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广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购（项目编号：0724-1701D35N3870）公开招标公告
招标广东
发布时间：2017-09-30
招标内容
招标编号：
0724-1701D35N3870
涉及包号：/01
公告名称：
广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购（项目编号：0724-1701D35N3870）公开招标公告
项目分类：
项目负责人：
李家荣 020-37860539
公布日期：
2017-9-29
项目内容：
广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购（项目编号：0724-1701D35N3870）公开招标公告
国义招标股份有限公司受广东省半导体产业技术研究院的委托，对广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购进行公开招标采购，采购内容如下：
一、项目编号：0724-1701D35N3870
二、采购项目名称： 广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购
三、采购项目预算金额（元）：6,300,000
四、采购数量：详见下表
五、采购预算：
设备名称 单位 数量 最高限价（万元）
MOCVD设备 台 1 人民币630万
详细技术规范请参阅招标文件中的用户需求书。投标人必须对所投项目内全部内容进行投标报价，如有缺漏或超出最高限价，将导致投标无效。
本项目采购本国产品。
六、投标人资格：
参加本项目投标的投标人除应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条供应商资格条件外，还必须符合下列要求：
1．投标人必须是来自中华人民共和国的法人
2．投标人只允许为独立法人，不接受联合体投标
3. 所投设备具备有效的授权证明资料（如投标人为代理经销商）
4．参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供检察院出具的无行贿犯罪记录《查询结果告知函》
5. 不同的投标人之间有下列情形之一的，不接受作为参与同一项目竞争的投标人：
A、彼此存在投资与被投资关系的；
B、彼此的经营者、董事会（或同类管理机构）成员属于直系亲属或配偶关系的。
C、法定代表人或单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位
6、供应商应在信用中国网站（www.creditchina.gov.cn）“信用信息”、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”查询情况证明（报名时请提供两个网站的信用记录查询结果打印页面并加盖公章）
七、符合资格的投标人应当在2017年9月30日至 2017年10月12日每天（节假日除外）9:00至11:30，14:00至16:30(北京时间) 购买招标文件，本招标文件每套售价为150元人民币，售后不退。
购买招标文件时，提供以下证明文件：
①法定代表人/负责人资格证明书、法定代表人/负责人授权委托书
②提供有效的营业执照副本复印件（如非“三证合一”证照，同时提供税务登记证副本复印件）（加盖公章）；
③参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供检察院出具的无行贿犯罪记录《查询结果告知函》
④供应商应在信用中国网站（www.creditchina.gov.cn）“信用信息”、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”查询情况证明（报名时请提供两个网站的信用记录查询结果打印页面并加盖公章）
招标文件购买方式：
前往以下地址购买
国义招标股份有限公司1楼购标室
地址：广州市东风东路726号1楼购标室
电话：020-37860612
传真：020-37860611
联系人：吴小姐
八、投标截止时间（北京时间）：2017年10月27日14时30分00秒(注14时00分开始受理投标文件)
九、投标文件送达地点(投标地址)：国义招标股份有限公司2楼5号会议室（广州市越秀区东风东路726号国义招标股份有限公司2楼）（投标文件应由投标人授权代表亲自送达投标地址，采购代理机构将不接受其它形式递交的投标文件）
十、开标时间（北京时间）：2017年10月27日14时30分00秒
十一、开标地点：国义招标股份有限公司2楼5号会议室（广州市越秀区东风东路726号国义招标股份有限公司2楼）
十二、本公告期限（5个工作日）自2017 年 09 月 30 日 至 2017 年 10 月 12 日止。
十三、采购人及采购代理机构的联系方式：
采购代理机构联系人：李家荣、田麟、莫宁含 采购人联系人：黄先生
电话：(8620) 37860540/539/525 电话：(8620) 61086420
传真：(8620) 87768283/37860550 传真：(8620) 61086422
联系地址：广州市东风东路726号18楼 联系地址： 广州市天河区长兴路363号
邮编：510080 邮编：510051
附件：
（（招标文件电子版））
（（委托协议））
国义招标股份有限公司
2017年9月29日
第 1页
公开招标文件
项目编号07241701D35N3870
采购项目名称广东省半导体产业技术研究院 MOCVD设备采购
国义招标股份有限公司编制
发布日期二○一七年九月二十九日
第 2页
温馨提示
一 如无另行说明投标文件递交时间为投标截止时间之前 30分钟内
二 为避免因迟到而失去投标资格请适当提前到达
三 投标人请注意区分邮购标书投标保证金及中标服务费各收款帐号的区别务必将保证金按
招标文件的要求存入指定的投标保证金缴纳账户切勿将款项转错账户以免影响投标及保
证金退还的速度中标服务费存入指定的中标服务费缴费账户
四 投标保证金必须于投标截止时间前到达招标文件指定的投标保证金缴纳账户开户行及账号
见投标人须知 由于转账当天不一定能够达账为避免因投标保证金未达账而导致投标
被拒绝建议至少提前 2个工作日转账
五 投标文件应按顺序编制页码
六 请仔细检查投标文件是否已按招标文件要求盖章签名及密封
七 请正确填写开标一览表 并与投标保证金缴纳凭证一同封装在单独的唱标信封当中
多包项目请每包单独封装并请仔细检查包号包号与包名称必须对应
八 招标项目内或所投包号内有多项设备或报价内容的应加总后报总价
九 如投标人以非独立法人注册的分公司名义代表总公司盖章和签署文件的须提供总公司的营
业执照副本复印件及总公司针对本项目投标的授权书原件
十 购买了招标文件的公司请在投标截止时间前 3日以书面形式通知采购代理机构是否参加投
标邮购或网购文件的公司应提供快递地址以确保收到纸质的采购文件
以上提示内容仅作一般事项提醒如与实际招标项目要求有不一致以招标文件为准
第 3页
温馨提示为使项目中标结果顺利公告请已购买招标文件的供应商登录广东省政府采购网
httpwwwgdgpogovcn供应商注册栏目进行供应商账号注册操作 已注册过账号的供应商请忽
略此信息
供应商注册流程图
事项 内容
注册办理材料
需准备原件的彩色扫描件营业执照或法人登记证税务登记证
社保登记证开户银行许可证法定代表人身份证机构管理员身
份证组织机构代码证等如证书合并可统一上传营业执照证
书编号统一使用统一社会信用代码
受理部门地点 广东省财政厅政府采购监管处 广州市越秀区仓边路 26 号 8 楼
适用范围 在广东省范围内参与或从事政府采购活动的供应商
