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YAMATO雅马拓等离子清洗机 PDC200/210/510

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参考报价: 面议 型号: PDC200/210/510
品牌: 雅马拓 产地: 日本
关注度: 879 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
价格范围20万-30万
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

PDC200/210/510等离子清洗机

高频输出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),电极尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)适用于研究开发的小型等离子清洗机。 

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。 

用途 

?CSP、BGA、COB基板的等离子清洗

?去除有机膜和金属氧化膜

?印刷电路基板的干式清洗

?界面活性处理

?LED封装 

特征

?DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)

?RIE模式

?均匀性高的电极构造

?操作简单的触摸屏控制器 
 

规格 

型号

PDC200

PDC210

PDC510

等离子模式

RIE(DP模式选配)

RIE/DP


电极构造

平行平板(固定)



高频输出

Max300W

Max500W


频率

13.56MHz



控制·显示

液晶触摸屏



反应室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm


电极尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm


反应室材质



反应气体

2系统(Ar、O2)



填充气体

N2或干燥空气



反应气体流量控制

流量计

聚合控制器


真空泵

另行选配

油泵(约345L/分)标配

油泵(约500L/分)标配

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个



外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

约100kg

约105kg

约180kg

电源

单相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

 

 



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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