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紫外竖直共聚焦扫描系统单一来源公示

招标浙江

发布时间：2018-10-08

招标内容

紫外竖直共聚焦扫描系统单一来源公示一 . 采购人名称：浙江大学二 . 采购项目名称：紫外竖直共聚焦扫描系统三 . 招标项目概况（内容、用途、数量、简要技术要求等）：紫外竖直共聚焦扫描系统四 . 拟采用的采购方式：单一来源采购方式五 . 申请理由：根据大口径熔石英软件光致发光缺陷检测工程样机项目技术要求，需要共聚焦系统对元件光致发光缺陷检测，用于缺陷的高分辨局部精检、三维成像。共聚焦显微系统需要采用使用波长375nm；GaAsp探测器，520nm量子效率大于45%；扫描分辨率2048*2048;横向空间分辨率 le;0.3 mu;m；纵向分辨率 le;0. 5 mu;m。由于大孔径熔石英元件检测的特殊性，还要求共聚焦系统适配紫外波长、并能够竖直�... 查看详情

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