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在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
技术参数:
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
In-situ series 在线椭偏仪,In-situ series
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HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
产品名称:一键式全自动快速椭偏仪 产地:法国 型号:Auto SE01 仪器用途及应用范围Auto SE 是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。有机电子材料薄膜厚度、光学常数表征膜层各向异性分析
IGA array 探测器
Horiba PH110/ph120/ph130 便携式PH计 用于环保领域
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