张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标公开招标公告招标-分析测试百科网

招标内容

公告概要：
公告信息：
采购项目名称
张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标
品目
货物/通用设备/电气设备/半导体直、变流设备,货物/通用设备/电子和通信测量仪器/元件器件参数测量仪/集成电路参数测量仪
采购单位
中国科学院上海高等研究院
行政区域
上海市
公告时间
2018年06月11日 18:24
获取招标文件时间
2018年06月11日 18:17 至 2018年06月19日 16:00
招标文件售价
￥1000
获取招标文件的地点
中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
开标时间
2018年07月04日 09:30
开标地点
中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼（详见电子屏幕）
预算金额
￥2640万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
赵丽莉
项目联系电话
86-21-62791919×135
采购单位
中国科学院上海高等研究院
采购单位地址
上海市浦东新区海科路99号
采购单位联系方式
黄雨辰、021-20325063
代理机构名称
上海国际招标有限公司
代理机构地址
中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼
代理机构联系方式
赵丽莉、86-21-62791919×135
附件：
附件1
国际竞争性招标文件深紫外曝光设备等二手设备0611定稿.pdf
　　上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标
项目编号：0705-184118101810
项目联系方式：
项目联系人：赵丽莉
项目联系电话：86-21-62791919×135
采购单位联系方式：
采购单位：中国科学院上海高等研究院
地址：上海市浦东新区海科路99号
联系方式：黄雨辰、021-20325063
代理机构联系方式：
代理机构：上海国际招标有限公司
代理机构联系人：赵丽莉、86-21-62791919×135
代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
序号
货物名称
简要技术说明
数量
交货期
1
深紫外线曝光设备
分辨率：150纳米扫描速率：每秒250毫米镜头失真：±32纳米以内最大曝光区域：水平25.0毫米，垂直33.0毫米聚焦水平重复性：3σ≦ 80纳米聚焦校准重复性：3σ≦ 80纳米线性曝光功率：≧800mW/cm2 整合剂量控制精度：±1.2％光罩旋转精度：｜M｜+3σ≦ 15nm 对准精度：｜M｜+ 3σ≦ 40nm， 3σ≦ 30nm 步进精度：3σ≦20nm
1台/套
2018年9月1日
2
晶圆涂胶和显影设备
... 查看详情

全部分类

张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标重新招标公开招标公告

招标内容

最新招标

最新中标