微透镜测量新思路:SensoPRO智能解析球面与非球面,告别繁琐计算

2026-07-22 11:46:54, 星河视域 星河视域(无锡)智能科技有限公司




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仪器设备介绍


产品简介

S-neox在半导体、光学器件、材料、超精密加工、航空航天等领域被广泛应用。能够观测产品材料的表面形貌和轮廓尺寸;能够实现产品结构的2D尺寸、3D尺寸测量;能够实现图像的自动拼接;

该设备具有高分辨率、大景深观察,纵向分辨率达0.01nm;能够进行表面粗糙度、平整度、台阶高度等微结构测量;

设备同时拥有白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面叠加等几种不同的测量功能技术,在使用中可以一键切换几种不同的测量模式,针对不同表面结构和不同精度要求的样品都能完成测量分析。


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微透镜参数测算繁琐?

SensoPRO自动解析球面、非球面


目前,微透镜产业链已日趋成熟,广泛应用于光通讯共封装光学(CPO)、增强现实与虚拟现实(AR/VR)、车载雷达、消费电子及医疗设备等前沿领域。随着微透镜阵列化量产趋势的不断深入,传统人工检测方式已难以满足产线对效率与精度的双重要求,参数核算误差大、判定标准不统一等问题日益凸显。Sensofar SensoPRO自动化分析系统提供覆盖微透镜批量检测的一站式解决方案,有效提升检测效率与数据可重复性,助力制造环节实现高可靠性的品质管控。

球面、非球面专用模块 

自动输出全套光学参数

SPHERIC 球面模块

球面(spheric)模块用于求解球形透镜的曲率半径,高度等相关参数。

球面三维图及分析参数图


ASPHERIC 非球面模块

非球面(aspheric)模块用于非固定半径的透镜。能够自动求出k值,系数等相关参数。


非球面三维图及分析参数图


插件化SensoPRO 

全自动产线分析链路


1、全自动闭环流程:设备采集三维形貌数据后自动分析,一键导出 Excel/CSV 报表;支持命令行、SDK 二次开发,可对接工厂 MES 系统,实现无人值守检测。

2、丰富插件库:软件内置丰富的分析插件库,涵盖粗糙度、纹理等通用分析模块,同时可选配球形、非球面、微孔、阵列等多种光学专用插件。此外,插件体系支持按需定制开发,可根据不同应用场景灵活补充新增模块。

SensoPRO应用界面


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