办理时间 周一至周五工作时间
咨询电话 02083345601837261978318850083188580
办理期限 2 个工作日
注意事项 审查机构在收到供应商注册申请起 2个工作日内对供应商网上提
交的信息和资料进行符合性完整性和准确性审查系统自动将审
查机构意见以邮件形式通知供应商审查未通过的供应商应及时
上网修改完善后重新提交审查
目 录
第 4页
第一部分 投标邀请函
第二部分 采购项目内容
第三部分 投标人须知
第四部分 合同格式
第五部分 投标文件格式
第 5页
第一部分 投标邀请函
各潜在投标人
国义招标股份有限公司受广东省半导体产业技术研究院的委托对 广东省半导体产业技术研究院
MOCVD设备采购进行公开招标采购欢迎符合资格条件的投标人投标现将该项目采购文件进行公示
公示期间为2017年9月30日至2017年 10月12日五个工作日根据广东省实施中华人民共和国
政府采购法办法第三十五条的规定供应商认为政府采购文件的内容损害其权益的可以在公示
期间或者自期满之日起七个工作日内以书面形式加盖单位公章的原件其它形式无效向招标代理
机构提出质疑项目采购内容如下
一项目编号07241701D35N3870
二采购项目名称 广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购
三采购预算
设备名称 单位 数量 最高限价万元
MOCVD设备 台 1 人民币630万
详细技术规范请参阅招标文件中的用户需求书投标人必须对所投项目内全部内容进行投标报价
如有缺漏或超出最高限价将导致投标无效
本项目采购本国产品
四投标人资格
参加本项目投标的投标人除应具备中华人民共和国政府采购法第二十二条供应商资格条件外
还必须符合下列要求
1投标人必须是来自中华人民共和国的法人
2投标人只允许为独立法人不接受联合体投标
3 所投设备具备有效的授权证明资料如投标人为代理经销商
4参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录提供检察院出具的无行贿犯罪
记录查询结果告知函
5 不同的投标人之间有下列情形之一的不接受作为参与同一项目竞争的投标人
A彼此存在投资与被投资关系的
B彼此的经营者董事会或同类管理机构成员属于直系亲属或配偶关系的
C法定代表人或单位负责人为同一人或者存在控股管理关系的不同单位
6供应商应在信用中国网站wwwcreditchinagovcn信用信息中国政府采购网
wwwccgpgovcn 政府采购严重违法失信行为信息记录查询情况证明报名时请提供两个网站
的信用记录查询结果打印页面并加盖公章
五符合资格的投标人应当在 2017年 9月30日至 2017年 10月 12日每天节假日除外900
至 11301400至 1630北京时间 购买招标文件本招标文件每套售价为 150元人民币售后不
退
购买招标文件时提供以下证明文件
①法定代表人负责人资格证明书法定代表人负责人授权委托书
②提供有效的营业执照副本复印件如非三证合一证照同时提供税务登记证副本复印件
加盖公章
③参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录提供检察院出具的无行贿犯罪
记录查询结果告知函
④供应商应在信用中国网站wwwcreditchinagovcn信用信息中国政府采购网
wwwccgpgovcn 政府采购严重违法失信行为信息记录查询情况证明报名时请提供两个网站
的信用记录查询结果打印页面并加盖公章
招标文件购买方式
前往以下地址购买
国义招标股份有限公司 1楼购标室
地址广州市东风东路 726号1楼购标室
电话02037860612
传真02037860611
联系人吴小姐
六投标截止时间北京时间 2017年 10月 27日 14时 30分 00秒注 14时 00分开始受理投
第 6页
标文件
七投标文件送达地点投标地址国义招标股份有限公司 2楼 5号会议室广州市越秀区东风
东路726号国义招标股份有限公司 2楼 投标文件应由投标人授权代表亲自送达投标地址采购代理
机构将不接受其它形式递交的投标文件
八开标时间北京时间 2017年 10月27日 14时 30分 00秒
九开标地点国义招标股份有限公司 2楼5号会议室广州市越秀区东风东路726号国义招标
股份有限公司2楼
十采购人及采购代理机构的联系方式
采购代理机构联系人李家荣田麟莫宁含 采购人联系人黄先生
电话8620 37860540539525 电话8620 61086420
传真8620 8776828337860550 传真8620 61086422
联系地址广州市东风东路 726号 18楼 联系地址 广州市天河区长兴路 363号
邮编510080 邮编510051
银行及账户信息
1电汇邮购招标文件缴费账户
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610808
2投标保证金缴纳账户
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610703
3中标服务费缴费账户
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610808
国义招标股份有限公司
2017年9月29日
第 7页
第二部分 采购项目内容
一投标人资格
参加本项目投标的投标人除应具备中华人民共和国政府采购法第二十二条供应商资格条件外
还必须符合下列要求
1投标人必须是来自中华人民共和国的法人
2投标人只允许为独立法人不接受联合体投标
3 所投设备具备有效的授权证明资料如投标人为代理经销商
4参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录提供检察院出具的无行贿犯罪
记录查询结果告知函
5 不同的投标人之间有下列情形之一的不接受作为参与同一项目竞争的投标人
A彼此存在投资与被投资关系的
B彼此的经营者董事会或同类管理机构成员属于直系亲属或配偶关系的
C法定代表人或单位负责人为同一人或者存在控股管理关系的不同单位
6供应商应在信用中国网站wwwcreditchinagovcn信用信息中国政府采购网
wwwccgpgovcn 政府采购严重违法失信行为信息记录查询情况证明报名时请提供两个网站
的信用记录查询结果打印页面并加盖公章
二用户需求书
一项目基本要求
完成 1台套 48片2英寸氮化物 MOCVD设备的制造并完成 GaN材料的基本工艺生长人员
培训
1设备构成清单
序号 设备名称 数量 备注
1 多片式氮化物 MOCVD系统 1套
11 气路系统 1套 每套不少于6路MO源
12 电气系统 1套
高稳定可靠具有抗干扰
自动保护功能
13 自动控制系统 1套 全面自控
14 真空传递系统 1套 样品传递全自动化
15 真空腔体管道系统 1套
16 反应系统 1套 具有自主知识产权
17 加热系统 1套
18 冷却系统 1套
19 监测系统 1套
110 设备机柜 1套
111 其他辅助设备 若干 重要工具类等
2基本功能要求
可以进行GaNAlGaNInGaN等多种氮化物材料的外延生长以及n型p型掺杂外延膜厚度控
制精度为单原子层
3GaN外延工艺
完成GaN材料外延生长达到指标要求水平外延生长所需衬底各种原材料由投标人自行购置
二技术要求
1 设备用途
用于进行氮化物材料的外延生长包括各种氮化物光电子器件用微结构材料微电子器件用
微结构材料
2 数量共 1 套
第 8页
3 基本需求
▲1每次装载量48片2英寸衬底
▲2匀气顶棚采用象限式进气模式分成8个象限
▲3在衬底低速旋转下可以进行原子层外延生长
▲4有机源和氢化物在顶棚可以用载气隔离避免发生预反应
▲5衬底转速在01500转分钟连续可调
▲6三腔室系统生长室传递室进样室
▲7全自动样品托盘传递功能
▲8不低于6路MO源
