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中国科学院高能物理研究所双腔室磁控溅射镀膜机采购项目中标公告
中标北京
发布时间：2020-08-13
中标内容
中国科学院高能物理研究所双腔室磁控溅射镀膜机采购项目中标公告 附件11057.zip 一、项目编号：OITC-G200361057（招标文件编号：OITC-G200361057） 二、项目名称：中国科学院高能物理研究所双腔室磁控溅射镀膜机采购项目 三、中标（成交）信息 供应商名称：科特莱思科（上海）商贸有限公司供应商地址：中国（上海）贸易自由试验区张衡路1000弄31-32号中标（成交）金额：390.3200000（万元）四、主要标的信息 序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 科特莱思科（上海）商贸有限公司 双腔室磁控溅射镀膜机 Kurt J.Lesker Company LabLine Cluster 1套 US$560,000.00 五、评审专家（单一来源采购人员）名单： 柴志刚 薛坤 朱希洪 董小艳（推荐专家）张翼飞（用户） 六、代理服务收费标准及金额： 本项目代理费收费标准：1980号文 本项目代理费总金额：3.7548万元（人民币） 七、公告期限 自本公告发布之日起1个工作日。 八、其它补充事宜 附件：招标文件美元汇率6.97 九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院高能物理研究所 地址：北京市石景山区玉泉路19号乙 联系方式：010-88235867 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 任伟松 李媛 010-68290509/0526/0515 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 任伟松 李媛 电 话： 010-68290509/0526/0515 jgeng@oitc.com.cn 招标文件
中国科学院高能物理研究所
双腔室磁控溅射镀膜机 采购项目
招 标 文 件
第二册
（专用册）
招标编号：OITC-G200361057
东方国际招标有限责任公司
中国 · 北京
2020年7月
第五部分 投标邀请
第五部分 投标邀请
日期： 2020年7月20日
东方国际招标有限责任公司受 中国科学院高能物理研究所 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对 双腔室磁控溅射镀膜机项目 进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：中国科学院高能物理研究所双腔室磁控溅射镀膜机采购项目
招标编号： OITC-G200361057
项目联系方式：
项目联系人： 耿佳 任伟松 李媛
项目联系电话： 010-68290509/0524
电子邮箱： jgeng@oitc.com.cn
采购人联系方式：
采购单位： 中国科学院高能物理研究所
地址： 北京市石景山区玉泉路19号乙
联系方式： 010-88235867
代理机构联系方式：
代理机构：东方国际招标有限责任公司
代理机构联系人：耿佳 任伟松 李媛 010-68290509/0524
代理机构地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
包号货物名称数量
（台/套）是否允许采购进口产品采购预算1双腔室磁控溅射镀膜机1套是400万投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。技术要求详见公告附件。
投标人的资格要求：
符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求” ；
在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；
投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；
按本投标邀请的规定获取招标文件；
本项目不接受联合体投标；
投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。
三、招标文件的发售时间及地点等：
预算金额： 400 万元（人民币）
时间： 2020 年 7 月 20 日 09:00?至 2020 年 7月 27 日 17:00(双休日及法定节假日除外)
地点：www.o-science.com；北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室
招标文件售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。
四、投标截止时间：2020年8月11日9:30
五、开标时间：2020年8月11日9:30
六、开标地点：
北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第2会议室
七、其它补充事宜
1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第2会议室
2、招标文件采用网上电子发售购买方式：
1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（HYPERLINK "http://www.o-science.com"http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。
2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。
4、公告期限：5个工作日
八、采购项目需要落实的政府采购政策：
（1）政府采购促进中小企业发展
（2）政府采购支持监狱企业发展
（3）政府采购促进残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
第六部分 投标人须知资料表 第六部分 投标人须知资料表
本表是对招标文件第一册“投标人须知”的具体补充和修改，如与招标文件各部分内容有差异，应以本资料表为准。
条款号内 容1.1采购人： 中国科学院高能物理研究所
采购代理机构：东方国际招标有限责任公司1.3合格的投标人资格：
1）符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求” ；
2）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
3）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；
4）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；
5）按本投标邀请的规定获取招标文件；
6）本项目不接受联合体投标；
7）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。 （注1）7.1投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，否则其投标将被拒绝。评标、授标以包为单位。9.5投标人须以“技术需求逐条应答表（格式见附件5）”逐条说明所提供货物和相关服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应或申明与技术规格条文的正负偏离。*10.610.6.1本项目允许采购进口产品，进口产品与服务报CIP指定到货港美元、欧元、英镑、日元或人民币价（不含关税、增值税）；
10.6.2 国产产品与服务报项目现场交货人民币价。报价中须包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。
10.6.3上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。11.1投标保证金金额：各包采购预算金额的1.5%。
投标保证金形式：电汇、银行保函或中国投资担保有限公司出具的担保函。
