新品上市！国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。可广泛应用于半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学等领域。

图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速电压：100 V~6 kV(减速模式)；6 kV~30 kV(非减速模式)

分辨率：1.3 nm@3 kV，SE；2.2 nm@1 kV，SE

视场大小：最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场32*32 um²

样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

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