2023-07-12 19:10:32, 飞飞 赛默飞色谱与质谱分析
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颜伟贤
半导体产业已经成为全球经济发展的重要支柱之一,半导体产业链中原材料提炼、光刻和封装等过程均可能存在空气和水污染。随着国家环保要求的提升,环境空气中挥发性有机物已成为国家大气污染物监管重点。半导体制造常需要用到一些有机试剂,比如异丙醇,丙酮,二甲苯等,对这些试剂的纯度要求也较高,对生产过程所用的有机试剂的杂质水平必须进行严密控制和监测以减少污染情况的发生。
针对半导体行业环境空气和有机试剂纯度检测需求,赛默飞基于全新的Thermo Scientific™ ISQ7610系列单四极杆气质联用仪和Thermo Scientific™ Orbitrap Exploris GC系列超高分辨气质联用仪推出针对性的解决方案,以助力半导体企业更好的符合法规监管要求和确保产品生产安全。
ISQ 7610 GCMS
Orbitrap Exploris GC
01.
半导体高纯试剂杂质鉴定
02.
晶圆制造洁净室空气监测
03.
半导体企业大气污染物排放
赛默飞半导体产业链解决方案
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参考文献:
[1] DB31/374-半导体行业污染物排放标准及编制说明
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