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经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗特点● 经济型等离子清洗机。● 简单的等离子处理操作。● 无需高频使用申请。值得期待的应用案例<清洗>● 有机膜的去除(油,蜡等有机膜)。● 电子零件,光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。● 细菌的消毒等(通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒)。<表面改质>● 高分子材料表面的官能基付与→ 粘合性,密着性提高。通过氧化反应,在表 面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响);● 电子零件,光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。● 细菌的消毒等(通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒)。 同样,氮气等离子时,表面吸取氮原子生成-NH2官能基。● 提高各种聚合物的粘结性以及提高医科齿科材料的生物相容性等。● 通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等。 <蚀刻>● 有机高分子材料的蚀刻。对于有机高分子氧气成为蚀刻气体,可以进行抗蚀剂的蚀刻。● 促进种子发芽等实验。规格
型号
PM100
等离子发生源
低频高电压电源,输出约100W,周波数60KHz、输出电压10kV
电机构造
电容型 2分割
气体流量计
氧气用、流量30~300mL/min
真空调整阀门
抽真空用,回大气用
反应腔尺寸
内径100mm×深度最大约200mm
外形尺寸(宽×深×高mm)
310×300×448
电源 50/60Hz
AC100V 10A(含真空泵Max7A)
真空泵接口
外径Φ6.35mm(推荐真空泵排气速度30L/min)
气体接口
外径Φ6.35m
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PM100,PM100
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