▲9反应室设计具有自主知识产权
★10必须提供全新制造设备不允许提供二手设备
4 性能指标
系统总指标
设备温度控制范围 100～1200℃温度稳定性＜±3℃温度均匀性＜±3℃在 1000℃ 升
温速率05℃3℃s连续可调压力控制范围 20760Torr连续可调控制精度为3 Torr20Torr～
760Torr 系统气密性管路系统漏气率＜1×10
9
PaLS反应室漏气率＜3×10
9
PaLS
GaN外延材料生长技术指标
▲生长速率14um小时
▲厚度均匀性和重复性优于 4
▲GaN外延膜背景浓度 350 cm
2
Vs 2umGaN
▲双晶衍射半峰宽优于 280 arcsec
▲n型掺杂浓度1×10
17
cm
3
5×10
18
cm
3
连续可调
▲P型掺杂浓度> 3×10
17
cm
3
迁移率>10cm
2
Vs
▲AlGaNAl组分大于 20
▲阱双晶X射线衍射峰不少于 4级
▲材料波长均匀性优于 3
▲制做的蓝光LED芯片在20mA下发光功率达到15mW以上
分系统指标
气路系统实现气路无扰动切换和压力闭环自动控制压力控制范围 20760 Torr连续可调控
制精度为3 Torr20Torr ～ 760Torr
电气系统为MOCVD核心系统提供稳定及持续的电力支持实现各种电路保护抗干扰稳压及
稳流
自动控制系统1实现气体流量反应室及管路压强温度自动控制2实现计算机远程
操作控制3实现数据采集与反馈控制4实现生长过程的完全自动控制实现参数实时
交互5实现非正常温度压力流量等参数检测与报警技术及其他各种故障状态的报警及安
全处理
真空传递系统能够实现直径为大于400mm的衬底托盘在手套箱进样室及生长室之间高精度的
自动传递其中真空传递系统负载能力大于 7Kg重复定位精度±02mm运动范围Z轴
第 9页
70mmθ轴无限回转系统漏率≤3×10
9
PaLS
真空腔体管道系统
技术指标及参数
1 基片传递真空室
尺寸 根据48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
1
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
2 托盘传递真空室
尺寸 根据 48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
1
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
3 机械手回转真空室
尺寸 根据48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
3
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
4 托盘贮存真空室
尺寸 根据48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
3
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
5 基片生长真空室
尺寸 根据 48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
6
Pa
工作真空度 ≤3×10
4
Pa
漏率 ≤1×10
10
PaLS
材质 316L
6 基片托盘传递真空室真空系统
级数 1级
主泵 高稳定可靠无油干泵
极限压强 < 5Pa 5× 10
2
mbar
抽速 233Lmin
7 机械手回转托盘贮存真空室真空系统
级数 1级
主泵 高稳定可靠无油干泵
极限压强 < 5Pa 5× 10
2
mbar
抽速 233Lmin
8 尾气真空系统
级数 2级
主泵 高稳定可靠无油干泵
极限真空 027Pa
抽速 7000Lmin
过滤罐2件 Φ300×670mm
第 10页
反应系统基于减小预沉积和生成加合物的原料混合顶棚设计可实现 原材料在衬底托盘上的
均匀混合实现高平稳衬底托盘旋转衬底托盘转速在 01500转分钟连续可调
加热系统衬底温度范围100～1200℃温度稳定性＜±2℃温度均匀性＜±3℃在1000℃
升温速率05℃3℃s连续可调加热丝寿命大于3000小时
冷却系统冷却系统为MOCVD核心系统所有发热的部件进行冷却对于顶棚的冷却需采用单独的
冷却机组冷却机组主要技术指标如下
1供液温度35～65℃可设定温控精度±05℃
2其他部件需采用1821摄氏度的工艺软化水进行冷却
监测系统实现原位监测及表征技术系统波长635nm和 950nm在托盘转速 11500转分钟
均可以进行外延生长在位监测及温度控制
设备机柜能承载气路系统电气系统反应系统高真空传递系统冷却系统等结构设计
紧凑外观做工细致颜色搭配协调
其他辅助设备
氢气探测器3台气路焊接设备 1台真空检漏设备 1台以及普通工具
原材料
保证工艺验收的各种原材料
蓝宝石衬底MO源氨气硅烷
5 设备的安全保护设施
基本要求提供一套连续实时高稳定性高可靠度基于 PLC 技术的报警系统对各排风口进行
监控并与设备设置联动 实现多种安全互锁功能
三 包装和运输
投标人负责包装运输及保险服务
包装材料为木箱运输工具为汽运装卸采用吊车
四 安装调试
产品安装调试在采购人进行由采购人提供安装调试验收场地电力净化条件氢气氮气等
MOCVD设备调试用配套条件
投标人负责设备的安装调试GaN外延材料生长设备操作以及 GaN外延生长工艺技术的培训
五 设备售后服务
1严格按照合同要求提供符合设计标准质量合格的产品
2严格检查和控制原材料元器件配套件的进厂质量
3供应商提供的产品保证是全新产品钢材配套件电器件等保证是正厂出产的产品绝不会
使用冒牌劣质产品
4保证所供设备加工工艺完善检测手段完备产品不带缺陷出厂
5供应商对该设备的质量保证期为一年在正常使用的情况下质量保证期内若出现质量问题供
应商将提供优良周到的免费服务
六 验收及培训
1MOCVD设备各项性能指标参数验收
1以双方共同签署的技术协议和设计图纸作为验收标准先到投标人场地进行系统硬件初步验收
2在采购人安装调试完成后按照合同对系统技术指标要求进行系统进行验收
第 11页
3投标人提供设备的使用说明书
4投标人提供硬件基础原理及设备使用技术的培训
2MOCVD工艺验收及培训
1氮化物基本生长工艺验收
按照GaN外延材料生长技术指标及设备各项指标进行验收
2人员培训不少于2人次 2周的氮化物生长技术培训
七 交货期
▲11个月
八 付款方式
甲方在签订合同后7日内不包括政府审批合同及付款申请时间向乙方支付合同额 100总货款
说明标注★的条款为不可偏离条款不满足者将被设为无效投标条款标注▲的条款
为评标时重要评分指标不满足者将会被严重扣分不作为无效投标条款
1 第 1页
第三部分 投标人须知
一说 明
1适用范围
11本招标文件适用于本投标邀请函中所述项目的政府采购
2 定义
21 采购人是指广东省半导体产业技术研究院
22监管部门是指政府采购项目监督管理部门
23采购代理机构是指国义招标股份有限公司
24招标采购单位是指采购人采购代理机构
25合格的投标人
1 符合政府采购法第二十二条规定的投标人
2 符合招标文件规定的资格要求及特殊条件要求
3在采购代理机构登记并购买了招标文件
26 中标人是指经法定程序确定并授予合同的投标人
3 合格的货物工程和服务
31 货物是指投标人制造或组织符合招标文件要求的货物等投标的货物必须是其合法生
产的符合国家有关标准要求的货物并满足政府采购文件规定的规格参数质量价格有效期
售后服务等要求
32 工程是指满足国家相关法律法规规章等规定并符合本项目相关质量要求安全
文明施工要求的工程
33 服务是指除货物和工程以外的其他政府采购对象其中包括投标人须承担的运输安
装技术支持培训以及符合招标文件规定的其它服务
4投标费用
41 投标人应承担所有与准备和参加投标有关的费用不论投标的结果如何招标采购单位均
