购需求公示 2020-05-21 （一）项目基本信息项目名称原位扫描X射线光电子能谱微探针系统采购预算（元） 6100000 是否接受进口设备是（二）货物总清单序号设备名称数量单位 1 原位扫描X射线光电子能谱微探针系统 1 套（三）货物分项清单序号设备名称数量单位 1 真空系统：包括真空腔室和真空泵系统 1 套 2 单色化X射线源系统包括阳极靶、电子枪和单色器 1 套 3 光电子探测器 1 套 4 能量分析器和能量传输透镜 1 套 5 样品观察系统 1 套 6 Ar单原子离子枪 1 套 7 双束荷电中和系统 1 套 8 Ar团簇离子枪 1 套 9 紫外光电子能谱（UPS） 1 套 10 低能反光电子能谱（LEIPS） 1 套 11 SAM 扫描俄歇能谱电子枪 1 套 12 4-电接触点冷/热样品台 1 套 13 样品传送管 2 套 14 大进样腔室 1 套 15 仪器能谱仪控制和数据处理系统 1 套 16 配套及辅助设施 1 套 17 标准工具包、标准样品、备品备件耗材包和资料等 1 套（三）商务需求序号商务需求 1 交货期的要求：签订合同后180天内 2 质保期：三年 3 付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；其余5%作为质保金待仪器运行满一年后支付。（四）技术需求序号设备名称技术参数或功能要求 1 真空系统：包括真空腔室和真空泵系统 1.1真空系统包括进样腔室、分析腔室、以及对应的真空抽气系统； 1.2分析室真空系统: 分析室采用独立的分子泵和钛升华泵组合； 1.3分析腔室最佳真空度≤7.0x10-8 Pa； 1.4 Mu金属分析腔体； 1.5 进样腔室配有真空规，可测量大气压到10-6 Pa之间的真空度； 2 单色化X射线源系统包括阳极靶、电子枪和单色器 2.1 Al Kα单色化X射线源，X射线源可聚焦及扫描； ▲2.2 可利用扫描X-射线激发的二次电子获取样品的表面形貌（SXI像），用于对分析点无误差定位分析； 2.3激发X射线源电子枪为LaB6电子枪； ▲2.4最小获谱束斑：在无光阑遮挡的情况下，最小获谱束斑≤10m，且X-射线功率不高于3W，X射线束斑直径在10μm ~400μm之间连续可调； 2.5 X射线分析面积：不小于直径10μm ~1000μm的区域； 2.6单色器：单块整体椭圆石英晶体，无需水冷以避免温度影响Ｘ射线稳定性从而也影响分析结果，保证了射线源的稳定可靠； 2.7功率：聚焦情形下，X-射线功率从1W到100W连续可调，以避免高功率破坏阳极靶和样品； 2.8不少于19个点阳极靶设计，真空马达自动更换阳极靶位置； 3 光电子探测器 3.1采用多通道MCP探测器，通道数不小于128通道； 3.2 采用同一套探测器完成SXI二次电子成像、采谱分析及化学态成像等分析； 4 能量分析器和能量传输透镜 4.1 采用180°半球型能量分析器； 4.2 平均半径≥150 mm；采用静电传输透镜； 4.4 传输透镜前端设置机械光阑可得到+/- 5°透镜接收角，用于精准的变角XPS分析； 4.5大束斑能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0eV时，光源功率不大于100W条件下，计数率强度高于2Mcps； ▲4.6 微区分析（≤10 μm）能量分辨率和灵敏度：对银标准样品，谱峰Ag3d5/2能量分辨≤0.60eV时，计数率强度高于10Kcps, 分析功率不高于3W； ▲4.7微区分析（≤20 μm）能量分辨率和灵敏度：对银标准样品，谱峰Ag3d5/2能量分辨≤0.60eV时，计数率强度高于35Kcps,分析功率不高于5W； 4.8 验收能量分辨率：对银标准样品，谱峰Ag3d5/2的半峰宽（FWHM）≤0.50eV； 4.9 能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、角分辨XPS； 4.10化学态成像模式：扫描X射线成像模式；每个像素点都有对应的图谱； 5 样品观察系统 5.1配置进样室相机，可对进样室的样品进行光学数字成像，用于对样品进行导航定位； 5.2样品观察及分析选点定位：彩色CCD摄像机成像、X射线二次电子成像（SXI），可直接在导航图上选取分析点，也可在SXI影像上选取多点分析；SXI可对分析点无误差定位； 5.3采用防X射线观察窗，有2个水平观察窗； 6 Ar单原子离子枪 6.1可执行样品中和、清洁和深度剖析三种功能； 6.2 最大束流：≥5A； ▲6.3 离子能量范围不少于100eV~5000eV，且连续可调； ▲离子源溅射分析时，分析腔室真空度：≤ 8X10-6Pa； 7 双束荷... 查看详情

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