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日本电子株式会社(JEOL)
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | BS/JEBG/EBG 系列 |
| 品牌： | 日本电子 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 2057 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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BS/JEBG/EBG 系列电子枪
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
产品特点：
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
电子束蒸镀法的特征
用电子束直接照射镀膜材料进行加热，因此热效率高，能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。
镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热，因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。
*可能需要使用坩埚内衬。
能迅速控制输出，因而能精确地控制膜厚。
与溅射法及 CVD 法相比，能快速镀膜是一大特征。
对形成1µm 以上的厚膜也很有效。
日本电子制造的电子枪/电源的特征
[ 氧化物 ]
电子束垂直照射镀膜材料，束斑近似圆形，具有能量密度高的特征。此外，由于标准配备了快速扫描功能，非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料，能获得良好的熔痕，大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀，重现性好。
[ 金属 ]
坩埚的选择范围很大，能进行多种、大量、高速率的蒸镀，还有用来抑制成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪。
[ 合金复合膜 ]
往临近的两个或三个坩埚内充填不同的材料，使用专用的扫描控制器进行双源或三源蒸发，可以形成合金膜和复合膜。
产品规格：
| 型号 | zei大输出功率 | 偏转角度 | 灯丝 | 电子束扫描 | 坩埚 | 氧化物 | 金属 |
| BS-60060DEBS | 6.4kW | 270° | Ｕ字形 （长寿命） | 快速 扫描 | 无*2 | ◎ | ○ |
| BS-60050EBS | 10kW | 270° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60040VDGN | 10kW | 270° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60030DGN | 10kW | 270° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| EBG-102UB6S | 10kW | 180° | 漩涡形 | 12cc×6 个 | ◎ | ○ | |
| EBG-102UB4S | 10kW | 180° | 12cc×4 个 | ◎ | ○ | ||
| JEBG-102UH0 | 10kW | 180° | 无*2 | ◎ | ○ | ||
| BS-60210DEM ＋BS-60140H4H | 10kW | 270° | 直线线圈形 （长寿命） | 中速 扫描 | 40cc×4 个 | △ | ◎ |
| BS-60210DEM ＋BS-60150H6H | 10kW | 270° | 40cc×6 个 | △ | ◎ | ||
| EBG-203UB6S | 20kW*1 | 270° | 漩涡形 | 快速 扫描 | 12cc×6 个*3 | ○ | ◎ |
| EBG-203UB4H | 20kW*1 | 270° | 12cc×2 个 28cc (半球)×2 个 | ○ | ◎ | ||
| JEBG-203UA0 | 20kW*1 | 270° | 无*4 | ○ | ◎ | ||
| JEBG-303UA | 30kW*1 | 270° | 无*5 | ○ | ◎ |
*1: EB电源zei大输出功率为16kW，实际能使用的zei大输出功率为16kW。
*2: 可以定制 ⇒12cc×4 或6个 等
*3: 坩堝小凹孔的形状可以改变 ⇒ 28cc（φ45×20h）×6个， 51cc（φ60×20h）×3个等。
*4: 可以定制 ⇒40cc（φ50×25h）×4或6个， 114cc（φ75×30h）×1个等
*5: 可以定制 ⇒114cc（φ75×30h）×1个， φ34×20h×3个小凹穴（同时蒸镀用）， φ70×30h×4个 等
关于坩埚规格请另行咨询。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
