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柔性OLED蒸镀系统

招标江苏
发布时间:2017-10-09

招标内容

招标公告 江苏集萃光电检测中心(以下简称“招标人”)应业务需要,对《柔性OLED蒸镀系统》进行公开招标,欢迎合格的供应商参加投标。 现将相关事项公告如下: 一、项目名称及编号: 1、项目名称:柔性OLED蒸镀系统 2、招标编号:JSJC20171009-2 二、招标范围: 柔性OLED蒸镀系统 数量:1台 设备参数要求见附表一 三、投标人资格要求: 参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》 四、招标报名时间: 招标报名截止时间:2017年10月27日17:30 招标报名方式可分为:现场报名或邮件报名 报名联系人:朱荔 女士 报名地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼 联系电话:0512 62316052 邮箱:jsjc_cgxz@jitriioo.com 报名须填写供应商信息表,详见附表二 五、投标时间 投标截止时间:2017年10月27日17:30 投标联系人:朱荔 女士 投标地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼 联系电话:0512 62316052 投标截止前如有任何技术问题,请联系: 技术联系人:卢青 联系电话:18168981182 邮箱:luq@jitriioo.com 公告附件:江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知.docx招标公告-柔性OLED蒸镀系统.docx招标文件.doc 招标公告
江苏集萃光电检测中心以下简称招标人应业务需要对柔性OLED蒸镀系统进行公开招标欢迎合格的供应商参加投标
现将相关事项公告如下
一项目名称及编号
1项目名称柔性OLED蒸镀系统
2招标编号JSJC201710092
二招标范围
柔性OLED蒸镀系统 数量1台
设备参数要求见附表一
三投标人资格要求
参见江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知
四招标报名时间
招标报名截止时间2017年10月27日1730
招标报名方式可分为现场报名或邮件报名
报名联系人朱荔 女士
报名地址江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话0512 62316052
邮箱jsjccgxzjitriioocom
报名须填写供应商信息表详见附表二
五投标时间
投标截止时间2017年10月27日1730
投标联系人朱荔 女士
投标地址江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话0512 62316052
投标截止前如有任何技术问题请联系
技术联系人卢青
联系电话18168981182
邮箱luqjitriioocom
附表一设备参数要求
一基本信息
主要技术性能指标和配置要求
附表二供应商信息收集表
仪器设备名称 柔性OLED蒸镀系统
购置平台 光电测试平台
系统的主要配置以及主要参数 1真空设备共通规格 产品尺寸规格 基板尺寸200200mm方形玻璃和8硅片兼容200200mm柔性PET 产品厚度 03mm~17mm 单层厚度 主要厚度为05mm玻璃和17mm硅片单层厚度 基板材质有碱无碱旭硝子康宁玻璃或硅片 真空设备组成 红色部分为蒸镀设备放置区域其规格要求如下 蒸镀腔体方形材料SUS304氩弧焊接内表面机械抛光后电解抛光前后开门O型密封圈密封 11 观察窗O型密封圈密封DN80石英玻离 12 观察窗挡板不锈钢挡板腔体外可打开关闭 13 MASK腔体方形材料SUS304氩弧焊接内表面机械抛光后电解抛光安装有DN80观察窗一个 存放6片200200的MASK+2片GLASS 14 机械手腔体方形材料SUS304氩弧焊接内表面机械抛光后电解抛光安装有DN80观察窗一个配置一个旋转门可取放MASK 2 真空系统 21 分子泵或冷泵极限压强≤106Pa抽速氮气≥2000升秒转速42000转分风冷 22 真空测量量程范围10105Pa~大气 3 机架及面板进口铝型材搭建配脚轮可推动配可调节高度的支脚面板采用铝板阳极氧化 4 基片盘转速050转分可调安装基片台尺寸200200mm 41 掩膜板材料磁性不锈钢厚度范围0204mm 42 机械手可前进后退+上升下降可完成MASK在存放库和基片之间的更换可软件控制 5 蒸发源电阻式蒸发源水冷式电极水冷管道46mm源与源之间配隔板防止交叉污染材料紫铜金属和有机蒸发源共20套坩埚尺寸坩埚大小23cc 51 配置4个低电压大电流的TDKlambda电源1 24 kW TDKlambda GEN10240和1 15 kW TDKlambdaGEN81802 06kW TDKlambdaGEN6100 额定电源切换20个蒸发源可以实现4源共蒸镀 6膜厚控制仪四路2台膜厚仪通过电脑界面的软件来控制及显示膜厚速率显示精度±004AS石英晶振探头需要O型密封圈密封可调节支架根据需要调节位置 61 配置8个晶振探头2个位于中心基片盘两侧带水冷另6个不带水冷可以通过支撑杆调整位置 7 电器控制控制主机一台工控机整套系统的控制电路板一套相关的电路接头及数据信号线 8 软件控制系统设备操作软件一套逻辑控制单元进口PLC一套其它数据处理元件 9 手套箱室 手套箱功能 密闭循环 手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环不断地除水除氧 自动控制再生 除水除氧材料可以再生再生过程由程序控制 自动清洗 手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成 箱体压力控制 手套箱内压力通过PLC自动控制 工作压力+ 10mbar内可以自由设定超出+ 12mbar系统自动保护 真空泵自动控制 真空泵要求在系统需要时自动开启 2 主要组成和基本配置 集成有封闭的箱体带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗过渡舱循环净化单元单柱PLC控制及触摸屏操作系统真空系统显示系统支架等 包括 1个304不锈钢的箱体耐酸厚度3 mm长宽高=18001300900mm 1个不锈钢制成的真空过渡室直径360mm 长度600mm右侧 1个小的过渡室直径150mm长度300mm右侧 1个带4个手套口的前... 查看详情

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