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产品描述AOI,Automatic Optic Inspection的缩写,即自动光学检测,利用普通光线和激光配合电脑程序,对半导体制造中不同阶段进行平面性外观视觉检验,以代替人工目检的光学设备。
AOI,Automatic Optic Inspection的缩写,即自动光学检测,利用普通光线和激光配合电脑程序,对半导体制造中不同阶段进行平面性外观视觉检验,以代替人工目检的光学设备。
Camtek晶圆光学检测AOI ,Eagle I/AP/AP-I
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