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PDC200/210/510等离子清洗机
高频输出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),电极尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)适用于研究开发的小型等离子清洗机。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。
用途
?CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
?去除有机膜和金属氧化膜
?印刷电路基板的干式清洗
?界面活性处理
?LED封装
特征
?DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)
?RIE模式
?均匀性高的电极构造
?操作简单的触摸屏控制器
规格
型号
PDC200
PDC210
PDC510
等离子模式
RIE(DP模式选配)
RIE/DP
电极构造
平行平板(固定)
高频输出
Max300W
Max500W
频率
13.56MHz
控制·显示
液晶触摸屏
反应室尺寸
W400×D250×H150mm
W500×D300×H200mm
电极尺寸
W250×D170mm
W400×D200mm
反应室材质
铝
反应气体
2系统(Ar、O2)
填充气体
N2或干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油泵(约345L/分)标配
油泵(约500L/分)标配
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸
W540×D600×H600mm
W700×D700×H1285mm
重量
约100kg
约105kg
约180kg
电源
单相 AC100V 10A
三相AC200V 6A
三相AC200V 8A
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PDC200/210/510, PDC200/210/510
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