无义务和责任承担这些费用
42本次招标向中标人收取的中标服务费按固定价人民币 40000元整收取
中标人在收到中标通知书前向采购代理机构缴纳中标服务费以电汇方式缴纳交费帐户为
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610808
用 途 07241701D35N3870 中标费
二招标文件
5 招标文件的构成
51招标文件由下列文件组成
1 投标邀请函
2 采购项目内容
3 投标人须知
4 合同格式
5 投标文件格式
6 在招标过程中由招标采购单位发出的修正和补充文件等
52投标人应认真阅读并充分理解招标文件的全部内容包括所有的补充修改内容重要事
项格式条款和技术规范设备参数及服务需求等 投标人没有按照招标文件要求提交全部资料
或者投标没有对招标文件在各方面都做出实质性响应是投标人的风险有可能导致其投标被拒绝
或被认定为无效投标
6 招标文件的澄清
61任何要求对招标文件进行澄清的投标人均应以书面形式在投标截止时间十五日以前通知招
标采购单位招标采购单位对其收到的书面的对招标文件的澄清要求均以书面形式予以答复同时
将书面答复发给每个购买招标文件的投标人答复中不包括问题的来源 该答复作为招标文件的一
部分对投标人有约束力投标人在收到上述澄清答复后应立即向招标采购单位回函确认
62投标人在规定的时间内未对招标文件澄清或提出疑问的招标采购单位将视其为无异议对招标
文件中描述有歧意或前后不一致的地方评标委员会有权进行评判但对同一条款的评判应适用于每个投
标人
2 第 2页
7 招标文件的修改
7l在投标截止时间十五日以前无论出于何种原因招标采购单位可主动地或在解答投标人提
出的疑问时对招标文件进行修改招标文件的修改将以书面形式通知所有购买招标文件的投标人
该修改作为招标文件的一部分对投标人有约束力投标人在收到上述修改通知后应立即向招标
采购单位回函确认
72招标采购单位可以视采购具体情况延长投标截止时间和开标时间但至少应当在招标文件
要求提交投标文件的截止时间 3日前并将变更时间书面通知所有已购买招标文件投标人
三投标文件的编制
8投标的语言及计量
81 投标人提交的投标文件以及投标人与招标采购单位就有关投标的所有来往函电均应使用中
文投标人提交的支持文件或印刷的资料可以用另一种语言但相应内容应附有中文翻译本在解
释投标文件的修改内容时以中文翻译本为准对中文翻译有异议的以权威机构的译本为准
82 除非招标文件中另有规定投标人在投标文件中及其与招标采购单位的所有往来文件中的
计量单位均应采用中华人民共和国法定计量单位
9投标文件的构成应符合法律法规及招标文件的要求
10 投标文件编制
101 投标人应当对投标文件进行装订对未经装订的投标文件可能发生的文件散落或缺损由
此产生的后果由投标人承担投标人对招标文件中多个包进行投标的其投标文件的编制应按每个
包的要求分别装订和封装
102投标人应完整真实准确的填写招标文件中规定的所有内容对投标文件所提供的全部
资料的真实性承担法律责任并无条件接受招标采购单位及政府采购监督管理部门等对其中任何资
料及招标采购单位或政府采购监督管理部门认为有必要的资料进行核实的要求
103如果因为投标人投标文件填报的内容不详或没有提供招标文件中所要求的全部资料及数
据由此造成的后果其责任由投标人承担
11 投标报价
111 如招标文件无特殊规定投标价格以人民币填报
112投标人应按照招标文件第二部分 采购项目内容中规定的内容责任范围以及合同条款
进行报价并按开标一览表和投标明细报价表确定的格式报出分项价格和总价投标总价
中不得包含招标文件要求以外的内容否则在评标时不予核减投标总价中也不得缺漏招标文件所
要求的相应内容否则将导致投标无效
113投标明细报价表填写时应响应下列要求
1 对于报价免费的项目必须标明免费
2 投标报价应为货物运至用户指定地点的含税价包括但不限于运输保险安装伴随服务
关税销售税其他税以及采购合同包含的所有风险责任等各项应有费用
114 每种规格货物或每项标准服务只允许有一个报价否则将被视为无效投标
12 备选方案
121只允许投标人有一个投标方案否则将被视为无效投标招标文件允许有备选方案的除
外
13 联合体投标
131 本项目接受联合体投标
132 如招标项目接受联合体投标的则组成联合体投标的按政府采购的法律法规规章等有
关规定执行并提供联合体共同投标协议书格式见附件
14 投标人资格证明文件
141投标人应按招标文件的要求提交证明其有资格参加投标和中标后有履行合同能力的文件
并作为其投标文件的组成部分包括但不限于资格性及符合性检查表中所列要求
142资格证明文件必须真实有效复印件必须加盖单位印章
15 证明投标标的的合格性和符合招标文件规定的文件
16 投标保证金
161投标人应按招标文件规定的金额形式和时间缴纳投标保证金投标保证金作为投标文件
的组成部分
162投标保证金缴纳金额形式和时间
1投标保证金金额为￥12593500元人民币拾贰万伍仟玖佰叁拾伍元 如投标人参加
多个包的投标且不能分别递交投标保证金的将在其所投各包投标保证金退还条件全部满足后方
3 第 3页
给予一次性退回
2投标保证金应以银行转账或银行汇款方式在投标截止时间前到达以下指定账号
收款人国义招标股份有限公司
保证金开户行招商银行股份有限公司广州体育东路支行
帐 号120905690610703
投标人须在汇款或转帐附言标注本次项目编号同时详细填写附件投标保证金缴纳凭证 并
将汇款底单复印件附在投标保证金缴纳凭证中连同开标一览表一起密封在单独的唱标信
封内递交以便办理投标保证金的退还手续
3保证金以到达上述保证金账户为准投标人应按以上所述方式及时间提交投标保证金采
购代理机构不承担投标人的投标保证金未能及时到帐的风险
4保函形式的投标保证金应当随同开标一览表一起密封在单独的唱标信封内递交
163凡未按规定缴纳投标保证金的投标为无效投标
164如无质疑或投诉未中标的投标人保证金在中标通知书发出后五个工作日内不计利息原
额退还如有质疑或投诉将在质疑和投诉处理完毕后不计利息原额退还从投标截止时间至投标
有效期结束的这段时间内投标人不得撤回其投标否则其投标保证金将被没收
165中标人的投标保证金在中标人与采购人签订采购合同后五个工作日内不计利息原额退还
中标人应在签订采购合同后两个工作日内交采购代理机构备案
166有下列情形之一的投标保证金将被依法没收并上缴同级国库
1 中标后无正当理由放弃中标或不与采购人签订合同的
2 将中标项目转让给他人或者在投标文件中未说明且未经采购人同意违反招标文件规定
将中标项目分包给他人的
17 投标有效期
171投标文件应在投标截止日后的 90天内保持有效投标有效期比规定时间短的将被作为非实
质性响应招标文件而予以拒绝
172特殊情况下招标采购单位可于投标有效期期满之前要求投标人同意延长投标有效期
要求与答复均应为书面形式投标人可以拒绝上述要求而其投标保证金不被没收对于同意该要求
的投标人既不要求也不允许其修改报价文件但将要求其相应延长投标保证金的有效期有关退
还和没收投标保证金的规定在投标有效期的延长期内继续有效
18 投标文件的数量和签署
181 投标人应编制投标文件一式六份其中正本一份和副本五份投标文件的副本可采用正本
的复印件每套投标文件须清楚地标明正本副本若副本与正本不符以正本为准
182 投标文件的正本需打印或用不褪色墨水书写并由法定代表人或经其正式授权的代表签
字授权代表须出具书面授权证明法人证明及法人授权证明均应在投标文件中提供格式见附件
183 投标文件中的任何重要的插字涂改和增删必须由法定代表人或经其正式授权的代表在
旁边加盖公章或签字才有效
184电子文件投标人必须随投标文件同时提交一套全部投标文件内容的电子文件U盘或光
盘无病毒电子文件必须装于独立的信封信封上注明电子文件其中所有文件不做压缩