(1) 投标保函有效期应同投标有效期；如投标保证金采用银行保函形式，则必须采用本章所附的“投标保证金的银行保函格式”中的条款及格式，否则投标被拒绝（“投标保证金的银行保函格式”详见附件9）；投标人应承担投标保函开具、递交、退还、通知及核印等产生的一切相关银行费用。
(2) 使用电汇形式的，投标保证金必须从境内银行账户转出，且在投标截止时间前汇到招标代理机构账户，否则投标被拒绝：
投标人应于投标截止期前将全额投标保证金转入下述指定账号, 并应将“投标保证金电汇凭证/投标保函”单独密封，在投标时与“投标一览表”同时递交。
开户名（全称）：东方国际招标有限责任公司
开户银行：招商银行北京西三环支行
帐号：862081657710001
注：须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）12.1投标有效期： 150天*13.1投标文件：正本：1份
副本：5份
电子版：1份。（正本投标文件的扫描件，PDF格式，与纸质版一致；U盘，单独密封提交）19.4投标无效的情形：
（1） 投标人未提交投标保证金或形式不符或金额不足的；
（2） 投标有效期不足的；
（3） 未按照招标文件规定要求密封、签署、盖章的；
（4） 未提供法定代表人授权书的；
（5） 未提供制造商授权书的(进口货物适用)；
（6） 投标人有违法违纪行为，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的，或在过去三年中有重大的质量、信誉等问题；
（7） 投标文件中提供虚假或失实资料的；
（8） 投标报价超过采购预算的；
（9） 投标人以明显低于成本价的价格恶意参与投标的；
（10）招标文件中明确规定不接受进口产品参加投标的，投标人提供进口产品的；
（11） 不符合法律、法规和招标文件中*号条款及实质性要求的。19.519.5.1在任何时候，如果发现投标人以低于成本价的价格恶意竞争时，将导致废标。
19.5.2 投标人需就整个包进行响应，不完整的投标将被拒绝。
19.5.3投标报价不得超出采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），否则投标将被拒绝。
投标报价如为外币，按以下公式换算为人民币，换算后的人民币价格若高于采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），投标将被拒绝：
换算后人民币价格=投标报价（外币）×汇率
说明：汇率为开标当日中国银行总行首次发布的外币对人民币的现汇卖出价21.3评标方法：综合评价打分法
具体评分标准详见附表。24.1确定中标候选人的原则为：按综合评价得分排名确定28.1如中标产品为国产产品，中标人即为国内合同卖方
如中标产品为进口产品，中标人应授权产品国外厂商或国外厂商指定的境外公司作为外贸合同卖方。外贸合同的签约币种须与投标报价币种一致。29.1履约保证金：不适用30.1中标商在收到中标通知书后5日内，须向采购人代理支付中标服务费：
1、中标服务费支付给采购人的招标采购代理，即东方国际招标有限责任公司，收取标准为国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980号文件中规定的货物采购收费比率下浮20%。34.7接收质疑函的方式、联系部门、联系电话和通讯地址：
接收方式：传真或电子邮件或邮寄
联系部门：招标部
联系电话：010-68290524
传真：010-88517351
电子邮箱： HYPERLINK "mailto:liyuan@oitc.com.cn" liyuan@oitc.com.cn
通讯地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室废标条款符合专业条件的供应商或者对招标文件作出实质性响应的供应商不足三家的；
出现影响采购公正的违法、违规行为的；
投标人的报价均超过了采购预算，采购人不能支付的；
4、因重大变故，采购任务取消的。其它核心产品：（无）
注1：
1）信用信息查询渠道：“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）等。 2）信用信息查询截止时点：同投标截止期，即查询投标人截止到投标截止期的信用信息记录。 3）信用信息查询记录和证据留存的具体方式：信用信息查询记录将以网站截图打印稿形式与其他采购文件一并保存。 4）信用信息的使用规则：如投标人为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单的供应商，或为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商，则其投标将被拒绝。
附表：评分标准
本次评标采用综合评价打分法，即在投标文件满足招标文件全部实质性要求前提下，根据招标文件中规定的各项因素及权重（分值），评标委员会每位成员分别对每个通过初审的投标人进行综合评审后，评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。
一、投标文件的初审：
1、资格性检查
序号评审内容1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件具有独立承担民事责任的能力； 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； 参加招标投标活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； 法律、行政法规规定的其他条件2在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体3为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标4投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动5银行出具的资信证明文件或公司上一年度经审计的审计报告（投标人必须提供，但由专业担保机构已出具投标担保函的除外）6依法缴纳税收的记录（提供投标截止日期之前12个月内任何一期纳税记录复印件并加盖公章）（自行编写无效）7依法缴纳社会保障资金的记录（提供投标截止日期之前12个月内任何一期缴费记录复印件并加盖公章）（自行编写无效）8参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录声明。（格式自拟，加盖公章）9具有良好商业信誉和健全财务会计制度的财务状况的承诺（格式自拟，加盖公章）10具有履行合同所必需的设备和专业技术能力的承诺（格式自拟，加盖公章）11按本投标邀请的规定获取招标文件12本项目不接受联合体投标13投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标截止日当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）。结论注：结论栏中填写“合格”表示该投标人投标文件符合招标文件的资格性要求，“不合格”表示该投标人投标文件不符合招标文件的资格性要求。
2、符合性检查
序号评审内容1是否由法人代表或授权代表有效签署2是否按招标文件规定提供法人代表授权书（如适用）3是否按招标文件规定要求密封、签署、盖章4投标有效期是否满足招标文件（不少于150天）5是否按招标文件规定提交足额投标保证金6投标保证金的有效期是否满足招标文件（同投标有效期）7投标报价是否固定唯一，投标报价是否超过采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准）8招标文件中明确规定不接受进口产品的，投标人是否提供了进口产品9是否按招标文件要求提供制造厂家的授权书（进口货物适用）10如评标委员会发现投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的投标报价，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，投标人是否按要求作书面说明并提供相关证明材料。投标人不能合理说明或不能提供相关证明材料的，评标委员会将其作为无效投标处理11是否符合招标文件规定的其它实质性要求（须满足带*条款）12投标文件是否有招标文件中规定的其它无效投标条款结 论
注：结论栏中填写“合格”表示该投标人投标文件满足招标文件的符合性要求，“不合格”表示该投标人投标文件不满足招标文件的符合性要求。
