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当前位置：分析测试百科网仪器谱等离子体表面处理仪 YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510

YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510

Name: YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510
Brand: 雅马拓
SKU: PR500/510
Price: 300000.00 CNY
Availability: InStock

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参考价：￥30万-50万

品牌：雅马拓产地：日本型号：PR500/510 样本：来电或留言获取样本

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型号	品牌	PIPES指数
PDC-MG	武汉月忆	7.8
NPC-4000 (M)	那诺-马斯特	7.3
PR500/510	雅马拓	6.9

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参数

产地类别：进口	供应商性质：区域代理	价格范围：30万-50万
设备尺寸： W438×D520×H760mm	功率： Max500W	样品腔容积： Φ215×305mm
射频频率： 13.56MHz

产品介绍

·PR500/510等离子灰化机

高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm

低温等离子·经典桶型。

PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途

·去除光刻胶

·部品清洗

·界面活性处理

·微研磨

·硅晶圆，玻璃基板对应

特征

·大口径（Φ215mm）石英反应腔

·小型一体化设计

·操作简单的触摸屏方式（PR510型）

规格

型号	PR500	PR510
模式	DP模式，桶型
控制部	高频输出功率	Max500W
频率	13.56MHz
同调方式	自动协调
反应部	反应腔	石英 Φ215×305mm
反应气体	2系统（O2／CF4）
控制	手动	触摸屏自动控制
配管材质	不锈钢、特氟龙
外形尺寸	W438×D520×H760mm	参照规格书
重量	约60kg	参照规格书
电源	单相AC100V 9A	三相AC200V 8A

YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510信息由柜谷科技发展（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于YAMATO雅马拓等离子灰化机 PR500/510报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

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