共享平台购高分辨电子束成像曝光机采购公告招标-分析测试百科网

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( 高水平大学共享平台购高分辨电子束成像曝光机 )需求公示项目名称高分辨电子束成像曝光机是否预选项目否采购人名称深圳大学采购方式非协议采购财政预算限额（元） 3800000 项目背景高分辨电子束曝光系统项目是深圳大学高水平大学建设项目。设备主要用：高分辨电子束曝光系统采用电子束作为光源，进行电子束曝光工艺，实现高精度纳米材料和器件的开发制作。必要性：因微纳米器件的低能耗、高性能、便于携带等多方面的优势，微纳米器件的加工变得越来越重要。高分辨电子束曝光系统可以实现最小线宽 8nm的结构加工，是微纳米器件加工中必不可少的设备。该设备项目预算为380万投标人资质要求 1）投标人”系指响应采购文件要求、参加本次招标采购的供应商。 (1) 投标人必须是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区（以下简称“合格来源国/地区”）的法人或其他组织，在法律上和财务上独立、合法运作并独立于招标人和招标机构，具有相关经营范围，有资格和能力提供本采购项目的货物及服务的制造商或代理商（或经销商）。须提供营业执照或企业注册证明复印件（经营范围必须涵盖本次招标货物，加盖公章）。深圳大学是科教仪器设备减免税单位，如果是境外供货，投标人应有境外供货与外币结算资格或者是取得了境外供货贸易商的投标授权。若投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到货物制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书原件或是合法代理商（若投标人为合法代理商应出具有效代理证明扫描件，制造商除外）。（2）证明投标人已具备履行合同所需的财务、技术和生产能力的文件。（3）投标人须提供设备在国内的销售业绩表、合同复印件或中标通知书复印件（表中应列出设备的出厂日期、用户名称、地址、联系人及联系方式等）（4）参与国际招标的投标人必须在中国国际招标网www.chinabidding.com 注册成为会员，具有深圳市政府采购注册供应商资格。 2）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；货物清单序号采购计划编号货物名称数量单位备注财政预算限额(元) 1 PLAN-2016-023001-000003 高分辨电子束成像曝光机 1.0 套国际招标 3800000.0 具体技术要求 1．采购货物配置功能要求，各设备的主要技术参数、性能规格一、硬件指标 Hardware specification: 1. 采用肖特基热场发射电子束源（TFE）。 Thermal field emission (TFE) Schottky source 2. * 加速电压为20V-30kV，并在此范围内可以以10V的步长任意设置加速电压，以满足加速电压的灵活调节。 Beam voltage can be freely selected within the entire range from 20 V to 30 kV in steps of 10 V. 3. 束电流范围：5pA ~20nA Beam current range: 5pA ~20nA 4. * 在加速电压为20kV时，最小束斑尺寸 1.6nm The minimum beam size at 20kV 1.6nm 5. * 最小验收线宽 8nm Minimum feature size (line width) 8nm 6. * 光栅验收尺寸：周期 40nm，线宽 20nm Minimum grating periodicity 40nm, line width 20nm 7. 束流可长时间稳定，实验室温度波动 n; 0.5℃的情况下，束电流稳定性 0.5%/ hour。 Beam current is stable for a long time, the beam current stability is 0.5%/ hour when the variation of environmental temperature n;0.5℃. 8. * 配备二次电子探测器，实现高分辨成像和测量功能，成像放大倍数满足20 ~ 1,000,000倍。 Includes an Everhart-Thornley secondary electron detector for high resolution imaging and metrology, magnification range is 20 times ~ 1,000,000 times. 9. 软件可设定写场尺寸为0.5 m ~ 2 mm，且在此范围内，写场可以连续可调，任意设定。 The writing field size is continuously variable by software from 0.5 m to 2mm. 10. * 配备激光干涉工作台，工作台运动行程为50mm x 50mm x 25mm，X/Y方向运动精度为2nm。 Includes a laser interferometer stage, the travel range is 50mm x 50mm x 25mm (X x Y x Z), the positioning resolution is 2 nm. 11. 拼接/套刻精度： 60 nm (|mean| + 3 t; sigma) Stitching/ overlay accuracy: 60 nm (|mean| + 3 t; sigma) 12. 系统可处理样品尺寸 2inch。 The maximum sample size 2inch 13. 配备通用样品台，最大可承载25mm样品，或承载几个碎片。 Includes an universal sample holder, which can load several piece parts. The maximum sample can be loaded is 25mm. 14. 提供配套的不间断电源（UPS）和水冷机等。 Includes an UPS and water chiller. 二、软件指标 1. * 配备专业电子束曝光软件包，软件基于Windows操作系统，可实现图形设计编辑、参数设定、成像/度量、系统控制等功能。 Includes a professional e-beam lithography software package which based Windows system for pattern design/ edit, parameter setup, imaging/metrology, system controlling. 2. 软件采用多用户管理，每个用户可以使用独立的文件和参数，操作方便，设计人性化。 True multi-user management software platform, which allows independent files and parameters for every user, easy to operate, humanized design. 3. * 集成GDSII编辑器，可对图形进行分层设计，允许导入GDSII、DXF、ASCII、CIF等多种格式的文件。 Integrated GDSII editor, user can do the pattern design layer by layer, and can accept the files in the format of GDSII、DXF、ASCII、CIF. 4. 电子束扫描方式多种多样，用户可根据曝光图形任意设定。如： There are lots of scan modes can be chose by customer. 矢量扫描模式，线性扫描或蛇形扫描。 Vector scan mode, line scan mode, meander scan mode. 可曝光任意形状的单像素点或线。 Can expose arbitrarily shaped single pixel lines and dots. * 圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充，保证图形边缘的光滑，以及低数据量的快速处理。 Circular exposure mode for circles and rings, ensure the smooth edge and fast low data handling. 纵向、横向，或按照任意角度的方向扫描。 Vertical scan, horizontal scan, and scan in any direction. 位图光栅扫描,等等。 Bit map/ raster scan mode. 5. * 具备成像度量功能，并可在在线或离线的状态下进行图形测量分析。 Includes imaging and metrology function, user can do the pattern metrology using on line license or off line license. 6. * 标记识别灵活，可识别任意形状、任意材料的标记。 Mark recognition is flexible, system can recognize the mark in any shape or any materials. 商务需求序号目录招标商务需求（一）免费保修期内售后服务要求 1 免费保修期产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），供方向需方免费提供 1 年上门保修服务。免费保修期内，首先通过电话或邮件进行故障排除，如需现场维修，供方将于五个工作日内派遣专业�... 查看详情

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