资格性检查和符合性检查均“合格”的，通过投标文件的初审，进入下一步具体评分环节；否则，其投标无效。
二、具体评分标准（满分为100分）
评分项目评分细则分值价格
部分
（30分） 根据《财政部关于加强政府采购货物和服务 项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：
价格评分 =（评标基准价/投标报价）×3030商务
部分
（8分）1、商务条款应答响应情况
商务条款应答有负偏离得0分，商务条款应答无偏离或正偏离得2分22、投标人的相关业绩（每提供一个在投标截止日起近3年内相似产品项目合同案例加1分，最高不超过6分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）6技术
部分
（60分）1、技术指标条款响应情况
技术偏离表须依据招标文件技术指标逐条响应，否则视为未实质性响应招标文件, 其投标予以拒绝；
技术指标评审基准分为55分，评委根据技术指标的偏离情况按以下标准进行评审：
a．标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；
b．标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减 2 分；
c．无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减1 分。
凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。
注：投标人在响应技术条款时，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不一致，以检测机构出具的检测报告为准。如果投标人不提供印刷资料或检测报告；印刷资料或检测报告出现与技术规格响应不一致；或无法体现投标人技术规格响应的情况时，评标委员会有权不予以认可。
投标人对标记为星号（“*”）的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。55售后及技术支持服务方案
不满足招标文件要求的得0分；基本满足招标文件要求的得1分；完全满足和优于招标文件要求的3分3培训方案
不满足招标文件要求的得0分；基本满足招标文件要求的得1分；完全满足和优于招标文件要求的2分2其他
(2分)投标人所投产品获得相关节能、环保产品认证情况：
（1）节能产品：投标产品属于财政部和国家发改委最新公布的优先采购节能产品政府采购品目清单的（须提供国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品认证证书复印件并加盖公章）得1分；否则0分。
（2）环境标志产品：投标产品属于财政部和生态环境部最新公布的优先采购环境标志产品政府采购品目清单的（须提供国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的环境标志产品认证证书复印件并加盖公章）得1分；否则0分。2
注：
1、根据财政部、工业和信息化部发布的《政府采购促进中小企业发展暂行办法》、财政部、司法部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》及财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》的规定，如投标产品被认定为小微型企业或监狱企业或残疾人福利性单位制造的产品（须提供相关证明文件，小微企业提供《中小企业声明函》，监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》），可在上述第1项价格评分中，对该产品的价格给予6%的扣除，并用扣除后的价格计算价格评分。
2、提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参加同一合同项下同一项目包投标的，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品牌投标人获得中标人推荐资格；评审得分相同的，按投标报价排列，报价最低的投标人获得中标人推荐资格；得分与投标报价均相同的，按技术指标优劣排列，技术得分最高的投标人获得中标人推荐资格。
3、对非单一产品采购的项目包，在各包中确定核心产品，多家投标人提供的核心产品品牌相同的，按前款规定处理。
4、评分分值计算保留小数点后两位，第三位四舍五入。
第七部分 合同特殊条款 第七部分 合同特殊条款
合同专用条款是合同一般条款的补充和修改。如果两者之间有抵触，应以专用条款为准。
1.2 买方：本合同买方系指： 中国科学院高能物理研究所
卖方：本合同卖方系指： 中标人或指定的制造商
1.5 项目现场：本合同项下的货物安装和运行地点位于：项目现场
13.3 交货时间要求:详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”
交货地点要求：项目现场
18.4 质量保证期：详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”
20.1 付款方式：
对于国产产品，100%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付；
对于进口产品，采用即期不可撤消信用证等国际贸易支付条件支付：
90%凭合同要求单据支付；
10%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付。
第八部分 技术部分
货物需求一览表
包号货物名称数量交货期指定到货港项目现场（交货地点）1双腔室磁控溅射镀膜机1套合同签订后8个月内北京首都机场 中国科学院高能物理研究所
注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。
技术规格
一、总 则
1、投标要求
1.1 投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。
1.2 投标人提供的货物须是成熟的全新的产品，其技术规格应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。
1.3 投标人提供的产品样本，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。
2、评标标准
2.1 除招标文件中指定的附件和专用工具外，投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。
2.2 对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。
2.3 为便于用户进行接收仪器的准备工作，卖方应在合同生效后60天内向用户提供一套完整的电子版使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套纸质版完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。
2.4 关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，卖方应在合同生效后一个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。
2.5 制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。
2.6 在评标过程中，买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料，投标人务必在接到此类要求后，在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人，买方有权拒绝其投标。
3、工作条件
除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：
3.1 适于在气温为摄氏-20℃～＋40℃和相对湿度为10%-80％的环境条件下运输和贮存。
3.2 适于在电源380V（(10％）/50Hz、气温摄氏+15℃～＋30℃和相对湿度小于80％的环境条件下运行。能够连续正常工作。
