广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院全自动涂胶显影机采购项目公开招标公告招标-分析测试百科网

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广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院全自动涂胶显影机采购项目公开招标公告附件10524项目需求.doc 东方国际招标有限责任公司受广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院全自动涂胶显影机采购项目进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。项目名称：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院全自动涂胶显影机采购项目项目编号：OITC-G200350524项目联系方式：项目联系人：迟兆洋张君仙项目联系电话：010-68290692 020-87001523 采购单位联系方式：采购单位：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院地址：广州市黄埔区开源大道136号D栋联系方式：王老师（020-28399508，010-82545534）代理机构联系方式：代理机构：东方国际招标有限责任公司代理机构联系人：迟兆洋张君仙 zychi@oitc.com.cn jxzhang@oitc.com.cn代理机构地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：包号采购项目内容数量简要技术参数是否允许采购进口产品采购预算（万元） 1 全自动涂胶显影机 2台详见项目需求书否 1500 二、投标人的资格要求：1）符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求” ；2）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；3）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；4）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；5）按本投标邀请的规定获取招标文件；6）本项目不接受联合体投标；7）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。注1：1）信用信息查询渠道：“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）等。2）信用信息查询截止时点：同投标截止期，即查询投标人截止到投标截止期的信用信息记录。3）信用信息查询记录和证据留存的具体方式：信用信息查询记录将以网站截图打印稿形式与其他采购文件一并保存。4）信用信息的使用规则：如投标人为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单的供应商，或为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商，则其投标将被拒绝。三、招标文件的发售时间及地点等：预算金额：1500.0 万元（人民币）时间：2020年05月15日 09:00 至 2020年05月22日 17:00(双休日及法定节假日除外)地点：www.o-science.com招标文件售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和招标文件获取方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买四、投标截止时间：2020年06月08日 09:30五、开标时间：2020年06月08日 09:30六、开标地点：广州市越秀区先烈中路100号大院8号楼304会议室七、其它补充事宜1、投标文件递交地点：广州市越秀区先烈中路100号大院8号楼304会议室。2、招标文件采用网上电子发售购买方式：1）有兴趣的投标人可登陆东方在线（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的技术指标，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。开户名称：东方国际招标有限责任公司开户银行：招商银行北京西三环支行账号：8620816577100013）投标人应在东方在线上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在东方在线上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。4、公告期限：5个工作日八、采购项目需要落实的政府采购政策：（1）政府采购促进中小企业发展（2）政府采购支持监狱企业发展（3）政府采购促进残疾人就业（4）政府采购鼓励采购节能环保产品全自动涂胶显影机
1 设备名称：
全自动涂胶显影机
2 数量：
2台
3 设备用途说明及原理简介：
用于完成wafer光刻胶的旋涂与曝光后的显影工艺。
4 技术要求及参数
详见：技术性能指标表
5 配置清单及零配件（包括专用工具）：
序号名称单位/每台设备数量一、传输系统配置1入/出料台个32机械传输手臂套1二、机台单元1涂胶单元个32显影单元个33增粘剂涂布单元（HMDS）个24热板个 145冷板个46边缘曝光（WEE）单元个17恒温水循环系统套18温湿度控制单元套19预留联机功能套1三、软件控制系统1控制软件套1四、备件、耗材、专用工具1涂胶工艺腔体的工艺套件套32测温工具套13对位中心透明wafer个14测速仪个15过滤器(光刻胶过滤器)个96胶泵个37顶针个68回吸阀个49电磁阀个66 技术服务条款：
6.1售后服务要求：
投标人需为本项目配备足够的售后服务力量，具有国内本地化的服务团队。
投标人售后服务响应时间：电话响应时间要求4小时内，到场响应时间要求2个工作日内（指从接到报障至到达故障现场的时间）。
投标人免费提供技术支持热线电话。
投标人免费提供email技术支持，并且在24小时内回复。
*投标人提供仪器设备的免费保修期主机一年，配件一年（保修期内免费维修并更换除消耗品以外的零部件，维修人员的路费、食宿等自理）。
投标人提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器说明书，并指导在使用该设备时的操作注意事项等。
投标人提供硬件可支持条件下的配套软件终身免费升级服务。
6.2培训要求：
1）为保证投标人所提供的仪器设备安全、可靠运行，便于招标方的运行维护，必须对招标方培训合格的维护和管理人员。
2）投标人负责对招标方提供至少两次现场技术培训（不含验收培训），并且每次培训时间不少于三个工作日，以便工作人员在培训后能熟练地掌握系统的维护工作，并能及时排除大部分的系统障碍。
3）培训内容应包括但不限于以下内容：设备工作原理培训和工艺培训、设备基本操作培训、设备保养维修培训。提供培训所必要的手册，包括工艺手册（含BKM 菜单）、操作手册、维修手册和故障诊断库等。
4）现场培训人员必须懂中文和英文。所有培训过程中所涉及的专用工具等必要专用物品由投标人提供。
6.3 技术文件
1）设备资料应包括主机资料和所有辅机资料，资料必须与设备实际连线相符合；设备资料应包括设备操作手册、设备维护维修手册、设备线路图手册和设备备件手册等。
2）提供2套纸版手册资料，净化纸和非净化纸版各1套，提供资料光盘1个。
3）提供工艺资料。包括每种工艺类型的BKM菜单（使用方法、调试方法、常见异常处理）、Process Manual等技术手册两套，一套为洁净室用的净化纸版，一套为普通版，并附有相关手册的光盘。
6.4安装调试
1）投标人负责设备的安装调试。投标人在合同签订后两周内提供安装布局图、安装外形尺寸和安装动力等安装要求。
2）投标人负责设备的工艺菜单调试,调试结果满足工艺技术指标。
6.5备件及易损易耗件要求
1）投标人负责提供易损易耗件及非易损易耗件的备件清单。
2）投标人应提供5年内的备件支持。
3）投标人负责免费提供半年所需的所有易耗件。
4）投标人负责调试完成后的系统备份，软盘备份和硬盘备份。各1套，软盘和硬盘投标人提供。
6.6工具要求
投标人应提供设备运行维护所必需的手臂校准及温度校准工具。
6.7软件升级
在硬件�... 查看详情

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