武汉光谷信息光电子创新中心有限公司采购金属镀膜机等设备变更公告招标-分析测试百科网

武汉光谷信息光电子创新中心有限公司采购金属镀膜机等设备变更公告

招标湖北

发布时间：2017-11-16

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各投标人：应招标人要求，现对武汉光谷信息光电子创新中心有限公司采购仪器设备第四包：3D显微镜相关技术要求作如下修改：一、设备用途三维显微镜主要用于材料与芯片微结构来测量和分析样品表面的微观表面粗糙度与三维表面轮廓，同时获取样品颜色信息和三维轮廓信息，包括高粗糙度表面、高反射率表面、高纵横比特征以及多层透明表面。该设备应能够精确无误地探测到垂直方向各点上焦面的位置，并且探测过程不受样品表面粗糙度和反射率的限制。设备应具有三维分析功能，可快速、直观的获取台阶高度、粗糙?、面积、体积、角?、横截面积及其它表面属性。二、设备功能 1、要求软件集成机台控制、扫描成像以及二维和三维数据测量分析等功能，满足测量需要，不需使用任何第三方软件； 2、扫描成像模块针对用户需要，可以灵活设定各项参数，包括：观察模式、光强、相机参数、扫描参数、聚焦方式及参数等； 3、样品本色三维成像，成像与测量结果将客户所需的数据以多种不同的方式展现在同一界面，一目了然。也可在二维、三维以及分析界面间自由切换； 4、二维测量功能； 5、剖面轮廓线测量功能； 6、面上三维测量功能； 7、粗糙度测量功能； 8、自动图像拼接功能；三、主要技术指标 1、光源：白光LED或激光； 2、横向分辨率不低于380nm; Z轴分辨率不低于10nm； 3、物镜转盘可同时装载至少5个物镜； 4、要求具有物镜自动识别功能； 5、配置至少5个物镜，5 、10 、20 、50 与100 ； 6、垂直方向运动行程不低于5mm； 7、配备全自动样品台，行程不低于100... 查看详情

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