3.3 配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。
3.4 如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说明。
4、验收标准
除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：
4.1 仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收, 如卖方届时不派人来, 则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损, 买方有权要求卖方负责更换。
4.2 验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。
4.3 验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。
5、本技术规格书中标注“*”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离将导致废标。
6、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。
二、具体技术规格
双腔室磁控溅射镀膜机
工作条件：
1.1 见总则第3条。
设备用途：
“阿里原初引力波探测计划”计划在我国西藏阿里地区建设一台CMB B-mode偏振望远镜，测量宇宙早期时空量子涨落产生的原初引力波，望远镜的核心是超导转变边沿探测器（TES）以及低温读出超导量子干涉仪（SQUID）。研制满足阿里原初引力波探测计划的SQUID要求采用磁控溅射的方式制备SQUID的核心部件Nb/Al-AlOx/Nb以及SQUID的超导Nb导线。为了避免交叉污染，要求磁控溅射镀膜机采用两个工艺腔室、一个进样腔室的设计；一个工艺腔室溅射超导Nb,一个工艺腔室溅射Al,并在进样腔室内完成Al的室温氧化以及Nb表面氧化层的去除；去除氧化层需要在进样腔室安装离子源。磁控溅射镀膜机能够制备高纯度高质量的薄膜。该设备应具有使用、操作方便，造型美观，售后服务优良。
技术规格：
3.1、金属Nb磁控溅射镀膜系统
主机主要由以下几部分构成：镀膜工艺腔室、泵抽系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等。
3.1.1镀膜工艺腔室
圆柱型304不锈钢腔室，尺寸不小于直径350mmX500mm高。
2） 腔室上下法兰都采用国际标准的16.5英寸的CF法兰进行全金属密封，上盖法兰兼容胶圈密封。
3）配有1个超高真空8英寸CF法兰观察窗，观察窗外面带有透明保护板，防止玻璃意外碰碎。
观察窗带有手动开启的适用超高真空的观察窗挡板。
通过气动升降机构开启腔室顶盖。
6）配置可安装真空泵、真空计、进样室以及其他仪器的接口，并配有空余的备用法兰口不少于2个。
7）可拆卸不锈钢内衬至少两套，一套安装在腔室内。
8）# 腔室外部带有烘烤装置，最高烘烤温度可达110度，采用程序控制温度和烘烤时间，带有烘烤安全互锁。
真空系统
1）主泵采用性能优良的低温泵，空气抽速不低于1500L/S。低温泵重量不超过20kg，从室温降温到工作温度的时间不超过3个小时，配水冷氦气压缩机及氦管，氦管长度不低于20英寸，可通过触屏或电脑来控制低温泵自动再生。
包含三位门阀，用于调节镀膜时阀门开口大小，阀门采用国际知名品牌。
3）前级泵采用干式涡旋泵（允许与其他腔室共用），抽速不低于6.7cfm，正常运转时噪音不得超过52db，关闭气镇阀后极限真空可达5X10-3torr，采用KF25接口。
4）* 在腔室110度烘烤后，系统的本底压强≤5 x10-9 Torr。
3.1.3测量系统
1） 主真空室带有275系列粗真空计和超高真空电离规，粗真空计的测量范围为大气到
1X10-4 torr，在1X10-3 torr到400Torr范围内的测量精度优于度数的+/-10%,电离规可
以测量到10-10 torr。
2）带有一台电容式薄膜规，满量程为0.1 torr，用于闭环程序精确控制和测量镀膜时工
作压强，测量精度不高于度数的+/-0.5%。
主泵和前级泵之间须配有粗真空计，真空度读数可在系统控制面板上显示。
3.1.4系统框架
开放式框架结构，外观整洁美观。
框架可兼容进样室模块。
底架和电柜封闭式结构，带有相应的脚轮和水平支脚。
4）独立的电控柜，集成总控电源，在设备框架上和电控柜安装有紧急停止按钮。
3.1.5磁控溅射系统
1）*不少于一台溅射靶枪，靶材尺寸为4英寸，预留至少两个靶枪位置具备今后升级的能力，且每个靶枪都配有工艺气体进气口，将工艺气体均匀的通入到靶材表面，适用于低压强溅射镀膜。
靶枪配置水冷，冷却水和磁钢不直接接触。
靶头具有折弯功能，可以调节靶头与基片之间的溅射角度。
# 气动紧凑式圆顶溅射源挡板，可有效的消除靶枪间交叉污染影响，靶枪最低工作压强可达0.7mTorr。
5）# 靶材安装不需要压环固定，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。
靶头内部采用全金属密封，满足超高真空（≤5 x10-9 Torr）应用。
# 一台功率不小于2000w的脉冲直流电源，电源脉冲10-100kHz频率可调。
8）一台电源转换器，用于将脉冲直流电源在两个工艺腔室的两个靶枪之间程序切换。
进气系统
1）不少于一路国际品牌质量流量计控制进气，最大流量不小于100 sccm，采用N2校核，质量流量控制计在室温状态时流量控制精度不得高于满量程的+/-1%，重复精度不得高于满量程的+/-0.3%。可设定工作气压值，通过电容式薄膜规测量反馈，自动调节进气量。
相应的放气阀和管路。
3）工作压强可以满足上游控气工艺要求，PID自动调节工作压强。
3.1.7样品台
* 单基片样品机构，最大可以安装1个6英寸（150mm）的基片，兼容小基片。
# 电机控制基片原位自转，转速0-20RPM可调，PID控制。
# 样品台带有水冷功能，水冷与样品之间的材质为无氧铜。
基片带有气动控制开关的挡板，挡板大小满足6英寸基片。
5）样品台可以配合进样室自动交接样品。
计算机控制系统
用户通过Windows系统平台操作运行设备。
# 独立的实时控制系统来实现设备操控。独立的实时控制系统提供无间断操作，电脑死机或者程序退出不影响设备正常运行。
一体式电脑，配有21.5英寸高清触摸屏（分辨率不低于1920X1080）与控制鼠标/键盘，硬盘容量不小于256GB，CPU配置不得低于CORE i5-7500，内存不得低于8GB，集成无线网卡。
电脑提供独立的实时控制系统的监督界面，监控真空操作，运动传递，维护与沉积工艺部件。
# 界面包含：直观的显示和系统状态信息，用户登入、登出，操作方式和操作中止：
真空界面：直观的显示阀门状态，泵的状态和真空度。
沉积界面：显示挡板状态，沉积源状态，沉积材料类型和靶材寿命。
气路界面：质量流量控制器的模式，气阀状态，压力测量和控制显示。
运动界面：控制电机，显示和输入样品台的位置和转速。
加热界面：控制腔室烘烤加热温度。
冷却界面：显示冷却水水流状态。
可供用户设定工艺参数的标准程序（抽真空，放气，低温泵再生，加载样品，镀膜）。
图表记录器（可以同时显示10个数据），并集成数据采集功能（生成.csv文件）
程序可通过操作界面，利用鼠标与键盘来编程与生成。
程序界面提供程序选择、编辑现有程序功能，可以复制现有程序并编辑从而生成新
的程序。
10）设备控制需要有完整的安全互锁，避免误操作对设备造成损害。并且带有部件维护
保养提醒功能。
3.1.10水冷系统
1）系统需要冷却的部件均有水冷，如靶枪等，截止阀开关各路冷却水路，设备配有必须的冷却水安全互锁设计，以保护设备。
2）每个靶枪都有配置独立的断水保护报警装置。
3）# 设备基片台冷却需要与设备其他需要冷却的部件冷却水接口分开，基片台可以单独通过冷却水控温。
3.1.11电源
380V、50Hz、三相、5线电源，配故障报警器及紧急停止按钮，相应的安全互锁装置。
3.1.12. 其他
提供一个标准6英寸兼容碎片的基片托盘。
# 薄膜均匀性：直径150mm硅片镀制150 nm以上的薄膜，采用Nb靶材镀膜，均匀性优于+/-5%，从基片中心到基片边缘每隔0.5英寸取一个测量点（去掉5 mm边缘），使用台阶仪对每个点测量三次，取平均值，均匀性计算公式：±均匀性=((最大–最小) / (2 x 平均)) x 100%。
3.2、金属Al磁控溅射镀膜系统
