ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规

2026-03-16 18:03:34, 上海伯东Hakuto 伯东企业（上海）有限公司

上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 可以替代离子规 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400,  Inficon MPG400 等型号.

SRG 磁悬浮转子真空计 VS 离子规主要优势
类型

SRG 旋转转子真空规

离子规((冷阴极离子规或热阴极离子规))

精度

1% 读数

约 20% 读数

量程

10 mbar 至 5x10-7mbar

1x10-3mbar 至 1x10-10mbar

加热真空腔体

机械测量, 无影响

离子规会发热,导致加热真空腔体

电离真空

机械测量, 无影响

离子规会出现离子逃逸,污染真空腔体

读数随时间漂移

<1% 每年, 无需校准

漂移显著,需要定期校准

机械稳定性

稳定
不稳定

温度影响

少
高

超洁净

材质不锈钢, 耐腐蚀

材质多为复合材料, 灯丝容易被污染,因此不耐腐蚀

使用寿命

长(使用数年)

短(几个月)


SRG 磁悬浮转子真空计 完善的通讯接口, 可视化操作软件, 灵活接入各类真空系统.

上海伯东代理德国 ph-instruments  高真空磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蚀抗污染, 无灯丝设计, 长期稳定, 无需校准. 替代传统的离子规 (冷阴极离子规或热阴极离子规)

SRG 旋转转子真空计不仅仅定位为传统真空计的替代品, 而是作为确保先进制造制程中计量完整性的基础技术. 透过提供高度准确和稳定的测量,  SRG 旋转转子真空计能够实现更严格的制程控制, 减少变异性, 提高半导体制造,  镀膜, 显示面板, 光伏等高精密应用中的良率和产品质量.

若您需要进一步的了解 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计

请联络上海伯东: 叶女士 1391-883-7267  

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