哈尔滨工业大学电子探针项目第二次招标公告招标-分析测试百科网

招标内容

1. 招标条件

本项目已通过主管部门审批，招标人为哈尔滨工业大学，项目已具备招标条件，现对该项目进行第二次公开招标。

2. 项目概况

2.1 项目名称：电子探针

2.2 项目编号： HITZB-979

2.3 采购数量：1

2.4 采购需求及主要技术指标（以用户提供序号排序）：

( 一 ) 技术规格：

1 、技术参数

1.1 二次电子分辨率： 5nm （工作距离 11mm ）

*1.2 电子枪：六硼化镧，采用预对中灯丝，不需机械调节，灯丝饱和点自动调节

1.3 电子枪对中：二级偏转电磁式，可显示灯丝像

1.4 加速电压： 0.2 ~ 30kV( 步长为 0.1kV)

*1.5 束流范围： 10-5 ~ 10-12A

*1.6 束流稳定度：± 0.05%/h; ± 0.3%/12h

1.7 放大倍数：× 40 ~ × 300,000

1.8 物镜：超级小物镜（水冷）

*1.9 物镜光栏： 4 级可变光栏

1.11 自动聚焦：标准配置

1.12 自动消像散：标准配置

1.13 自动衬度 / 自动亮度：标准配置

1.14 大焦深模式：标准配置

2. 波谱系统

2.1 元素探测范围： 5B ~ 92U （标准）

2.2 谱仪 2 theta; 角范围： XCE 型谱仪： 25°~ 136°

H 型谱仪： 36°~ 118.5°

2.3 X 射线出射角： 40°

*2.4 罗兰圆半径： 140mm （ XCE 、 TXE 、 FCS 型谱仪）和 100mm （ H 型）组合使用

2.5 谱仪道数： 4 道谱仪

2.6 谱仪控制：异步控制 + 同步控制

*2.7 分光晶体的交换：自动交换；晶体可在谱仪扫描区间任何位置交换，交换后无需调整

2.8 X 射线探测器：气流正比计数管 (GPC)

氙气正比计数管 (XPC)

2.9 X 射线波谱分析实验条件（主放大器，增益，探测器高压，脉冲高度分析仪等）：根据所测元素及相关的分光晶体，自动设置实验条件

2.10 自动全元素定性分析：约 40 秒

3 、真空系统

3.1 真空度：好于 1.0×10 -3 Pa

*3.2 真空泵：由分子泵、机械泵、离子泵组成，对轻元素的分析没有影响

3.3 抽真空时间：探针从开机到正常工作，抽气时间为 20 分钟。

3.4 真空控制：全自动

3.5 安全装置：当出现意外时（如真空漏气、真空度下降、电源故障、冷却水故障等），电子探针各系统自动保护系统启动

3.6 紧急停机：紧急停机按钮

3.7 真空度检测：高真空规（ Penning gauge ）及低真空规（ Pirani gauge ），装有检漏功能

4 、电子检测系统

4.1 二次电子检测器

4.2 高灵敏度背散射电子检测器

*4.3 电子束电流检测器 (PCD)

5 、光学观察系统

*5.1 精准定位光学显微镜：焦深误差 le;± 1 m m; CCD 显示

6 、样品台系统

6.1 样品室：适合大尺寸样品，最大样品尺寸： 100mm × 100mm × 50(H)mm

6.2 分析区域： 90mmx90mm

*6.3 样品台移动距离： X=90mm, Y=90mm ， Z=7.5mm(WD=11mm)

6.4 三轴马达驱动样品台 (X\Y\Z) ，除 X 和 Y 方向驱动样品外，还可沿对角线方向移动样品

*6.5 样品台微动模式为最小步长： le; 0. 02 mu;m/step

6.6 样品交换：气锁式交换样品

6.7 配备 25.5 ( 直径 ) ? 20 mm (H) 样品台一个，可同时安装 9 个样品

6.8 标配 32 （直径） x25mm(H) 样品台一个，此台携带 13 种标准样品（ Mg, Al, Si, Ti, Cr, Fe, Ni, Cu, Zr, Mo, Cd, W, Au ）

6.9 配备 36 ( 直径 ) ? 20 mm (H) 样品台一个，可安装 4 个样品

6.10 配备 70mm*100mm*10mmH 样品台一个

7 、数据处理系统

7.1 计算机单元： PC 控制 windows7 系统

7.2 处理器： 32bits

7.3 　内存： 3GB 以上

7.4 硬盘： 80GB 以上

7.5 光刻机：标配

7.6 显示器： 19 英寸液晶显示器

8. 软件：

8.1 除标配软件外，须提供相分析软件、定量面分析软件。

9 、能谱仪

9.1 * 能谱探测器：场效应管 (FET) 内置的高速 SDD 芯片，晶体有效检测面积 30mm2 ，

9.2 * 脉冲处理板集成在探测器内，无需单独的谱仪箱，使系统更加高效和稳定。

9.3 分析元素范围： Be4~Am95

9.4 能量分辨率 (Mn-Ka) ：优于 129eV, 严格依照 ISO15632 国际标准测量

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