2020-03-13 11:51:08 标乐中国
这个阶段是为随后关键的试样无损伤阶段做准备。由于它除了产生平坦的表面外,还要去除由于切割而产生的变形层,因此它对整个试样制备过程的成功与否有重大的影响。一旦这一阶段恰当地完成,随后的工序就不多了。每一道工序产生的损伤必须能在随后的工序中除去。使用粗碳化硅砂纸(粒度为120或180)或固定在45微米的金刚石磨盘可将热捧涂层试样磨成平面,每一种磨料都可以在短时间内产生平坦的表面。金刚石磨盘去除速率高,而砂纸的作用没那么大,正确的选择耗材是很重要的,它可以使涂层避免产生严重的损伤。在进行下一阶段以前,试样必须彻底清洗干净和干燥。超声波清洗并没有普遍采用,因此使用时间尽可能短,以避免导致损伤。
整个过程最终是否成功决定于这个阶段将磨平阶段产生的变形去除并使表面损伤大大减少的能力。当这一制备阶段完成后,涂层和基底应当没有损伤。表2、表3两种方法使用两种不同的耗材制备,二者都可以达到试样无损伤的结果。使用粒度愈来愈细的碳化硅砂纸是有效的,但成本高。在硬的织物(UltraPad)上有效地使用半固定的多晶金刚石悬浮液(9微米)可以保持磨平阶段已建立的平整度并去除该阶段产生的表面变形。表3列出的两道试样无损伤工序取代表2中列出的6道碳化硅砂纸中的5道,在保持良好平面度的条件下又去除显微组织的浮突或表面变形。用(VerduTex)织物和3微米金刚石悬浮液可以很容易地去除特细砂纸和金刚石悬浮液所留下的细划痕。
最终抛光阶段使用非常细的磨料(小于1微米)而且只去除很少量的材料;因此,这些磨料无法去除以前诸工序没有除去的、相当大的表面损伤或变形。如果抛光时间过长,就会在应涂层上造成显微组织浮凸和边缘倒角。所以最后抛光阶段时间时间较短,但却能有效地产生没有浮凸、边缘倒角的干净、无损伤的显微组织。使用ChemoMet织物可获得无划痕无变形的表面。
最终抛光阶段使用非常细的磨料(小于1微米)而且只去除很少量的材料;因此,这些磨料无法去除以前诸工序没有除去的、相当大的表面损伤或变形。如果抛光时间过长,就会在应涂层上造成显微组织浮凸和边缘倒角。所以最后抛光阶段时间时间较短,但却能有效地产生没有浮凸、边缘倒角的干净、无损伤的显微组织。使用ChemoMet织物可获得无划痕无变形的表面。
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