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0724-1701D35N3870
涉及包号：/01
公告名称：
广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购（项目编号：0724-1701D35N3870）公开招标公告
项目分类：
项目负责人：
李家荣 020-37860539
公布日期：
2017-9-29
项目内容：
广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购（项目编号：0724-1701D35N3870）公开招标公告
国义招标股份有限公司受广东省半导体产业技术研究院的委托，对广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购进行公开招标采购，采购内容如下：
一、项目编号：0724-1701D35N3870
二、采购项目名称： 广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购
三、采购项目预算金额（元）：6,300,000
四、采购数量：详见下表
五、采购预算：
设备名称 单位 数量 最高限价（万元）
MOCVD设备 台 1 人民币630万
详细技术规范请参阅招标文件中的用户需求书。投标人必须对所投项目内全部内容进行投标报价，如有缺漏或超出最高限价，将导致投标无效。
本项目采购本国产品。
六、投标人资格：
参加本项目投标的投标人除应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条供应商资格条件外，还必须符合下列要求：
1．投标人必须是来自中华人民共和国的法人
2．投标人只允许为独立法人，不接受联合体投标
3. 所投设备具备有效的授权证明资料（如投标人为代理经销商）
4．参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供检察院出具的无行贿犯罪记录《查询结果告知函》
5. 不同的投标人之间有下列情形之一的，不接受作为参与同一项目竞争的投标人：
A、彼此存在投资与被投资关系的；
B、彼此的经营者、董事会（或同类管理机构）成员属于直系亲属或配偶关系的。
C、法定代表人或单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位
6、供应商应在信用中国网站（www.creditchina.gov.cn）“信用信息”、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”查询情况证明（报名时请提供两个网站的信用记录查询结果打印页面并加盖公章）
七、符合资格的投标人应当在2017年9月30日至 2017年10月12日每天（节假日除外）9:00至11:30，14:00至16:30(北京时间) 购买招标文件，本招标文件每套售价为150元人民币，售后不退。
购买招标文件时，提供以下证明文件：
①法定代表人/负责人资格证明书、法定代表人/负责人授权委托书
②提供有效的营业执照副本复印件（如非“三证合一”证照，同时提供税务登记证副本复印件）（加盖公章）；
③参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供检察院出具的无行贿犯罪记录《查询结果告知函》
④供应商应在信用中国网站（www.creditchina.gov.cn）“信用信息”、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”查询情况证明（报名时请提供两个网站的信用记录查询结果打印页面并加盖公章）
招标文件购买方式：
前往以下地址购买
国义招标股份有限公司1楼购标室
地址：广州市东风东路726号1楼购标室
电话：020-37860612
传真：020-37860611
联系人：吴小姐
八、投标截止时间（北京时间）：2017年10月27日14时30分00秒(注14时00分开始受理投标文件)
九、投标文件送达地点(投标地址)：国义招标股份有限公司2楼5号会议室（广州市越秀区东风东路726号国义招标股份有限公司2楼）（投标文件应由投标人授权代表亲自送达投标地址，采购代理机构将不接受其它形式递交的投标文件）
十、开标时间（北京时间）：2017年10月27日14时30分00秒
十一、开标地点：国义招标股份有限公司2楼5号会议室（广州市越秀区东风东路726号国义招标股份有限公司2楼）
十二、本公告期限（5个工作日）自2017 年 09 月 30 日 至 2017 年 10 月 12 日止。
十三、采购人及采购代理机构的联系方式：
采购代理机构联系人：李家荣、田麟、莫宁含 采购人联系人：黄先生
电话：(8620) 37860540/539/525 电话：(8620) 61086420
传真：(8620) 87768283/37860550 传真：(8620) 61086422
联系地址：广州市东风东路726号18楼 联系地址： 广州市天河区长兴路363号
邮编：510080 邮编：510051
附件：
（（招标文件电子版））
（（委托协议））
国义招标股份有限公司
2017年9月29日
第 1页
公开招标文件
项目编号07241701D35N3870
采购项目名称广东省半导体产业技术研究院 MOCVD设备采购
国义招标股份有限公司编制
发布日期二○一七年九月二十九日
第 2页
温馨提示
一 如无另行说明投标文件递交时间为投标截止时间之前 30分钟内
二 为避免因迟到而失去投标资格请适当提前到达
三 投标人请注意区分邮购标书投标保证金及中标服务费各收款帐号的区别务必将保证金按
招标文件的要求存入指定的投标保证金缴纳账户切勿将款项转错账户以免影响投标及保
证金退还的速度中标服务费存入指定的中标服务费缴费账户
四 投标保证金必须于投标截止时间前到达招标文件指定的投标保证金缴纳账户开户行及账号
见投标人须知 由于转账当天不一定能够达账为避免因投标保证金未达账而导致投标
被拒绝建议至少提前 2个工作日转账
五 投标文件应按顺序编制页码
六 请仔细检查投标文件是否已按招标文件要求盖章签名及密封
七 请正确填写开标一览表 并与投标保证金缴纳凭证一同封装在单独的唱标信封当中
多包项目请每包单独封装并请仔细检查包号包号与包名称必须对应
八 招标项目内或所投包号内有多项设备或报价内容的应加总后报总价
九 如投标人以非独立法人注册的分公司名义代表总公司盖章和签署文件的须提供总公司的营
业执照副本复印件及总公司针对本项目投标的授权书原件
十 购买了招标文件的公司请在投标截止时间前 3日以书面形式通知采购代理机构是否参加投
标邮购或网购文件的公司应提供快递地址以确保收到纸质的采购文件
以上提示内容仅作一般事项提醒如与实际招标项目要求有不一致以招标文件为准
第 3页
温馨提示为使项目中标结果顺利公告请已购买招标文件的供应商登录广东省政府采购网
httpwwwgdgpogovcn供应商注册栏目进行供应商账号注册操作 已注册过账号的供应商请忽
略此信息
供应商注册流程图
事项 内容
注册办理材料
需准备原件的彩色扫描件营业执照或法人登记证税务登记证
社保登记证开户银行许可证法定代表人身份证机构管理员身
份证组织机构代码证等如证书合并可统一上传营业执照证
书编号统一使用统一社会信用代码
受理部门地点 广东省财政厅政府采购监管处 广州市越秀区仓边路 26 号 8 楼
适用范围 在广东省范围内参与或从事政府采购活动的供应商
办理时间 周一至周五工作时间
咨询电话 02083345601837261978318850083188580
办理期限 2 个工作日
注意事项 审查机构在收到供应商注册申请起 2个工作日内对供应商网上提
交的信息和资料进行符合性完整性和准确性审查系统自动将审
