E-GunITO蒸镀机国际招标澄清或变更公告(6)招标-分析测试百科网

E-GunITO蒸镀机国际招标澄清或变更公告(6)

招标安徽

发布时间：2018-04-27

招标内容

澄清或变更简要说明：修改开标时间苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2018-04-27在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:包1 全自动上下膜机 1台包2 椭偏仪 1套包3 辉光放电原子仪 1套包4 AIXTRON G4升级 1台（套）包5 步进投影曝光机 1台包6 全自动分选机 20台包7 电加热-水洗式尾气处理器 1台（套）包8 Plasma清洗设备 4台包9 水洗式尾气处理器 1台（套）包10 E-Gun ITO蒸镀机 1台（套）包11 PSS缺陷及反射率检测设备 2台（套）包12 光学晶片综合测试仪 1 台资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-1840SUMECB24/10招标项目名称:E-Gun ITO蒸镀机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1 全自动上下膜机 1台贴膜指标：均匀、无气泡、切割边无瑕疵2 椭偏仪 1套光谱测试间隔：≤3nm3 辉光放电原子仪 1套恒温系统：光谱仪恒温区温度变化±0.1°C4 AIXTRON G4升级 1台（套）新大石墨轉盤動態水平度調整，Wobble 5 步进投影曝光机 1台晶圆尺寸：兼容2/4/6inch6 全自动分选机 20台 BIN蓝膜尺寸：210mm*210mm（max）7 电加热-水洗式尾气处理器 1台（套）设备最大处理气体容量：不小于400L/min。8 Plasma清洗设备 4台晶圆尺寸：适用于4/6英寸9 水洗式尾气处理器 1台（套）气体平均处理效率：不低于99%。10 E-Gun ITO蒸镀机 1台（套）蒸镀速率 Rate：0.2-5 à / S 11 PSS缺陷及反射率检测设备 2台（套）稼动率（1年内）：大于95％12 光学晶片综合测试仪 1 台精确度 ≤0.5um3�... 查看详情

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