山东师范大学物电学院科研仪器设备采购需求公示招标-分析测试百科网

招标内容

2019-05-10 20:39:30.0 山东师范大学物电学院科研仪器设备采购需求公示一、项目概况及预算情况：详见附件二、采购标的具体情况：详见附件三、论证意见：详见附件四、公示时间：本项目采购需求公示期限为3天：自2019年5月10日起，至2019年5月13日止五、意见反馈方式：本项目采购需求方案公示期间接受社会公众及潜在供应商的监督。请遵循客观、公正的原则，对本项目需求方案提出意见或者建议，并请于2019-05-14前将书面意见反馈至采购人或者采购代理机构，采购人或者采购代理机构应当于公示期满5个工作日内予以处理。采购人或者采购代理机构未在规定时间内处理或者对处理意见不满意的，异议供应商可就有关问题通过采购文件向采购人或者采购代理机构提出质疑；质疑未在规定时间内得到答复或者对答复不满意的，异议供应商可以向采购人同级财政部门提出投诉。六、项目联系方式 1、采购单位：山东师范大学地址：济南市文化东路88号联系人：李娜联系方式：86180857 2.采购代理机构：山东新亚欧招投标有限公司地址：山东济南市历下区二环东路7899 联系人：邓惠珍联系方式：13789801879 政府采购项目需求方案采购单位：山东师范大学采购代理机构：山东新亚欧招投标有限公司项目名称：山东师范大学电子束曝光系统采购编制时间：二〇一九年五月九日一、项目概况及预算情况 1、项目名称：山东师范大学电子束曝光系统采购 2、项目预算： 800万元 3、项目基本情况：本项目为山东师范大学电子束曝光系统采购项目，共分1个包，详细技术要求见采购标的具体情况。二、采购标的具体情况 1、采购内容、数量及分包预算 A包：预算：800万元序号物品名称数量计量单位技术规格要求 1 电子束曝光系统（可采进口） 1 台 1. 采用肖特基热场发射电子束源，最高加速电压不小于50kV，灯丝寿命不少于5000小时。 2. 图像发生器扫描频率不小于50MHz，模数转换器不少于20bit。 3. 能够自动进行电子束聚焦、消像散、写场矫正、套刻对准等操作，保证大写场下图形的高质量曝光；50kV加速电压下，写场调节范围不少于0.5μm-500μm（*）。 4. 配备激光干涉工作台，可实现X/Y/Z三个方向运动，XY方向运动行程不小于150 mm×150 mm，Z方向运动行程不小于20mm；激光干涉仪测量分辨率优于1nm（*）。 5. 束电流范围不小于5pA-40nA；电子束位置稳定性优于8小时内120nm，�... 查看详情

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