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仪器简介: 椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术,基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变,通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等,可测厚度范围为几埃至几十微米。此外,还可以测试材料的反射率及透过率。
技术参数:
* 光谱范围: 190-885 nm(可扩展至2100nm) * 微光斑可选50µm-100µm-1mm * 探测器:分别针对紫外,可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器 * 自动样品台尺寸:多种样品台可选 * 自动量角器:变角范围40° - 90°,全自动调整,小步长0.01° 主要特点: * 50KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件 * 具备超薄膜所需的测量精度,超厚膜所需的高光谱分辨率 * 具有毫秒级超快动态采集模式,可用于在线实时监测 * 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件 * 配置灵活
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪,UVISEL
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UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪
In-situ series 在线椭偏仪
HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪(SPME)是一款独一无二的仪器,它采用光弹性晶体来调制偏振光,而不是传统椭偏技术中的机械偏光装置。与传统椭偏仪相比,UVISEL光谱型椭偏仪能够在全谱范围内测得非常准确的椭偏角(Y, D),从而可以对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析。
The deposition method and conditions used for preparation of the ZrO films have resulted in generation of an i
The sensitivity of Spectroscopic Ellipsometry is such that characterisation of different doping concentrations
Spectroscopic ellipsometry is a powerful technique to characterize the thickness and optical constants of comp
The feasibility of using the MM-16 SE in measuring thickness and refractive index of AlN thin and thick films
Spectroscopic Ellipsometry based on the liquid crystal devices is an excellent technique for the highly accura
Liquid Crystal Modulation Spectroscopic Ellipsometry is an excellent technique for the highly accurate charact
The high accuracy characterisation of the thicknesses and optical properties of III-V semiconductors has been
Optical characterization techniques proved to be complementary to optimize highmaterials used in microelectron
When compared with other optical metrology instruments the unique strengths of spectroscopic ellipsometers are
Spectroscopic ellipsometry is a powerful technique for high accuracy characterization of the thickness and opt
产品名称:一键式全自动快速椭偏仪 产地:法国 型号:Auto SE01 仪器用途及应用范围Auto SE 是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。有机电子材料薄膜厚度、光学常数表征膜层各向异性分析
产品名称:椭圆偏振光谱仪 产地:法国 型号:UVISEL PLUS典型用户:NASA 戈达德太空飞行中心01 仪器用途及应用范围:UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶,即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机
为提升椭偏用户的应用技能,4月25-26日我司将于上海复旦大学举办椭偏用户培训班。本次培训将以仪器硬件操作和基本建模为主,带领大家展开学习,欢迎各位老师参加!椭圆偏振光谱仪是一种高精度薄膜表征工具,用于测量光学常数(n,k)和厚度。并越来越多地应用于光学薄膜、半导体薄膜、介电薄膜、有机薄膜、LED显示、滤光片、纳米器件、包装等材料的测量和表征。本次培训中将着重介绍椭偏的日常使用,包括硬件操作和模型分析两大部分,帮助用户真正利用仪器获取材料光学常数。请自备笔
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