匀胶旋涂仪,加热板,超纯水器采购结果公告招标-分析测试百科网

匀胶旋涂仪,加热板,超纯水器采购结果公告

中标广东

发布时间：2016-05-27

中标内容

竞价结果详细
(CB105902016000410)----深圳大学
申购单类型
竞价类
申购主题
匀胶旋涂仪,加热板,超纯水器
发布中标时间：
2016-05-27 10:52
经费科目
高端人才科研启动经费
使用币种
人民币
是否含税
是
申购备注
中标供应商
设备名称
品牌厂商
型号
规格配置
是否标配
申购数量
中标单价
售后服务
报价说明
中标理由
深圳市龙美达科技有限公司
匀胶旋涂仪
Laurell
WS-650MZ-23NPPB
匀胶旋涂仪技术指标
1、系统概述
1.1智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；
1.2 防腐装置；
1.3 ★设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；
1.4通信接口，蓝牙连接2、处理腔体
2.1处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米)；
2.2 ★Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；
2.3腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；
3、旋转马达
3.1转动速度至少满足0-12,000rpm，
3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；
3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；
4、控制系统
4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；
4.2 ★配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；
4.3可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；
4.4 ★分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准；
5、配套泵浦
5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；
5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；
6、系统附件
6.1 ★免费赠送基于Windows的操作软件；
6.2 ★原装进口水平测试仪；
6.3两袋密封圈；
6.4 ★配有两套可更换的废液接收单元；
是
1
60,000.0
按行业标准提供服务。我司可以提供设备... 查看详情

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