主机主要由以下几部分构成：镀膜工艺腔室、泵抽系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等。
3.2.1镀膜工艺腔室
圆柱型304不锈钢腔室，尺寸不小于直径350mmX500mm高。
2） 腔室上下法兰都采用国际标准的16.5英寸的CF法兰进行全金属密封，上盖法兰兼容胶圈密封。
3）配有1个超高真空8英寸CF法兰观察窗，观察窗外面带有透明保护板，防止玻璃意外碰碎，察窗带有手动开启的适用超高真空的观察窗挡板。
4）通过气动升降机构开启腔室顶盖。
5）配置可安装真空泵、真空计、进样室以及其他仪器的接口，并配有空余的备用法兰口不少于2个。
可拆卸不锈钢内衬至少两套，一套安装在腔室内。
7）# 腔室外部烘烤装置，最高烘烤温度可达110度，采用程序控制温度和烘烤时间，带有烘烤安全互锁。
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中国科学院高能物理研究所
双腔室磁控溅射镀膜机 采购项目
招 标 文 件
第二册
（专用册）
招标编号：OITC-G200361057
东方国际招标有限责任公司
中国 · 北京
2020年7月
第五部分 投标邀请
第五部分 投标邀请
日期： 2020年7月20日
东方国际招标有限责任公司受 中国科学院高能物理研究所 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对 双腔室磁控溅射镀膜机项目 进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：中国科学院高能物理研究所双腔室磁控溅射镀膜机采购项目
招标编号： OITC-G200361057
项目联系方式：
项目联系人： 耿佳 任伟松 李媛
项目联系电话： 010-68290509/0524
电子邮箱： jgeng@oitc.com.cn
采购人联系方式：
采购单位： 中国科学院高能物理研究所
地址： 北京市石景山区玉泉路19号乙
联系方式： 010-88235867
代理机构联系方式：
代理机构：东方国际招标有限责任公司
代理机构联系人：耿佳 任伟松 李媛 010-68290509/0524
代理机构地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
包号货物名称数量
（台/套）是否允许采购进口产品采购预算1双腔室磁控溅射镀膜机1套是400万投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。技术要求详见公告附件。
投标人的资格要求：
符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求” ；
在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；
投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；
按本投标邀请的规定获取招标文件；
本项目不接受联合体投标；
投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。
三、招标文件的发售时间及地点等：
预算金额： 400 万元（人民币）
时间： 2020 年 7 月 20 日 09:00?至 2020 年 7月 27 日 17:00(双休日及法定节假日除外)
地点：www.o-science.com；北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室
招标文件售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。
四、投标截止时间：2020年8月11日9:30
五、开标时间：2020年8月11日9:30
六、开标地点：
北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第2会议室
七、其它补充事宜
1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第2会议室
2、招标文件采用网上电子发售购买方式：
1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（HYPERLINK "http://www.o-science.com"http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。
2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。
4、公告期限：5个工作日
八、采购项目需要落实的政府采购政策：
（1）政府采购促进中小企业发展
（2）政府采购支持监狱企业发展
（3）政府采购促进残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
第六部分 投标人须知资料表 第六部分 投标人须知资料表
本表是对招标文件第一册“投标人须知”的具体补充和修改，如与招标文件各部分内容有差异，应以本资料表为准。
条款号内 容1.1采购人： 中国科学院高能物理研究所
采购代理机构：东方国际招标有限责任公司1.3合格的投标人资格：
1）符合“《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求” ；
2）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
3）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；
4）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；
5）按本投标邀请的规定获取招标文件；
6）本项目不接受联合体投标；
7）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。 （注1）7.1投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，否则其投标将被拒绝。评标、授标以包为单位。9.5投标人须以“技术需求逐条应答表（格式见附件5）”逐条说明所提供货物和相关服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应或申明与技术规格条文的正负偏离。*10.610.6.1本项目允许采购进口产品，进口产品与服务报CIP指定到货港美元、欧元、英镑、日元或人民币价（不含关税、增值税）；
10.6.2 国产产品与服务报项目现场交货人民币价。报价中须包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。
10.6.3上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。11.1投标保证金金额：各包采购预算金额的1.5%。
投标保证金形式：电汇、银行保函或中国投资担保有限公司出具的担保函。
(1) 投标保函有效期应同投标有效期；如投标保证金采用银行保函形式，则必须采用本章所附的“投标保证金的银行保函格式”中的条款及格式，否则投标被拒绝（“投标保证金的银行保函格式”详见附件9）；投标人应承担投标保函开具、递交、退还、通知及核印等产生的一切相关银行费用。
(2) 使用电汇形式的，投标保证金必须从境内银行账户转出，且在投标截止时间前汇到招标代理机构账户，否则投标被拒绝：
投标人应于投标截止期前将全额投标保证金转入下述指定账号, 并应将“投标保证金电汇凭证/投标保函”单独密封，在投标时与“投标一览表”同时递交。
开户名（全称）：东方国际招标有限责任公司
开户银行：招商银行北京西三环支行
帐号：862081657710001
注：须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）12.1投标有效期： 150天*13.1投标文件：正本：1份
副本：5份
电子版：1份。（正本投标文件的扫描件，PDF格式，与纸质版一致；U盘，单独密封提交）19.4投标无效的情形：
（1） 投标人未提交投标保证金或形式不符或金额不足的；
（2） 投标有效期不足的；
（3） 未按照招标文件规定要求密封、签署、盖章的；
