低TOC浓度分析的加压集成在线取样器（PiOS）

Sievers* M9e总有机碳TOC分析仪的“加压集成在线取样器（PiOS，Pressurized Integrated On-Line Sampler）”配件专用于加强微电子应用中的超纯水（UPW）系统的有机物监测能力。在微电子应用中（TOC通常小于5 ppb），监测水质的微小变化至关重要，能够确保最终产品质量和优化处理工艺。

当要监测的浓度很低时，总碳（TC）和无机碳（IC）的值非常接近，因此TOC测量值（TOC=TC-IC）会受信噪等干扰因素的影响。周围环境中的微气泡就是这种干扰源之一，会导致意外的TOC峰值。PiOS能给分析仪中的样品加压3-5 psig，抑制气泡的形成，确保分析仪在低浓度下进行准确的分析。

与标准iOS相比，PiOS能够减少低TOC分析结果中的TOC峰值和点对点噪声（见图1a和1b）。

此外，在长时间的低TOC（<1 ppb）测试中，PiOS能够报告稳定的结果和可靠的“仪器到仪器”一致性，如图2所示。

与配置标准iOS的Sievers 900 TOC分析仪相比，配置PiOS的Sievers M9e TOC分析仪的分析结果显示出更好的稳定性和更少的小尖峰（图3）。

图4中的结果表明，使用配置了PiOS的M9e TOC分析仪，能够在单台仪器内和多台仪器间得到相同的有机化合物回收率。

在回用监测期间，常用Turbo模式来帮助进行快速决策。与普通模式下的情况类似，在Turbo模式下，PiOS比标准iOS更能减少峰值（见图5a和5b）。

PiOS在低浓度（<5 ppb TOC）应用中有更好的有机物监测性能，其良好的稳定性、准确性、“仪器到仪器”一致性对监测超纯水系统来说至关重要。PiOS可安装于Sievers M9e便携式分析仪和在线型分析仪，可以安装在新分析仪上，也可以作为现有分析仪的升级配置。

有了PiOS，M9e就能有效监测整个超纯水处理过程中的有机污染物，如有机氮化合物和有机酸。PiOS能够不受干扰，提供稳定、准确、可靠的分析数据，从而优化分析仪的在线TOC分析，更有效地监测低ppb甚至亚ppb级的超纯水系统。