查机构意见以邮件形式通知供应商审查未通过的供应商应及时
上网修改完善后重新提交审查
目 录
第 4页
第一部分 投标邀请函
第二部分 采购项目内容
第三部分 投标人须知
第四部分 合同格式
第五部分 投标文件格式
第 5页
第一部分 投标邀请函
各潜在投标人
国义招标股份有限公司受广东省半导体产业技术研究院的委托对 广东省半导体产业技术研究院
MOCVD设备采购进行公开招标采购欢迎符合资格条件的投标人投标现将该项目采购文件进行公示
公示期间为2017年9月30日至2017年 10月12日五个工作日根据广东省实施中华人民共和国
政府采购法办法第三十五条的规定供应商认为政府采购文件的内容损害其权益的可以在公示
期间或者自期满之日起七个工作日内以书面形式加盖单位公章的原件其它形式无效向招标代理
机构提出质疑项目采购内容如下
一项目编号07241701D35N3870
二采购项目名称 广东省半导体产业技术研究院MOCVD设备采购
三采购预算
设备名称 单位 数量 最高限价万元
MOCVD设备 台 1 人民币630万
详细技术规范请参阅招标文件中的用户需求书投标人必须对所投项目内全部内容进行投标报价
如有缺漏或超出最高限价将导致投标无效
本项目采购本国产品
四投标人资格
参加本项目投标的投标人除应具备中华人民共和国政府采购法第二十二条供应商资格条件外
还必须符合下列要求
1投标人必须是来自中华人民共和国的法人
2投标人只允许为独立法人不接受联合体投标
3 所投设备具备有效的授权证明资料如投标人为代理经销商
4参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录提供检察院出具的无行贿犯罪
记录查询结果告知函
5 不同的投标人之间有下列情形之一的不接受作为参与同一项目竞争的投标人
A彼此存在投资与被投资关系的
B彼此的经营者董事会或同类管理机构成员属于直系亲属或配偶关系的
C法定代表人或单位负责人为同一人或者存在控股管理关系的不同单位
6供应商应在信用中国网站wwwcreditchinagovcn信用信息中国政府采购网
wwwccgpgovcn 政府采购严重违法失信行为信息记录查询情况证明报名时请提供两个网站
的信用记录查询结果打印页面并加盖公章
五符合资格的投标人应当在 2017年 9月30日至 2017年 10月 12日每天节假日除外900
至 11301400至 1630北京时间 购买招标文件本招标文件每套售价为 150元人民币售后不
退
购买招标文件时提供以下证明文件
①法定代表人负责人资格证明书法定代表人负责人授权委托书
②提供有效的营业执照副本复印件如非三证合一证照同时提供税务登记证副本复印件
加盖公章
③参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录提供检察院出具的无行贿犯罪
记录查询结果告知函
④供应商应在信用中国网站wwwcreditchinagovcn信用信息中国政府采购网
wwwccgpgovcn 政府采购严重违法失信行为信息记录查询情况证明报名时请提供两个网站
的信用记录查询结果打印页面并加盖公章
招标文件购买方式
前往以下地址购买
国义招标股份有限公司 1楼购标室
地址广州市东风东路 726号1楼购标室
电话02037860612
传真02037860611
联系人吴小姐
六投标截止时间北京时间 2017年 10月 27日 14时 30分 00秒注 14时 00分开始受理投
第 6页
标文件
七投标文件送达地点投标地址国义招标股份有限公司 2楼 5号会议室广州市越秀区东风
东路726号国义招标股份有限公司 2楼 投标文件应由投标人授权代表亲自送达投标地址采购代理
机构将不接受其它形式递交的投标文件
八开标时间北京时间 2017年 10月27日 14时 30分 00秒
九开标地点国义招标股份有限公司 2楼5号会议室广州市越秀区东风东路726号国义招标
股份有限公司2楼
十采购人及采购代理机构的联系方式
采购代理机构联系人李家荣田麟莫宁含 采购人联系人黄先生
电话8620 37860540539525 电话8620 61086420
传真8620 8776828337860550 传真8620 61086422
联系地址广州市东风东路 726号 18楼 联系地址 广州市天河区长兴路 363号
邮编510080 邮编510051
银行及账户信息
1电汇邮购招标文件缴费账户
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610808
2投标保证金缴纳账户
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610703
3中标服务费缴费账户
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610808
国义招标股份有限公司
2017年9月29日
第 7页
第二部分 采购项目内容
一投标人资格
参加本项目投标的投标人除应具备中华人民共和国政府采购法第二十二条供应商资格条件外
还必须符合下列要求
1投标人必须是来自中华人民共和国的法人
2投标人只允许为独立法人不接受联合体投标
3 所投设备具备有效的授权证明资料如投标人为代理经销商
4参加政府采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录提供检察院出具的无行贿犯罪
记录查询结果告知函
5 不同的投标人之间有下列情形之一的不接受作为参与同一项目竞争的投标人
A彼此存在投资与被投资关系的
B彼此的经营者董事会或同类管理机构成员属于直系亲属或配偶关系的
C法定代表人或单位负责人为同一人或者存在控股管理关系的不同单位
6供应商应在信用中国网站wwwcreditchinagovcn信用信息中国政府采购网
wwwccgpgovcn 政府采购严重违法失信行为信息记录查询情况证明报名时请提供两个网站
的信用记录查询结果打印页面并加盖公章
二用户需求书
一项目基本要求
完成 1台套 48片2英寸氮化物 MOCVD设备的制造并完成 GaN材料的基本工艺生长人员
培训
1设备构成清单
序号 设备名称 数量 备注
1 多片式氮化物 MOCVD系统 1套
11 气路系统 1套 每套不少于6路MO源
12 电气系统 1套
高稳定可靠具有抗干扰
自动保护功能
13 自动控制系统 1套 全面自控
14 真空传递系统 1套 样品传递全自动化
15 真空腔体管道系统 1套
16 反应系统 1套 具有自主知识产权
17 加热系统 1套
18 冷却系统 1套
19 监测系统 1套
110 设备机柜 1套
111 其他辅助设备 若干 重要工具类等
2基本功能要求
可以进行GaNAlGaNInGaN等多种氮化物材料的外延生长以及n型p型掺杂外延膜厚度控
制精度为单原子层
3GaN外延工艺
完成GaN材料外延生长达到指标要求水平外延生长所需衬底各种原材料由投标人自行购置
二技术要求
1 设备用途
用于进行氮化物材料的外延生长包括各种氮化物光电子器件用微结构材料微电子器件用
微结构材料
2 数量共 1 套
第 8页
3 基本需求
▲1每次装载量48片2英寸衬底
▲2匀气顶棚采用象限式进气模式分成8个象限
▲3在衬底低速旋转下可以进行原子层外延生长
▲4有机源和氢化物在顶棚可以用载气隔离避免发生预反应
▲5衬底转速在01500转分钟连续可调
▲6三腔室系统生长室传递室进样室
▲7全自动样品托盘传递功能
▲8不低于6路MO源
▲9反应室设计具有自主知识产权
★10必须提供全新制造设备不允许提供二手设备
4 性能指标
系统总指标
设备温度控制范围 100～1200℃温度稳定性＜±3℃温度均匀性＜±3℃在 1000℃ 升
温速率05℃3℃s连续可调压力控制范围 20760Torr连续可调控制精度为3 Torr20Torr～
760Torr 系统气密性管路系统漏气率＜1×10
