YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR200/300/301

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
●  高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通   过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能   基（微量的水分及二氧化碳影响）。   同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生   成-NH 2等官能基。
●  硅晶圆蚀刻。
●  材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
●  石棉预处理（膜过滤灰化）。
●  从电子设备到生化市场。
●  低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
●  使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
●  表面有机物去除
特点
●  RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
●  由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
●  同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
●  等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
●  同步、自动调谐（PR200）。

反应腔

［例］石棉分析前处理

规格

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