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自动化薄膜厚度绘图系统
依靠F60先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。在约45秒的时间就可以扫描完标准49点分布图。
为特定的测量要求设计许多特定功能，例如：自动寻找notch点、自动基准校正、封闭独立的测试平台和 已安装好软件的工业化电脑等。
可测样品膜层
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
例如：
氧化硅 | 氮化硅 | 类金刚石DLC |
光刻胶 | 聚合物 | 聚亚酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
相关应用
液晶显示器
盒厚/聚酰亚胺/ITO
生物医学
聚对二甲苯/生物膜/硝化纤维
半导体制造
光刻胶/氧化物/氮化物
光学镀膜
硬涂层/抗反射涂层/滤光片
依靠 F60光学膜厚测量仪 先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得薄膜的厚度分布图。采用 r-θ 极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。在约 45 秒的时间就可以扫描完标准 49 点分布图。
F60-t 薄膜厚度测量仪 , F60-t
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