网络讲座复播视频：利用静电力显微镜研究ZnO薄膜的耐湿热稳定性

题目：Moisture stability properties of ZnO thin films studied by Electrostatic Force Microscopy

利用静电力显微镜研究ZnO薄膜的耐湿热稳定性

Electrostatic force microscopy of polycrystalline ZnO thin films

摘要：

  基于Al或Ga掺杂ZnO（AZO或GZO）的透明导电氧化物薄膜(TCO: Transparent Conductive Oxide)拥有良好的导电性能和光学性能，被广泛应用于太阳能电池、平板显示器(包括液晶显示器、等离子显示器等)、有机发光二极管电极(OLED)等光电器件。相比于铟掺杂的氧化锡（ITO: Indium doped Tin Oxide）薄膜具有的优异环境稳定性，多晶ZnO基TCO薄膜常采用低温镀膜工艺（低于300oC）沉积于玻璃或有机薄膜表面，在湿热环境下的电学性质不稳定，常表现为薄膜电阻率会随着使用时间增长而增加。解决ZnO基TCO薄膜的耐湿热稳定性问题对其实际应用有重要的推动作用。本讲座以多晶ZnO基TCO薄膜的耐湿热稳定性为出发点，结合静电力力显微镜（EFM: Electrical Force microscopy）研究ZnO薄膜的晶界稳定性对耐湿热性能的影响，展示了原子力显微镜在氧化物晶界研究中的巨大潜力。

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宋华平，松山湖材料实验室特聘高级工程师，2005年毕业于华中科技大学电子科学与技术系，2005-2010年在中国科学院半导体研究所材料重点实验室硕博连续，获材料物理与化学博士学位。2010-2018年先后在日本物质材料研究机构（NIMS）、高知工科大学和日本大学从事博士后研究，研究方向围绕宽禁带半导体材料生长及分析测试领域，拥有丰富的半导体材料外延生长，分析测试表征以及设备改造的经验