9
PaLS反应室漏气率＜3×10
9
PaLS
GaN外延材料生长技术指标
▲生长速率14um小时
▲厚度均匀性和重复性优于 4
▲GaN外延膜背景浓度 350 cm
2
Vs 2umGaN
▲双晶衍射半峰宽优于 280 arcsec
▲n型掺杂浓度1×10
17
cm
3
5×10
18
cm
3
连续可调
▲P型掺杂浓度> 3×10
17
cm
3
迁移率>10cm
2
Vs
▲AlGaNAl组分大于 20
▲阱双晶X射线衍射峰不少于 4级
▲材料波长均匀性优于 3
▲制做的蓝光LED芯片在20mA下发光功率达到15mW以上
分系统指标
气路系统实现气路无扰动切换和压力闭环自动控制压力控制范围 20760 Torr连续可调控
制精度为3 Torr20Torr ～ 760Torr
电气系统为MOCVD核心系统提供稳定及持续的电力支持实现各种电路保护抗干扰稳压及
稳流
自动控制系统1实现气体流量反应室及管路压强温度自动控制2实现计算机远程
操作控制3实现数据采集与反馈控制4实现生长过程的完全自动控制实现参数实时
交互5实现非正常温度压力流量等参数检测与报警技术及其他各种故障状态的报警及安
全处理
真空传递系统能够实现直径为大于400mm的衬底托盘在手套箱进样室及生长室之间高精度的
自动传递其中真空传递系统负载能力大于 7Kg重复定位精度±02mm运动范围Z轴
第 9页
70mmθ轴无限回转系统漏率≤3×10
9
PaLS
真空腔体管道系统
技术指标及参数
1 基片传递真空室
尺寸 根据48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
1
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
2 托盘传递真空室
尺寸 根据 48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
1
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
3 机械手回转真空室
尺寸 根据48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
3
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
4 托盘贮存真空室
尺寸 根据48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
4
Pa
工作真空度 ≤3×10
3
Pa
漏率 ≤1×10
9
PaLS
材质 铝铸铝锻铝
5 基片生长真空室
尺寸 根据 48片托盘自定
极限真空度 ≤13×10
6
Pa
工作真空度 ≤3×10
4
Pa
漏率 ≤1×10
10
PaLS
材质 316L
6 基片托盘传递真空室真空系统
级数 1级
主泵 高稳定可靠无油干泵
极限压强 < 5Pa 5× 10
2
mbar
抽速 233Lmin
7 机械手回转托盘贮存真空室真空系统
级数 1级
主泵 高稳定可靠无油干泵
极限压强 < 5Pa 5× 10
2
mbar
抽速 233Lmin
8 尾气真空系统
级数 2级
主泵 高稳定可靠无油干泵
极限真空 027Pa
抽速 7000Lmin
过滤罐2件 Φ300×670mm
第 10页
反应系统基于减小预沉积和生成加合物的原料混合顶棚设计可实现 原材料在衬底托盘上的
均匀混合实现高平稳衬底托盘旋转衬底托盘转速在 01500转分钟连续可调
加热系统衬底温度范围100～1200℃温度稳定性＜±2℃温度均匀性＜±3℃在1000℃
升温速率05℃3℃s连续可调加热丝寿命大于3000小时
冷却系统冷却系统为MOCVD核心系统所有发热的部件进行冷却对于顶棚的冷却需采用单独的
冷却机组冷却机组主要技术指标如下
1供液温度35～65℃可设定温控精度±05℃
2其他部件需采用1821摄氏度的工艺软化水进行冷却
监测系统实现原位监测及表征技术系统波长635nm和 950nm在托盘转速 11500转分钟
均可以进行外延生长在位监测及温度控制
设备机柜能承载气路系统电气系统反应系统高真空传递系统冷却系统等结构设计
紧凑外观做工细致颜色搭配协调
其他辅助设备
氢气探测器3台气路焊接设备 1台真空检漏设备 1台以及普通工具
原材料
保证工艺验收的各种原材料
蓝宝石衬底MO源氨气硅烷
5 设备的安全保护设施
基本要求提供一套连续实时高稳定性高可靠度基于 PLC 技术的报警系统对各排风口进行
监控并与设备设置联动 实现多种安全互锁功能
三 包装和运输
投标人负责包装运输及保险服务
包装材料为木箱运输工具为汽运装卸采用吊车
四 安装调试
产品安装调试在采购人进行由采购人提供安装调试验收场地电力净化条件氢气氮气等
MOCVD设备调试用配套条件
投标人负责设备的安装调试GaN外延材料生长设备操作以及 GaN外延生长工艺技术的培训
五 设备售后服务
1严格按照合同要求提供符合设计标准质量合格的产品
2严格检查和控制原材料元器件配套件的进厂质量
3供应商提供的产品保证是全新产品钢材配套件电器件等保证是正厂出产的产品绝不会
使用冒牌劣质产品
4保证所供设备加工工艺完善检测手段完备产品不带缺陷出厂
5供应商对该设备的质量保证期为一年在正常使用的情况下质量保证期内若出现质量问题供
应商将提供优良周到的免费服务
六 验收及培训
1MOCVD设备各项性能指标参数验收
1以双方共同签署的技术协议和设计图纸作为验收标准先到投标人场地进行系统硬件初步验收
2在采购人安装调试完成后按照合同对系统技术指标要求进行系统进行验收
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3投标人提供设备的使用说明书
4投标人提供硬件基础原理及设备使用技术的培训
2MOCVD工艺验收及培训
1氮化物基本生长工艺验收
按照GaN外延材料生长技术指标及设备各项指标进行验收
2人员培训不少于2人次 2周的氮化物生长技术培训
七 交货期
▲11个月
八 付款方式
甲方在签订合同后7日内不包括政府审批合同及付款申请时间向乙方支付合同额 100总货款
说明标注★的条款为不可偏离条款不满足者将被设为无效投标条款标注▲的条款
为评标时重要评分指标不满足者将会被严重扣分不作为无效投标条款
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第三部分 投标人须知
一说 明
1适用范围
11本招标文件适用于本投标邀请函中所述项目的政府采购
2 定义
21 采购人是指广东省半导体产业技术研究院
22监管部门是指政府采购项目监督管理部门
23采购代理机构是指国义招标股份有限公司
24招标采购单位是指采购人采购代理机构
25合格的投标人
1 符合政府采购法第二十二条规定的投标人
2 符合招标文件规定的资格要求及特殊条件要求
3在采购代理机构登记并购买了招标文件
26 中标人是指经法定程序确定并授予合同的投标人
3 合格的货物工程和服务
31 货物是指投标人制造或组织符合招标文件要求的货物等投标的货物必须是其合法生
产的符合国家有关标准要求的货物并满足政府采购文件规定的规格参数质量价格有效期
售后服务等要求
32 工程是指满足国家相关法律法规规章等规定并符合本项目相关质量要求安全
文明施工要求的工程
33 服务是指除货物和工程以外的其他政府采购对象其中包括投标人须承担的运输安
装技术支持培训以及符合招标文件规定的其它服务
4投标费用
41 投标人应承担所有与准备和参加投标有关的费用不论投标的结果如何招标采购单位均
无义务和责任承担这些费用
42本次招标向中标人收取的中标服务费按固定价人民币 40000元整收取
中标人在收到中标通知书前向采购代理机构缴纳中标服务费以电汇方式缴纳交费帐户为
收款人国义招标股份有限公司