（4） 未提供法定代表人授权书的；
（5） 未提供制造商授权书的(进口货物适用)；
（6） 投标人有违法违纪行为，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的，或在过去三年中有重大的质量、信誉等问题；
（7） 投标文件中提供虚假或失实资料的；
（8） 投标报价超过采购预算的；
（9） 投标人以明显低于成本价的价格恶意参与投标的；
（10）招标文件中明确规定不接受进口产品参加投标的，投标人提供进口产品的；
（11） 不符合法律、法规和招标文件中*号条款及实质性要求的。19.519.5.1在任何时候，如果发现投标人以低于成本价的价格恶意竞争时，将导致废标。
19.5.2 投标人需就整个包进行响应，不完整的投标将被拒绝。
19.5.3投标报价不得超出采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），否则投标将被拒绝。
投标报价如为外币，按以下公式换算为人民币，换算后的人民币价格若高于采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），投标将被拒绝：
换算后人民币价格=投标报价（外币）×汇率
说明：汇率为开标当日中国银行总行首次发布的外币对人民币的现汇卖出价21.3评标方法：综合评价打分法
具体评分标准详见附表。24.1确定中标候选人的原则为：按综合评价得分排名确定28.1如中标产品为国产产品，中标人即为国内合同卖方
如中标产品为进口产品，中标人应授权产品国外厂商或国外厂商指定的境外公司作为外贸合同卖方。外贸合同的签约币种须与投标报价币种一致。29.1履约保证金：不适用30.1中标商在收到中标通知书后5日内，须向采购人代理支付中标服务费：
1、中标服务费支付给采购人的招标采购代理，即东方国际招标有限责任公司，收取标准为国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980号文件中规定的货物采购收费比率下浮20%。34.7接收质疑函的方式、联系部门、联系电话和通讯地址：
接收方式：传真或电子邮件或邮寄
联系部门：招标部
联系电话：010-68290524
传真：010-88517351
电子邮箱： HYPERLINK "mailto:liyuan@oitc.com.cn" liyuan@oitc.com.cn
通讯地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室废标条款符合专业条件的供应商或者对招标文件作出实质性响应的供应商不足三家的；
出现影响采购公正的违法、违规行为的；
投标人的报价均超过了采购预算，采购人不能支付的；
4、因重大变故，采购任务取消的。其它核心产品：（无）
注1：
1）信用信息查询渠道：“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）等。 2）信用信息查询截止时点：同投标截止期，即查询投标人截止到投标截止期的信用信息记录。 3）信用信息查询记录和证据留存的具体方式：信用信息查询记录将以网站截图打印稿形式与其他采购文件一并保存。 4）信用信息的使用规则：如投标人为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单的供应商，或为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商，则其投标将被拒绝。
附表：评分标准
本次评标采用综合评价打分法，即在投标文件满足招标文件全部实质性要求前提下，根据招标文件中规定的各项因素及权重（分值），评标委员会每位成员分别对每个通过初审的投标人进行综合评审后，评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。
一、投标文件的初审：
1、资格性检查
序号评审内容1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件具有独立承担民事责任的能力； 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； 参加招标投标活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； 法律、行政法规规定的其他条件2在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体3为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标4投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动5银行出具的资信证明文件或公司上一年度经审计的审计报告（投标人必须提供，但由专业担保机构已出具投标担保函的除外）6依法缴纳税收的记录（提供投标截止日期之前12个月内任何一期纳税记录复印件并加盖公章）（自行编写无效）7依法缴纳社会保障资金的记录（提供投标截止日期之前12个月内任何一期缴费记录复印件并加盖公章）（自行编写无效）8参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录声明。（格式自拟，加盖公章）9具有良好商业信誉和健全财务会计制度的财务状况的承诺（格式自拟，加盖公章）10具有履行合同所必需的设备和专业技术能力的承诺（格式自拟，加盖公章）11按本投标邀请的规定获取招标文件12本项目不接受联合体投标13投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标截止日当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）。结论注：结论栏中填写“合格”表示该投标人投标文件符合招标文件的资格性要求，“不合格”表示该投标人投标文件不符合招标文件的资格性要求。
2、符合性检查
序号评审内容1是否由法人代表或授权代表有效签署2是否按招标文件规定提供法人代表授权书（如适用）3是否按招标文件规定要求密封、签署、盖章4投标有效期是否满足招标文件（不少于150天）5是否按招标文件规定提交足额投标保证金6投标保证金的有效期是否满足招标文件（同投标有效期）7投标报价是否固定唯一，投标报价是否超过采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准）8招标文件中明确规定不接受进口产品的，投标人是否提供了进口产品9是否按招标文件要求提供制造厂家的授权书（进口货物适用）10如评标委员会发现投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的投标报价，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，投标人是否按要求作书面说明并提供相关证明材料。投标人不能合理说明或不能提供相关证明材料的，评标委员会将其作为无效投标处理11是否符合招标文件规定的其它实质性要求（须满足带*条款）12投标文件是否有招标文件中规定的其它无效投标条款结 论
注：结论栏中填写“合格”表示该投标人投标文件满足招标文件的符合性要求，“不合格”表示该投标人投标文件不满足招标文件的符合性要求。
资格性检查和符合性检查均“合格”的，通过投标文件的初审，进入下一步具体评分环节；否则，其投标无效。
二、具体评分标准（满分为100分）
评分项目评分细则分值价格
部分
（30分） 根据《财政部关于加强政府采购货物和服务 项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：
价格评分 =（评标基准价/投标报价）×3030商务
部分
（8分）1、商务条款应答响应情况
商务条款应答有负偏离得0分，商务条款应答无偏离或正偏离得2分22、投标人的相关业绩（每提供一个在投标截止日起近3年内相似产品项目合同案例加1分，最高不超过6分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）6技术
部分
（60分）1、技术指标条款响应情况
技术偏离表须依据招标文件技术指标逐条响应，否则视为未实质性响应招标文件, 其投标予以拒绝；
技术指标评审基准分为55分，评委根据技术指标的偏离情况按以下标准进行评审：
