2024-03-13 16:49:51, Park原子力显微镜 Park帕克原子力显微镜
近期东京电子近日宣布旗下等离子体蚀刻系统的开发和制造基地已开发出一种已开发出一种用于存储芯片的通孔蚀刻技术,可用于制造 400 层以上堆叠的 3D NAND 闪存芯片。东京电子新的蚀刻技术较国内目前长江存储可做到232层堆叠,开发团队的新工艺首次将电介质蚀刻应用带入低温范围,从而打造了一个具有极高蚀刻率的系统。
本图片来自东京电子
在本篇原文名为“Tokyo Electron Develops Memory Channel Hole Etching for 400+ Layer 3D NAND Flash” (于2023年6月发表在 TechPowerUp 平台)称,东京电子的新型蚀刻机可以在极低的温度下进行超快蚀,并发布了该蚀刻机可以在33分钟内蚀刻10微米的革命性创新技术。
本图片来自东京电子
Park NX-Wafer广泛应用于先进刻蚀设备开发及相关工艺的验证。本设备主要特点如下:
1. 低噪声原子力轮廓仪,用于更精准的CMP轮廓测量
2. 亚埃级表面粗糙度测量具有高精度和出众的探针使用寿命
3. 用于缺陷成像和分析的全自动AFM解决方案
4. 全自动系统,包括自动探针更换、机器人晶片搬运
5. 能够扫描300 mm晶圆
6. 拥有低噪声位置传感器的30μm高性能Z扫描器,优异的高深宽比沟槽结构测试能力
04-22
ACCSI2024珂睿科技入围科学仪器行业投资潜力榜单并荣获成长潜力企业奖!04-19 珂睿marketing
宁波市政协主席陈龙一行莅临华仪宁创考察调研04-19
鄞州区人民政府副区长陈建恩带队赴华仪宁创开展企业帮扶现场办公会04-19
多因子实验操作二三事,轻松get高通量数据!!!04-19 赛默飞生命科学
高压均质技术在处理淀粉中的应用04-19 SCIENTZ
湖北省一天科技有限公司选购我司HS-STA-001同步热分析仪04-19
科普知识丨聚酰胺PA塑料的机械物理性能04-19
我司HS-STA-002同步热分析仪落户中国-东盟科技创新公共服务平台04-19
广东广纺检测技术股份有限公司二次选购我司炭黑含量测试仪04-19
【展会通知】2024年陕西省药学会第三届药品质量控制与检验技术大会04-19
世界地球日将至,与Detelogy一起守护地球!04-19 得泰仪器Detelogy
华谱科仪携S6000高效液相色谱仪亮相中国医药全产业链新资源大会04-19 华谱科仪
24节气|匠心随春风,天隆燃智造04-19
全域感知,“育”见环博 | 谱育科技再赴上海环博会之约04-19 点击关注→
光谱学常用术语04-19
融合创新,质领未来 | 青源峰达“THz+ & IC+”双生态亮相2024第十七届中国科学仪器发展年会04-18 SHINE
动物健康应用攻略第六期 | 猪轮状病毒专题(二)猪轮状病毒 A、B 和 C 型的多重逆转录qPCR鉴定04-18 赛默飞基因科学
近期热招职位 | 春暖花开之际,来和我们做同事吧04-18
来真的,揭秘药物销量榜“药王”诞生04-18