开户银行招商银行广州体育东路支行
银行账号120905690610808
用 途 07241701D35N3870 中标费
二招标文件
5 招标文件的构成
51招标文件由下列文件组成
1 投标邀请函
2 采购项目内容
3 投标人须知
4 合同格式
5 投标文件格式
6 在招标过程中由招标采购单位发出的修正和补充文件等
52投标人应认真阅读并充分理解招标文件的全部内容包括所有的补充修改内容重要事
项格式条款和技术规范设备参数及服务需求等 投标人没有按照招标文件要求提交全部资料
或者投标没有对招标文件在各方面都做出实质性响应是投标人的风险有可能导致其投标被拒绝
或被认定为无效投标
6 招标文件的澄清
61任何要求对招标文件进行澄清的投标人均应以书面形式在投标截止时间十五日以前通知招
标采购单位招标采购单位对其收到的书面的对招标文件的澄清要求均以书面形式予以答复同时
将书面答复发给每个购买招标文件的投标人答复中不包括问题的来源 该答复作为招标文件的一
部分对投标人有约束力投标人在收到上述澄清答复后应立即向招标采购单位回函确认
62投标人在规定的时间内未对招标文件澄清或提出疑问的招标采购单位将视其为无异议对招标
文件中描述有歧意或前后不一致的地方评标委员会有权进行评判但对同一条款的评判应适用于每个投
标人
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7 招标文件的修改
7l在投标截止时间十五日以前无论出于何种原因招标采购单位可主动地或在解答投标人提
出的疑问时对招标文件进行修改招标文件的修改将以书面形式通知所有购买招标文件的投标人
该修改作为招标文件的一部分对投标人有约束力投标人在收到上述修改通知后应立即向招标
采购单位回函确认
72招标采购单位可以视采购具体情况延长投标截止时间和开标时间但至少应当在招标文件
要求提交投标文件的截止时间 3日前并将变更时间书面通知所有已购买招标文件投标人
三投标文件的编制
8投标的语言及计量
81 投标人提交的投标文件以及投标人与招标采购单位就有关投标的所有来往函电均应使用中
文投标人提交的支持文件或印刷的资料可以用另一种语言但相应内容应附有中文翻译本在解
释投标文件的修改内容时以中文翻译本为准对中文翻译有异议的以权威机构的译本为准
82 除非招标文件中另有规定投标人在投标文件中及其与招标采购单位的所有往来文件中的
计量单位均应采用中华人民共和国法定计量单位
9投标文件的构成应符合法律法规及招标文件的要求
10 投标文件编制
101 投标人应当对投标文件进行装订对未经装订的投标文件可能发生的文件散落或缺损由
此产生的后果由投标人承担投标人对招标文件中多个包进行投标的其投标文件的编制应按每个
包的要求分别装订和封装
102投标人应完整真实准确的填写招标文件中规定的所有内容对投标文件所提供的全部
资料的真实性承担法律责任并无条件接受招标采购单位及政府采购监督管理部门等对其中任何资
料及招标采购单位或政府采购监督管理部门认为有必要的资料进行核实的要求
103如果因为投标人投标文件填报的内容不详或没有提供招标文件中所要求的全部资料及数
据由此造成的后果其责任由投标人承担
11 投标报价
111 如招标文件无特殊规定投标价格以人民币填报
112投标人应按照招标文件第二部分 采购项目内容中规定的内容责任范围以及合同条款
进行报价并按开标一览表和投标明细报价表确定的格式报出分项价格和总价投标总价
中不得包含招标文件要求以外的内容否则在评标时不予核减投标总价中也不得缺漏招标文件所
要求的相应内容否则将导致投标无效
113投标明细报价表填写时应响应下列要求
1 对于报价免费的项目必须标明免费
2 投标报价应为货物运至用户指定地点的含税价包括但不限于运输保险安装伴随服务
关税销售税其他税以及采购合同包含的所有风险责任等各项应有费用
114 每种规格货物或每项标准服务只允许有一个报价否则将被视为无效投标
12 备选方案
121只允许投标人有一个投标方案否则将被视为无效投标招标文件允许有备选方案的除
外
13 联合体投标
131 本项目接受联合体投标
132 如招标项目接受联合体投标的则组成联合体投标的按政府采购的法律法规规章等有
关规定执行并提供联合体共同投标协议书格式见附件
14 投标人资格证明文件
141投标人应按招标文件的要求提交证明其有资格参加投标和中标后有履行合同能力的文件
并作为其投标文件的组成部分包括但不限于资格性及符合性检查表中所列要求
142资格证明文件必须真实有效复印件必须加盖单位印章
15 证明投标标的的合格性和符合招标文件规定的文件
16 投标保证金
161投标人应按招标文件规定的金额形式和时间缴纳投标保证金投标保证金作为投标文件
的组成部分
162投标保证金缴纳金额形式和时间
1投标保证金金额为￥12593500元人民币拾贰万伍仟玖佰叁拾伍元 如投标人参加
多个包的投标且不能分别递交投标保证金的将在其所投各包投标保证金退还条件全部满足后方
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给予一次性退回
2投标保证金应以银行转账或银行汇款方式在投标截止时间前到达以下指定账号
收款人国义招标股份有限公司
保证金开户行招商银行股份有限公司广州体育东路支行
帐 号120905690610703
投标人须在汇款或转帐附言标注本次项目编号同时详细填写附件投标保证金缴纳凭证 并
将汇款底单复印件附在投标保证金缴纳凭证中连同开标一览表一起密封在单独的唱标信
封内递交以便办理投标保证金的退还手续
3保证金以到达上述保证金账户为准投标人应按以上所述方式及时间提交投标保证金采
购代理机构不承担投标人的投标保证金未能及时到帐的风险
4保函形式的投标保证金应当随同开标一览表一起密封在单独的唱标信封内递交
163凡未按规定缴纳投标保证金的投标为无效投标
164如无质疑或投诉未中标的投标人保证金在中标通知书发出后五个工作日内不计利息原
额退还如有质疑或投诉将在质疑和投诉处理完毕后不计利息原额退还从投标截止时间至投标
有效期结束的这段时间内投标人不得撤回其投标否则其投标保证金将被没收
165中标人的投标保证金在中标人与采购人签订采购合同后五个工作日内不计利息原额退还
中标人应在签订采购合同后两个工作日内交采购代理机构备案
166有下列情形之一的投标保证金将被依法没收并上缴同级国库
1 中标后无正当理由放弃中标或不与采购人签订合同的
2 将中标项目转让给他人或者在投标文件中未说明且未经采购人同意违反招标文件规定
将中标项目分包给他人的
17 投标有效期
171投标文件应在投标截止日后的 90天内保持有效投标有效期比规定时间短的将被作为非实
质性响应招标文件而予以拒绝
172特殊情况下招标采购单位可于投标有效期期满之前要求投标人同意延长投标有效期
要求与答复均应为书面形式投标人可以拒绝上述要求而其投标保证金不被没收对于同意该要求
的投标人既不要求也不允许其修改报价文件但将要求其相应延长投标保证金的有效期有关退
还和没收投标保证金的规定在投标有效期的延长期内继续有效
18 投标文件的数量和签署
181 投标人应编制投标文件一式六份其中正本一份和副本五份投标文件的副本可采用正本
的复印件每套投标文件须清楚地标明正本副本若副本与正本不符以正本为准
182 投标文件的正本需打印或用不褪色墨水书写并由法定代表人或经其正式授权的代表签
字授权代表须出具书面授权证明法人证明及法人授权证明均应在投标文件中提供格式见附件
183 投标文件中的任何重要的插字涂改和增删必须由法定代表人或经其正式授权的代表在
旁边加盖公章或签字才有效
184电子文件投标人必须随投标文件同时提交一套全部投标文件内容的电子文件U盘或光
盘无病毒电子文件必须装于独立的信封信封上注明电子文件其中所有文件不做压缩
处理... 查看详情
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