400-6699-117 转 5032
分析测试百科网认证，请放心拨打
若未完成电话咨询，您可提交留言咨询，厂商主动联系您
YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
参考价：￥20万-30万
品牌：雅马拓 产地：日本 型号：V1000/1000X/1000XS 样本：来电或留言获取样本
AI Agent
- YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS价格？
- YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS可以做哪些实验？
- YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS参数？
- YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS配套的耗材试剂？
- YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS操作规程？
- YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS使用注意事项？
参数
| 产地类别：进口 | 供应商性质：区域代理 | 价格范围：20万-30万 |
产品介绍
13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE | ||
| 高频电源 | 13.56MHz | ||
| 输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
| 真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |
管路连接图
YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS信息由柜谷科技发展（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS信息由柜谷科技发展（上海）有限公司 为您提供，如您想了解更多关于YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
仪器应用
表面处理仪产品推荐
最新评论