a．标记为“*”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；
b．标记为“#”的指标是重要技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减 2 分；
c．无标记的指标是一般技术条款，正偏离不加分，负偏离每条减1 分。
凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。
注：投标人在响应技术条款时，应提供制造商公开发布的印刷资料（彩页或Datasheet）或检测机构出具的检测报告，若制造商公开发布的印刷资料与检测机构出具的检测报告不一致，以检测机构出具的检测报告为准。如果投标人不提供印刷资料或检测报告；印刷资料或检测报告出现与技术规格响应不一致；或无法体现投标人技术规格响应的情况时，评标委员会有权不予以认可。
投标人对标记为星号（“*”）的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商公开发布的印刷资料或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。55售后及技术支持服务方案
不满足招标文件要求的得0分；基本满足招标文件要求的得1分；完全满足和优于招标文件要求的3分3培训方案
不满足招标文件要求的得0分；基本满足招标文件要求的得1分；完全满足和优于招标文件要求的2分2其他
(2分)投标人所投产品获得相关节能、环保产品认证情况：
（1）节能产品：投标产品属于财政部和国家发改委最新公布的优先采购节能产品政府采购品目清单的（须提供国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的节能产品认证证书复印件并加盖公章）得1分；否则0分。
（2）环境标志产品：投标产品属于财政部和生态环境部最新公布的优先采购环境标志产品政府采购品目清单的（须提供国家确定的认证机构出具的、处于有效期之内的环境标志产品认证证书复印件并加盖公章）得1分；否则0分。2
注：
1、根据财政部、工业和信息化部发布的《政府采购促进中小企业发展暂行办法》、财政部、司法部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》及财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》的规定，如投标产品被认定为小微型企业或监狱企业或残疾人福利性单位制造的产品（须提供相关证明文件，小微企业提供《中小企业声明函》，监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》），可在上述第1项价格评分中，对该产品的价格给予6%的扣除，并用扣除后的价格计算价格评分。
2、提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参加同一合同项下同一项目包投标的，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品牌投标人获得中标人推荐资格；评审得分相同的，按投标报价排列，报价最低的投标人获得中标人推荐资格；得分与投标报价均相同的，按技术指标优劣排列，技术得分最高的投标人获得中标人推荐资格。
3、对非单一产品采购的项目包，在各包中确定核心产品，多家投标人提供的核心产品品牌相同的，按前款规定处理。
4、评分分值计算保留小数点后两位，第三位四舍五入。
第七部分 合同特殊条款 第七部分 合同特殊条款
合同专用条款是合同一般条款的补充和修改。如果两者之间有抵触，应以专用条款为准。
1.2 买方：本合同买方系指： 中国科学院高能物理研究所
卖方：本合同卖方系指： 中标人或指定的制造商
1.5 项目现场：本合同项下的货物安装和运行地点位于：项目现场
13.3 交货时间要求:详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”
交货地点要求：项目现场
18.4 质量保证期：详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”
20.1 付款方式：
对于国产产品，100%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付；
对于进口产品，采用即期不可撤消信用证等国际贸易支付条件支付：
90%凭合同要求单据支付；
10%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付。
第八部分 技术部分
货物需求一览表
包号货物名称数量交货期指定到货港项目现场（交货地点）1双腔室磁控溅射镀膜机1套合同签订后8个月内北京首都机场 中国科学院高能物理研究所
注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。
技术规格
一、总 则
1、投标要求
1.1 投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。
1.2 投标人提供的货物须是成熟的全新的产品，其技术规格应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。
1.3 投标人提供的产品样本，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。
2、评标标准
2.1 除招标文件中指定的附件和专用工具外，投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。
2.2 对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。
2.3 为便于用户进行接收仪器的准备工作，卖方应在合同生效后60天内向用户提供一套完整的电子版使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套纸质版完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。
2.4 关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，卖方应在合同生效后一个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。
2.5 制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。
2.6 在评标过程中，买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料，投标人务必在接到此类要求后，在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人，买方有权拒绝其投标。
3、工作条件
除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：
3.1 适于在气温为摄氏-20℃～＋40℃和相对湿度为10%-80％的环境条件下运输和贮存。
3.2 适于在电源380V（(10％）/50Hz、气温摄氏+15℃～＋30℃和相对湿度小于80％的环境条件下运行。能够连续正常工作。
3.3 配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。
3.4 如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说明。
4、验收标准
除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：
4.1 仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收, 如卖方届时不派人来, 则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损, 买方有权要求卖方负责更换。
4.2 验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。
4.3 验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。
