白光干涉膜厚仪

▶仪器介绍

白光干涉薄膜厚度测量仪利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光 源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范 围1nm-3mm,  可同时完成多层膜厚的测试。

▶工 作 原 理

当白光通过样品表面时，其中不同波长的光具有不同的传播速度和相位差。这些不同波长的光波在样品厚度上的传播距  离会导致干涉条纹的形成。根据薄膜干涉理论，当样品表面反射的光与透射的光发生相干叠加时，形成干涉谱图。干涉条纹  的形态与样品的厚度和折射率有关。通过测量和分析干涉图样的特征，可以计算出样品的薄膜厚度和折射率。

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