敬邀您出席 SEMICON@ CHINA 2026 上海伯东展位 N2馆【2267】

2026-03-16 18:03:34, 上海伯东Hakuto 伯东企业（上海）有限公司

伯东企业（上海）有限公司作为德国 Pfeiffer 真空设备, 德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 美国 KRi 离子源, 日本 IBE 离子束刻蚀机, 美国 InTest 高低温冲击热流仪, 美国 Gel-Pak 芯片包装盒, 美国 HVA 高真空闸阀等国际知名进口真空品牌的指定代理商, 参展 SEMICON@ CHINA 2026 上海半导体展！

上海伯东凭借多年真空经验, 在提供合适的产品同时更为您提供各类真空工艺的解决方案, 协助您优化工艺过程, 提高生产效率! 上海伯东期待您的莅临！

【参展时间】: 2026年3月25-3月27日
【地点】: 上海新国际博览中心
【伯东展位】: N2号馆, 2267 位置

在现场, 我们为您详解适用于半导体行业的各类产品！
伯东是一家不仅销售各类进口精密仪器设备的公司, 更是针对不同的客户提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新项目应用的公司!

Hakuto Genius 自研在线质谱分析仪

质量范围: 高达 300amu（适用于广泛的工艺气体和副产品）
高速读取: 高达 1000 读数/秒每 amu 快速过程监控和准确的端点检测
先进的质量过滤器: 采用先进的四极杆质谱, 优越的质量分离和信号稳定性
双探测器系统: 具有双法拉第/二次电子倍增器（SEM）, 具有宽动态范围和低检测极限
经济适用, 接受客户定制, 灵活多变的应用解决方案

德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计
在 0.01 至 1 x 10^-6 mbar 精度 1 %.
全金属设计, 耐腐蚀抗污染和沉积
长期稳定 < 每年 1 % 的漂移
替代离子规

日本 IBE 离子束刻蚀机
适用于 4 到 8英寸的材料刻蚀
干法, 物理, 纳米级别的刻蚀
蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等的加工形状
刻蚀均匀性 ≤ ±5% ,部分材料 3%

美国 KRi 大口径射频离子源
3层栅极设计, 栅极口径 38cm
提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 最大离子束流 > 1000mA
满足 300 mm (12英寸)晶圆刻蚀
适用于离子刻蚀, 溅射沉积

美国 InTest 高低温冲击热流仪

温度冲击范围: -75°C 至 +225°C: 触摸屏式控制面板, 防静电设计, 具备自动除霜功能. InTest ATS-710E 使用自主研发的 New ThermoStream® OCM 系统, 兼容 Ethernet, IEEE-488, RS232, 全新人机控制界面, 不再受制于因 Windows 软件而引发的系统过时问题

美国 Gel-Pak 芯片包装盒

使用高交联合聚合材料 Gel, 材料通过本身表面的张力来固定器件, 固定力等级取决于 Gel 产品的自身特性. 美国 Gel-Pak 真空吸附盒广泛应用于储存, 运输, 或者作为制程载具, 应用于半导体精密器件, 光电器件和其他精密器件等, 同时提供用于二维材料转移的 Gel-film (PDMS) 胶膜.

上海伯东 Hakuto 代理德国普发 Pfeiffer 真空产品, 美国 KRi 离子源, 美国 HVA 真空阀门，美国 InTest 高低温冲击热流仪, 日本 IBE 离子束蚀刻机, 美国 Gel-Pak 芯片包装盒. 日本 PHI 光电子能谱仪, 德国 SRG 磁悬浮转子真空计, 丹麦 BOE-THERM 模温机等

了解产品详情和应用

上海伯东叶女士 13918837267