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柜谷科技发展（上海）有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | V1000/1000X/1000XS |
| 品牌： | 雅马拓 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 875 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 价格范围 | 20万-30万 |
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13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE | ||
| 高频电源 | 13.56MHz | ||
| 输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
| 真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |
管路连接图
YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS信息由柜谷科技发展（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于YAMATO雅马拓等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
