您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
BS/JEBG/EBG 系列电子枪
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
产品特点:
电子束蒸镀法的特征
用电子束直接照射镀膜材料进行加热,因此热效率高,能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。
镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热,因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。*可能需要使用坩埚内衬。
能迅速控制输出,因而能精确地控制膜厚。
与溅射法及 CVD 法相比,能快速镀膜是一大特征。对形成1µm 以上的厚膜也很有效。
日本电子制造的电子枪/电源的特征
[ 氧化物 ]电子束垂直照射镀膜材料,束斑近似圆形,具有能量密度高的特征。此外,由于标准配备了快速扫描功能,非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料,能获得良好的熔痕,大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀,重现性好。[ 金属 ]坩埚的选择范围很大,能进行多种、大量、高速率的蒸镀,还有用来抑制成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪。[ 合金复合膜 ]往临近的两个或三个坩埚内充填不同的材料,使用专用的扫描控制器进行双源或三源蒸发,可以形成合金膜和复合膜。
产品规格:
*1: EB电源zei大输出功率为16kW,实际能使用的zei大输出功率为16kW。
*2: 可以定制 ⇒12cc×4 或6个 等
*3: 坩堝小凹孔的形状可以改变 ⇒ 28cc(φ45×20h)×6个, 51cc(φ60×20h)×3个等。
*4: 可以定制 ⇒40cc(φ50×25h)×4或6个, 114cc(φ75×30h)×1个等
*5: 可以定制 ⇒114cc(φ75×30h)×1个, φ34×20h×3个小凹穴(同时蒸镀用), φ70×30h×4个 等
关于坩埚规格请另行咨询。
BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪,BS/JEBG/EBG 系列
BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪信息由日本电子株式会社(JEOL)为您提供,如您想了解更多关于BS/JEBG/EBG 系列电子束蒸镀用电子枪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
GB/T 38783-2020 贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法
GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
GB/T 30815-2014 表面化学分析 分析样品的制备和安装方法指南
WW/T 0055-2014 古代陶瓷科技信息提取规范 形貌结构分析方法
GB/T 19267.6-2008 刑事技术微量物证的理化检验 第6部分:扫描电子显微镜/X射线能谱法
GB/T 10066.7-2009 电热装置的试验方法.第7部分:具有电子枪的电热装置
GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则
HB/Z 198-2011 钛及钛合金电子束焊接工艺及质量检验
SY/T 7410.2-2020 岩石三维孔隙结构测定方法 第2部分:聚焦离子束切片法
GB/T 30543-2014 纳米技术 单壁碳纳米管的透射电子显微术表征方法
SJ 2130-1982 电子束管屏内刻度
JB/T 7445.1-2005 特种加工机床.类种划分
GB 5959.7-2008 电热装置的安全.第7部分:对具有电子枪的装置的特殊要求
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 19867.3-2008 电子束焊接工艺规程
GB/T 19267.6-2003 刑事技术微量物证的理化检验 第6部分;扫描电子显微镜法
GB/T 4597-1996 电子管词汇
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
环境监测热点项目培训专场
食品真实性鉴别与溯源
"传承·创新·发展" —— 产学研深度融合推动中药现代化网络研讨会
酒类相关标准制修订情况及应用解读
JBX-9500FS电子束光刻系统
JBX-3200MV电子束光刻系统
JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统
BS/JST系列电子枪/电子束蒸镀的高压电源
JEBG系列大功率电子枪
BS-80011BPG产生高密度内置型等离子源
BS-80020CPPS等离子体源
RF-120系列高频电源
“第十九期 日本电子(JEOL)NMR高级学习班”通知。
日本电子全球同步发布钨灯丝扫描电镜升级 型号为JSM-IT510
日本电子(JEOL)俄歇能谱仪学习班
2023年度第三期日本电子(JEOL)场发射扫描电镜培训班
JEOL两款扫描电镜升级
“第十四期 日本电子(JEOL)NMR高级学习班”通知
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号