5、本技术规格书中标注“*”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离将导致废标。
6、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。
二、具体技术规格
双腔室磁控溅射镀膜机
工作条件：
1.1 见总则第3条。
设备用途：
“阿里原初引力波探测计划”计划在我国西藏阿里地区建设一台CMB B-mode偏振望远镜，测量宇宙早期时空量子涨落产生的原初引力波，望远镜的核心是超导转变边沿探测器（TES）以及低温读出超导量子干涉仪（SQUID）。研制满足阿里原初引力波探测计划的SQUID要求采用磁控溅射的方式制备SQUID的核心部件Nb/Al-AlOx/Nb以及SQUID的超导Nb导线。为了避免交叉污染，要求磁控溅射镀膜机采用两个工艺腔室、一个进样腔室的设计；一个工艺腔室溅射超导Nb,一个工艺腔室溅射Al,并在进样腔室内完成Al的室温氧化以及Nb表面氧化层的去除；去除氧化层需要在进样腔室安装离子源。磁控溅射镀膜机能够制备高纯度高质量的薄膜。该设备应具有使用、操作方便，造型美观，售后服务优良。
技术规格：
3.1、金属Nb磁控溅射镀膜系统
主机主要由以下几部分构成：镀膜工艺腔室、泵抽系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等。
3.1.1镀膜工艺腔室
圆柱型304不锈钢腔室，尺寸不小于直径350mmX500mm高。
2） 腔室上下法兰都采用国际标准的16.5英寸的CF法兰进行全金属密封，上盖法兰兼容胶圈密封。
3）配有1个超高真空8英寸CF法兰观察窗，观察窗外面带有透明保护板，防止玻璃意外碰碎。
观察窗带有手动开启的适用超高真空的观察窗挡板。
通过气动升降机构开启腔室顶盖。
6）配置可安装真空泵、真空计、进样室以及其他仪器的接口，并配有空余的备用法兰口不少于2个。
7）可拆卸不锈钢内衬至少两套，一套安装在腔室内。
8）# 腔室外部带有烘烤装置，最高烘烤温度可达110度，采用程序控制温度和烘烤时间，带有烘烤安全互锁。
真空系统
1）主泵采用性能优良的低温泵，空气抽速不低于1500L/S。低温泵重量不超过20kg，从室温降温到工作温度的时间不超过3个小时，配水冷氦气压缩机及氦管，氦管长度不低于20英寸，可通过触屏或电脑来控制低温泵自动再生。
包含三位门阀，用于调节镀膜时阀门开口大小，阀门采用国际知名品牌。
3）前级泵采用干式涡旋泵（允许与其他腔室共用），抽速不低于6.7cfm，正常运转时噪音不得超过52db，关闭气镇阀后极限真空可达5X10-3torr，采用KF25接口。
4）* 在腔室110度烘烤后，系统的本底压强≤5 x10-9 Torr。
3.1.3测量系统
1） 主真空室带有275系列粗真空计和超高真空电离规，粗真空计的测量范围为大气到
1X10-4 torr，在1X10-3 torr到400Torr范围内的测量精度优于度数的+/-10%,电离规可
以测量到10-10 torr。
2）带有一台电容式薄膜规，满量程为0.1 torr，用于闭环程序精确控制和测量镀膜时工
作压强，测量精度不高于度数的+/-0.5%。
主泵和前级泵之间须配有粗真空计，真空度读数可在系统控制面板上显示。
3.1.4系统框架
开放式框架结构，外观整洁美观。
框架可兼容进样室模块。
底架和电柜封闭式结构，带有相应的脚轮和水平支脚。
4）独立的电控柜，集成总控电源，在设备框架上和电控柜安装有紧急停止按钮。
3.1.5磁控溅射系统
1）*不少于一台溅射靶枪，靶材尺寸为4英寸，预留至少两个靶枪位置具备今后升级的能力，且每个靶枪都配有工艺气体进气口，将工艺气体均匀的通入到靶材表面，适用于低压强溅射镀膜。
靶枪配置水冷，冷却水和磁钢不直接接触。
靶头具有折弯功能，可以调节靶头与基片之间的溅射角度。
# 气动紧凑式圆顶溅射源挡板，可有效的消除靶枪间交叉污染影响，靶枪最低工作压强可达0.7mTorr。
5）# 靶材安装不需要压环固定，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。
靶头内部采用全金属密封，满足超高真空（≤5 x10-9 Torr）应用。
# 一台功率不小于2000w的脉冲直流电源，电源脉冲10-100kHz频率可调。
8）一台电源转换器，用于将脉冲直流电源在两个工艺腔室的两个靶枪之间程序切换。
进气系统
1）不少于一路国际品牌质量流量计控制进气，最大流量不小于100 sccm，采用N2校核，质量流量控制计在室温状态时流量控制精度不得高于满量程的+/-1%，重复精度不得高于满量程的+/-0.3%。可设定工作气压值，通过电容式薄膜规测量反馈，自动调节进气量。
相应的放气阀和管路。
3）工作压强可以满足上游控气工艺要求，PID自动调节工作压强。
3.1.7样品台
* 单基片样品机构，最大可以安装1个6英寸（150mm）的基片，兼容小基片。
# 电机控制基片原位自转，转速0-20RPM可调，PID控制。
# 样品台带有水冷功能，水冷与样品之间的材质为无氧铜。
基片带有气动控制开关的挡板，挡板大小满足6英寸基片。
5）样品台可以配合进样室自动交接样品。
计算机控制系统
用户通过Windows系统平台操作运行设备。
# 独立的实时控制系统来实现设备操控。独立的实时控制系统提供无间断操作，电脑死机或者程序退出不影响设备正常运行。
一体式电脑，配有21.5英寸高清触摸屏（分辨率不低于1920X1080）与控制鼠标/键盘，硬盘容量不小于256GB，CPU配置不得低于CORE i5-7500，内存不得低于8GB，集成无线网卡。
电脑提供独立的实时控制系统的监督界面，监控真空操作，运动传递，维护与沉积工艺部件。
# 界面包含：直观的显示和系统状态信息，用户登入、登出，操作方式和操作中止：
真空界面：直观的显示阀门状态，泵的状态和真空度。
沉积界面：显示挡板状态，沉积源状态，沉积材料类型和靶材寿命。
气路界面：质量流量控制器的模式，气阀状态，压力测量和控制显示。
运动界面：控制电机，显示和输入样品台的位置和转速。
加热界面：控制腔室烘烤加热温度。
冷却界面：显示冷却水水流状态。
可供用户设定工艺参数的标准程序（抽真空，放气，低温泵再生，加载样品，镀膜）。
图表记录器（可以同时显示10个数据），并集成数据采集功能（生成.csv文件）
程序可通过操作界面，利用鼠标与键盘来编程与生成。
程序界面提供程序选择、编辑现有程序功能，可以复制现有程序并编辑从而生成新
的程序。
10）设备控制需要有完整的安全互锁，避免误操作对设备造成损害。并且带有部件维护
保养提醒功能。
3.1.10水冷系统
1）系统需要冷却的部件均有水冷，如靶枪等，截止阀开关各路冷却水路，设备配有必须的冷却水安全互锁设计，以保护设备。
2）每个靶枪都有配置独立的断水保护报警装置。
3）# 设备基片台冷却需要与设备其他需要冷却的部件冷却水接口分开，基片台可以单独通过冷却水控温。
3.1.11电源
380V、50Hz、三相、5线电源，配故障报警器及紧急停止按钮，相应的安全互锁装置。
3.1.12. 其他
提供一个标准6英寸兼容碎片的基片托盘。
# 薄膜均匀性：直径150mm硅片镀制150 nm以上的薄膜，采用Nb靶材镀膜，均匀性优于+/-5%，从基片中心到基片边缘每隔0.5英寸取一个测量点（去掉5 mm边缘），使用台阶仪对每个点测量三次，取平均值，均匀性计算公式：±均匀性=((最大–最小) / (2 x 平均)) x 100%。
3.2、金属Al磁控溅射镀膜系统
主机主要由以下几部分构成：镀膜工艺腔室、泵抽系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等。
3.2.1镀膜工艺腔室
圆柱型304不锈钢腔室，尺寸不小于直径350mmX500mm高。
2） 腔室上下法兰都采用国际标准的16.5英寸的CF法兰进行全金属密封，上盖法兰兼容胶圈密封。
3）配有1个超高真空8英寸CF法兰观察窗，观察窗外面带有透明保护板，防止玻璃意外碰碎，察窗带有手动开启的适用超高真空的观察窗挡板。
4）通过气动升降机构开启腔室顶盖。
5）配置可安装真空泵、真空计、进样室以及其他仪器的接口，并配有空余的备用法兰口不少于2个。
可拆卸不锈钢内衬至少两套，一套安装在腔室内。
7）# 腔室外部烘烤装置，最高烘烤温度可达110度，采用程序控制温度和烘烤时间，带有烘烤安全互锁。
真空系统<... 查看详情
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