中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心磁控溅射金属蒸镀系统和电子束金属蒸镀设备和反应离子刻蚀机和激光扫描共焦显微镜和接触式紫外光刻公开招标公告（国际招标）招标-分析测试百科网

中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心磁控溅射金属蒸镀系统和电子束金属蒸镀设备和反应离子刻蚀机和激光扫描共焦显微镜和接触式紫外光刻公开招标公告（国际招标）

招标上海-上海

发布时间：2020-10-09

中国科学院脑科学与智能技术卓越创新中心磁控溅射金属蒸镀系统和电子束金属蒸镀设备和反应离子刻蚀机和激光扫描共焦显微镜和接触式紫外光刻公开招标公告（国际招标）

项目概况磁控溅射金属蒸镀系统和电子束金属蒸镀设备和反应离子刻蚀机和激光扫描共焦显微镜和接触式紫外光刻招标项目的潜在投标人应在上海市共和新路1301号C座110室获取招标文件，并于2020年10月30日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：0834-2041SH20A313

项目名称：磁控溅射金属蒸镀系统和电子束金属蒸镀设备和反应离子刻蚀机和激光扫描共焦显微镜和接触式紫外光刻

预算金额：1050.0000000 万元（人民币）

采购需求：

包5（招标编号：0834-2041SH20A313/05）：磁控溅射金属蒸镀系统；数量：1套；简要技术规格：*3.6.1 单基片样品机构，可以安装1个6英寸的基片，并向下兼容小基片；交货期：合同签订后5个月内交货（不允许偏离）；

包6（招标编号：0834-2041SH20A313/06）：电子束金属蒸镀设备；数量：1套；简要技术规格：*4-6-1.蒸膜厚100nm 的金（Au），基片表面温度不超过80℃；交货期：合同签订后6个月内交货（不允许偏离）；

包7（招标编号：0834-2041SH20A313/07）：反应离子刻蚀机；数量：1套；简要技术规格：*3.6.3 气路柜中的质量流量计到反应腔的距离 100 cm，以保证快速的气体切换；交货期：合同签订后6个月内交货（不允许偏离）；

包8（招标编号：0834-2041SH20A313/08）：激光扫描共焦显微镜；数量：1套；简要技术规格：*3.7水平分辨率：X/Y平面分辨率 0.12um；交货期：合同签订后3个月内交货（不允许偏离）；

包9（招标编号：0834-2041SH20A313/09）：接触式紫外光刻；数量：1套；简要技术规格：*3.3.2显微镜物镜：5倍；交货期：合同签订后5个月内交货（不允许偏离）

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