电镜理论 | TEM、STEM 与 4D‑STEM 三者有何区别？对材料、半导体研发意义何在？
2026-07-08 11:32:03, Tescan 中国 TESCAN 泰思肯（中国）
电镜理论
扫描透射电子显微镜详解
了解扫描透射电子显微镜（STEM）如何解析材料与半导体器件内部的形貌、元素及物相组成、结晶度、原子结构，以及应变、电场等功能性物理特性。一同探究 TEM 与 STEM 的工作原理、图像衬度的形成机制，并了解先进 4D STEM 与电子衍射技术，是如何拓展传统分析型 STEM 的能力、彻底革新材料表征技术的。
扫描透射电子显微镜（STEM）是当下综合性能顶尖的分析手段之一。它可帮助科研人员观测材料内部结构、开展化学成分面分布表征、测量应变、确定晶粒取向，甚至能以亚埃级分辨率从头解析未知晶体结构。
在本指南中，您将了解：
SEM、TEM 和 STEM 之间的区别
TEM 和 STEM 的成像衬度形成原理
为什么加速电压很重要
分析型 4D-STEM 如何实现成分与结构面分布表征
4D STEM 如何强化三维电子衍射与电子衍射断层扫描的结构解析能力
若你正在研究面向材料科学与半导体领域的高端显微分析技术，本篇概述将帮助你掌握 STEM 的基础原理，以及其前沿分析功能。
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