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BS-80011BPG产生高密度内置型等离子源(日本电子)

日本电子株式会社(JEOL) 400-6699-117 转 6205

BS-80011BPG产生高密度等离子体的内置型等离子体枪安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离子处理如对清洗基板和表

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指数 型号 品牌 PIPES指数
BS-80011BPG
日本电子
日本
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