张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发炉管及干法去胶等设备采购项目公开招标公告招标-分析测试百科网

招标内容

公告概要：
公告信息：
采购项目名称
张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发炉管及干法去胶等设备采购项目
品目
货物/通用设备/电子和通信测量仪器/元件器件参数测量仪/半导体器件参数测量仪,货物/通用设备/电子和通信测量仪器/元件器件参数测量仪/集成电路参数测量仪
采购单位
中国科学院上海高等研究院
行政区域
上海市
公告时间
2018年07月10日 18:08
获取招标文件时间
2018年07月10日 18:06 至 2018年07月17日 16:00
招标文件售价
￥1000
获取招标文件的地点
中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
开标时间
2018年07月31日 10:00
开标地点
中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼会议室（详见电子屏幕）
预算金额
￥2715万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
赵丽莉
项目联系电话
021-62791919*135
采购单位
中国科学院上海高等研究院
采购单位地址
上海市浦东新区海科路99号
采购单位联系方式
黄雨辰、021-20325063
代理机构名称
上海国际招标有限公司
代理机构地址
中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼
代理机构联系方式
赵丽莉、86-21-62791919×135
附件：
附件1
国际竞争性招标文件炉管及干法去胶等设备招标文件0710（定稿）.pdf
　　上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发炉管及干法去胶等设备采购项目进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发炉管及干法去胶等设备采购项目
项目编号：18101802
项目联系方式：
项目联系人：赵丽莉
项目联系电话：021-62791919*135
采购单位联系方式：
采购单位：中国科学院上海高等研究院
地址：上海市浦东新区海科路99号
联系方式：黄雨辰、021-20325063
代理机构联系方式：
代理机构：上海国际招标有限公司
代理机构联系人：赵丽莉、86-21-62791919×135
代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
序号
货物名称
简要技术说明
数量
交货期
1
SOG Coating涂布机
涂布速度：0-30m/min 有效涂布宽度：600mm 涂布轮尺寸：Ф205×720mm 动力：2hp
1台/套
2018年10月15日
2
炉管
炉管方向：垂直平坦温区控温精度：设定值±0.5℃ 升温超调：设定值±1℃ 气体流量稳定度：流量>=10slm,变动流量退火温度片内非均匀性：WIW(%) 退火温度片与片非均匀性：WTW(%) 平均无故障率：(MTBF) >=96
1台/套
2018年10月15日
3
二氧化硅介质膜热生长和高温退火工艺设备Furnance(Anneal Thermal OX)
炉管方向：垂直平坦温区控温精度：设定值±0.5℃ 升温超调：设定值±1℃ 气体流量稳定度：流量>=10slm,变动流量膜厚片内非均匀性：膜厚片与片非均匀性：二氧化硅膜厚范围：50埃至2微米二氧化硅膜折射率：1.46±3% 石英舟承片量：大于150 平均无故障率：>93%
1台/套
2018年10月15日
4
高温氮化硅介质膜热生长设备Furnance（LPCVD SiN）
炉管方向：垂直平坦温区控温精度：设定值±0.5℃ 升温超调：设定值±1℃ 气体流量稳定度：流量>=10slm,变动流量 ... 查看详情

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